EFEM, Equipment Frond-End Module

juliankuo

:admire:设备端与工厂端通讯的主要角色 EFEM:admire:

# P7 ~  j. O) K+ g2 t" k[ Last edited by juliankuo on 2006-2-13 at 04:22 ]

zjarmy

好东东，希望能早曰收下

juliankuo

加拿大某一软件公司针对EFEM的软件架构和上下层的程序运用

3 F6 M' u. h  V" ~- p8 j[ Last edited by juliankuo on 2006-4-13 at 14:41 ]

juliankuo

"A"牌的EFEM

6 ?& @" F( |- j[ Last edited by juliankuo on 2006-4-14 at 13:26 ]

juliankuo

Innovative EFEM
- ^$ Y, m/ l& l6 Z
# [5 a6 P  ]4 l, Z' v0 {; M  j7 N( ?
Innovative Robotic Systems, Inc., designs, develops and manufactures cost efficient, reliable, repeatable, ISO class 1 atmospheric robots and associated systems such as Equipment Front End Modules (EFEM), Wafer Sorters, Pre-Aligners, Wafer Grippers and custom automation and material handling solutions for the semiconductor, nanotechnology, data storage, opto-electronics, pharmaceutical and biotech industries.
+ N' o+ m3 F7 T
3 \( x) H  g: r3 f' U. ^- p5 mIRSI robots are user friendly with ease of operation and maintenance free with exceptional reliability. IRSI robots and system solutions are industry leaders in high quality and low cost, thus enabling OEM manufacturers to improve their cost of ownership tremendously, while improving their equipment productivity and reliability.

IRSI provides standard robots and systems for 200mm & 300mm equipment as well as custom designs for customer specific applications. IRSI sells and supports its' products through a reliable and responsive network of sales and support professionals worldwide.
3 X/ J# z' k, Q( u! d# Y) f
[ Last edited by juliankuo on 2006-4-14 at 16:37 ]

juliankuo

FESTO EFEM

juliankuo

Kostek EFEM
# F' F+ G" x! v5 o  P: ]
[ Last edited by juliankuo on 2006-4-14 at 16:45 ]

juliankuo

Front-End Module
0 i9 W% p; [/ Z$ x; n
Newport

  J: j3 D& V% w9 [5 P" R/ P# I. iIrvine, CA
( M) M# T; V) w8 c% J$ @
$ M- j5 x" b4 d* JThe Performix equipment front-end module (EFEM) features an automated self-teach wafer-handling robot, patented technology that enables the EFEM to be installed and operated without extensive operator training. The module minimizes initial system set-up time in the tool-manufacturing environment and wafer fab during system startup. The combination of the robot and an ADO load port and prealigner enables the module to provide high throughput and extended uptime. The EFEM forms an isolated minienvironment between a process or metrology tool and a FOUP or SMIF wafer carrier. The module is available in two-, three-, or four-port configurations. The use of a repeatable precision datum-mounting scheme for all major EFEM components facilitates alignment during installation and reassembly after servicing.
; o6 h9 ~: `3 Q0 C
[ Last edited by juliankuo on 2006-4-14 at 16:20 ]

juliankuo

FALA EFEM

juliankuo

Kensington EFEM

[ Last edited by juliankuo on 2006-4-14 at 16:27 ]

juliankuo

Owens Design EFEM

juliankuo

Semifab EFEM

juliankuo

Genmark EFEM

juliankuo

Synetics EFEM

juliankuo

Daiichi-shisetsu EFEM

juliankuo

NexTech EFEM

juliankuo

Interface Cabinet with Hepa Filter & PFC Richmond Static Control

Hepa filter with 3 motorized fans
PFC Richmond static control eliminator
Led interior light
9 O0 Z; @7 \2 dRed, Yellow & Green  exterior warning light assembly
PC Rack
: B; B) Q7 }, A3 W, BPower supply with various connecting cords & surge protectors
Door sensors
, V1 g4 ~5 F7 LKey and locking mechanism on one door
" D2 ^1 T/ l8 P( o3 T* yStainless steel center rack
4 wheels on the bottom of the cabinet
: f6 J7 }8 G; l( M5 s0 s+ f9 Q
[ 本帖最后由 juliankuo 于 2006-9-21 13:44 编辑 ]

snort

Asyst Technologies, Inc 公司的EFEM产品
8 F- S# e0 }: v& [& k* @4 A, `Spartan™ EFEM
' K: U5 u6 `( \" T2 A( f4 ?
( y' h! n" L0 t* Q0 f
2 _: U, j; }' MAsyst's new Spartan EFEM is truly a next generation 300mm front-end automation solution. Designed from the outset as a unified atmospheric wafer handling solution, Spartan EFEM offers the ability to start-up quickly, provides higher throughput and reduced particle levels, and is easier to integrate into 300mm automated fabs.
The core of Spartan EFEM lies at its central datum structure, in which all wafer handling components and movement are referenced. This single reference standard allows easy alignment and setup, and is scaleable for up to four loadport configurations. Fully compliant with SEMI standards, Spartan EFEM allows for a flexible range of applications, simplifying maintenance and cost of ownership.

Maximum Productivity & Profitability

Features an optimized minienvironment for best-in-class cleanliness with better than ISO Class 1 performance.
Dual, ultra-thin edge-grip wafer handling achieves fast swap time performance for the most demanding applications.
Flexible, configurable design and advanced software support allow easy integration, serviceability and maintainability.
3 Y. P9 F0 V- h1 ]6 l, B2 `. QSpartan EFEM is smaller, lighter, less complex, more reliable, easier to integrate into 300mm automated fabs, and more energy efficient than any functionally equivalent system. With its industry-leading particle performance, combined with low cost-of-ownership driven by its high reliability, serviceability and maintainability, Spartan EFEM is what Asyst believes is the most powerful EFEM available on the market today

snort

Asyst's EFEM产品
$ y. b1 g. A  J; aPlus™ Portal XT


Asyst's Plus Portal XT is a complete automated equipment front-end (AFE) system for 300mm fab production and advanced 200mm factory automation systems. As part of Asyst's modular family, the Plus Portal incorporates a unique design approach and the latest robotics and front-load technology to deliver cost-effective, enhanced productivity and ease-of-integration with equipment manufacturer's semiconductor process, metrology and inspection tools.

"XT" is built around a unibody frame that has been designed for ease-of-service and manufacture, as well as high performance. It utilizes state-of-the-art, ultra-clean factory automation components for high reliability and easy integration and alignment.
/ X- D7 U& a# A9 \0 M0 {Maximum Productivity & Profitability

$ B, O# b# a# Y8 J0 }( G1 Y) B( a: QFlexible, unibody design reduces setup and integration time and allows easy service and maintenance.
Optimized minienvironment for best-in-class cleanliness with better than ISO Class 2 performance.
Compliant with applicable SEMI standards for faster integration with equipment manufacturer and end customer

snort

EFEM Integration Services
# |5 Z4 y5 J% V8 J' K5 eWith increasing automation requirements in 300mm fabs, front-end material handling and data automation capabilities have become crucial to a tool's success. Equipment manufacturers have had to allocate additional engineering resources just to handle the expanding roster of EFEM integration tasks.
. D, }8 z+ A( v0 {
PEER Group's EFEM Software Integration Services can handle anything in front of your tool's process module, so your engineers can work on the tool itself, rather than learning the minute details of third-party component integration. We've been in the integration business for over 14 years, and have practical, hands-on experience with material handling, equipment control, and SECS/GEM communications. We're also proud to be the software integration partner for Asyst Technologies Inc., providing custom solutions for their EFEM customers.

Complete software solutions for your tool
Whether you are looking to fill a specific gap or want a total front-end solution, our EFEM services can be tailored to fit your needs.

5 g/ {- _/ S+ P: ?Automated control for any front-end components: load ports, light curtains, atmospheric wafer handling robots, aligners, ID readers, and so on.
6 r! m* {' C; p( z# s4 S! k& TAll carrier management and wafer movement in front of the process module, including E84 hand-off.
Complete SECS, GEM, and 300mm communications, so you don't have to be a SEMI standards expert.
. g( x8 H3 [' OAn easy-to-use API, giving you the ability to monitor and manage EFEM components through your tool control software.
GUI development and integration for any part of your tool controller.
Tool testing with industry accepted software to ensure the tool meets customer TOS requirements.
" g1 z: c- ^9 hACT testing to ensure the tool meets SEMATECH's industry baseline for 300mm automation.
Our software solutions are flexible enough to handle a wide variety of hardware components, development and HMI environments, and your customers' unique automation needs. They're also accessible and highly configurable, giving you the ability to make modifications in response to tool maturation and changing fab requirements at any time.
+ ~$ Z# j& f0 A3 T6 u. _4 G# H
300mm automation expertise
Let PEER Group take care of the software that gets the wafers from the factory into your equipment, so you can focus on what you do best: your tool, your process, and your control software. The hallmarks of our integration jobs are solid project management, risk-adverse solutions, and projects completed on-time and on-budget. Our years of semiconductor experience — from custom SECS/GEM communications on tools to Equipment Interface development for 300mm fabs — give us a breadth of experience unrivalled in the industry.

snort

摘要：美国ASYST科技公司,是专门提供晶圆生产线所需自动化设备的供应商,目前在设计与测试集成系统领域处于全球领先地位。面对持续发展的巨大市场,为提升制造设备性能,进而提高半导体制造生产率,ASYST采用MEI和SynqNet技术,成功完成了革命性的机器人控制EFEM核心部分的设计。

* g& V$ J) e! ?+ f% D0 o8 j3 D! q用户概况及用户需求
; d7 Y& \, K3 s7 n3 F9 F" s　　2005年3月10日，国际半导体设备及材料协会（SEMI）公布了半导体设备行业的最新报告。该报告称，由于市场对新型高端晶片设备的需求强劲，2004年全球半导体设备生产商销售额成长67%，从2003年的222亿美元攀升至371亿美元。日本、台湾等地相继成为晶片生产设备的最大市场，全球的半导体厂商越来越多地将其晶圆厂设在亚太地区。面对市场的快速发展和竞争的加剧，半导体产业界一直在寻找同时具有高性能和低成本的晶圆处理解决方案。
　　作为全球领先的半导体设计与测试集成系统提供商，ASYST 科技公司为了能够实现最佳生产率这一发展目标，以继续在半导体制造设备设计及解决方案上保持领导地位，开始制造针对下一代半导体的制造设备前端模块(EFEM)。
　　对于半导体厂商来讲，他们对于生产率的关注主
要集中在以下几个方面：
6 y2 V* P! ^% a0 h" f+ P2 n　　" 如何缩小半导体制造设备前端模块(EFEM)操作所需的空间--空间的宝贵驱使设备制造商不断地将实现有效流程所用空间推向极限。
　　" 如何提高晶圆制造的速度和效率，从而降低总体成本。
. ~" x0 \6 o) g5 b, U　　" 如何确保生产的安全性--作为首要问题，晶圆作业非常关键，任何差错，尤其是在运动控制中的差错都意味着巨大的经济损失。
　　设计方案及实施效果
　　ASYST的Spartan EFEM 项目充分考虑了半导体制造的要求，明确了要采用数字运动网络，并最终选择MEI 和SynqNet? 技术作为Spartan EFEM 系统的关键控制部分，完成了晶圆厂前端制成革命性的自动化工具的设计和制造。MEI 和SynqNet? 技术满足甚至超过了对运动性能的严格要求，实现了高性能、低成本的晶圆处理解决方案，正在改变着市场对半导体制造设备前端模块(EFEM)的要求。
4 w: @. R9 ^- ~% H　　MEI 和SynqNet? 技术能实现配线的显著减少和配线速度的提高，这显然推动了ASYST作出最终决定。同时，运动网络的设计也必须确保Spartan EFEM能够在所承诺的最佳生产率、安全性和可靠性的前提下，发挥一定水平的性能。因此，ASYST采用了SynqNet及MEI控制器软件解决方案作为核心设计要素，从以下几方面对Spartan EFEM进行了创新，极大地缩小了工具体积，提高了晶圆制造效率，并加强了系统的稳定性和安全性。
　　空间缩小到同类工具的一半
$ G+ d7 b6 p& Y4 r- |1 C& v7 A9 i　　首先， 在体积上，ASYST工程师开发的Spartan EFEM是同类产品中最小型化的设计，不仅超过了适用于现有设备尺寸的SEMI标准，并且在市场上建立了新的标准。ASYST的工程师重新考虑了Spartan EFEM 内部的机器人设计，减小了体积，并完全去除了该工具的底部部分，以满足最终用户自身的加工要求，同时大大降低了Spartan EFEM 的总重量。同时，由于减少了需要处理的空气量，在很大程度上又有效地高度优化了气流系统。
　　提高晶圆制造效率
3 m7 R" |! D5 q6 U& g4 Z　　在整个设计中，优化生产率得到了最优先考虑，该系统必须做到快速并且精确。Spartan EFEM在结构上进行了极大的创新，以满足效率要求，其中，MEI 运动控制器也发挥了重要作用。
7 k9 ]# _1 d' ]: W9 V% V　　结构创新　　为此，ASYST选定了配有可选边缘夹紧直线校准器的双抓爪直角坐标型机器人以进行结构创新。机器人的Z 轴为侧面固定设计，从而避免了在平面关节型(Scrara)晶圆输送机器人中所需的垂直空间。由于使用了具有创新空气循环和过滤功能的先进微粒控制器，Spartan EFEM 的设计能够满足ISO Class 1 水平和较好的微环境选项。
　　该设计除了去除Spartan EFEM 下面的部分，还创新了装载端口的设计，与标准装载端口相比，从根本上降低了总成本，并极大地改善了加工集成。 Spartan EFEM 使用严格的专利框架设计，大大降低了在现有工具上的安装时间。Spartan EFEM 统一的结构点使装载端口能够直观且及时地进行校准工作。
　　在设计的创新和灵活性上，Spartan系统也能够作为一般用途晶圆分类机应用在各种场合。这种双重工具性能和灵活性能够帮助ASYST实现快速定制，以满足其客户的严格要求。
　　MEI运动控制器
　　由于工作空间非常狭小，ASYST需要设计有效控制机器人的复杂路径。据ASYST控制器技术高级主管Mike Krolak 表示："MEI软件的能力和灵活性使我们能够进行非常复杂的路径计划，并利用MPI (运动编程库C/C++)的能力，作为我们基于网络的用户图像界面（GUI）的运动引擎。而GUI 能够为我们的客户提供一个便于使用的操作界面，同时使用户能够'示教'该机器人以适应他们的特殊应用。"
　　考虑到该系统高性能轴的紧密协同功能，ASYST选择了基于XMP-SynqNet-PCI的控制器，同时，Kollmorgen Servotronix 集团、Danaher Motion提供定制双轴SynqNet伺服驱动器。
　　像大多数全MEI SynqNet应用一样，运动控制器必须与视觉系统、输入/输出和其它反馈设备可靠地相互作用才能实现运动控制的精度和速度。Krolak表示："MEI系统的结构完全适用于我们的技术规格，能够实现基于客户机的运动控制，基于PC 的集中控制，主机级功能，可扩展性，远程诊断，以及用于数字网络的各种功能强大的调整工具。"
　　系统的安全稳定性
　　Spartan EFEM的设计要求具有极强的稳定型，ASYST通过采用MEI 控制软件和SynqNet基于网络的运动控制系统，实现了这一特性。
　　MEI控制软件
) T- X7 J& z* i# c$ M0 R+ D　　远程诊断能力-Krolak表示："我们很注重Spartan EFEM 的远程诊断能力。由于所有的MEI软件工具
& H: C) ]( M2 ^, L可以接受TCP/IP并且可以作为一台客户机运行，我们能够远程运行全部诊断软件，并能访问SynqNet 驱动器和实际系统的机械部分。我们具有这样运行的能力是绝对至关重要的。"
　　运动数据精确分析-ASYST采用核心MEI编程软件库、运动编程界面(MPI)以及像MotionScope这样的实时分析工具，来实现精确的运动数据分析。Krolak说："在调整该系统的伺服性能上，MotionScope是非常重要的。我能够真正'看见'数据点，例如处理时间的反应，对数据进行描述和比较，直到获得我想要的结果为止。重要的是这个数据是实时的，让我在调整系统性能参数时，能够洞察所有反馈信息。"
3 G1 q  b. R7 r( W6 ?& s8 J　　ControlsToolkit(控制工具包) -包含BodeTool和FilterDesigner功能的ControlsToolkit是ASYST工程师所使用的又一个工具，以实现在其它运动软件包中从前所未见的高水平机器调整。Krolak说："BodeTool将我对机械反应的可见性水平带到了一个全新水平。这是我以前所不曾拥有的。使用基于简单窗口的界面和一个SynqNet运动控制器，我能够同时激发任一轴或者两个轴，并看到象Asyst Spartan那样的系统频率反应。这是EFEM/晶圆分类机以前从未有过的。由于Spartan EFEM主机运行VxWorks，我能够从一个远程主机上以客户机的模式进行完整的分析测试。我能够彻底测试该系统，以确保任何运动命令不会影响该系统的稳定性，并且通过最佳调整来发挥甚至更大的运动性能。"
2 @' v7 h# X: @+ h$ d　　MPX运动编程软件-Spartan EFEM在开发和生产线测试中还使用了来自MEI的MPX (运动编程ActiveX)软件。MPX是一个能够运行ActiveX 的软件包，可在任何ActiveX兼容的环境中进行编程。MPX能够在生产过程中快速测试Spartan EFEM运动系统和调整参数，以便快速确定在机器的性能中是否存在着任何偏差。通过标准的TCP/IP连接远程获取数据的能力给予了Asyst监测或分析来自任何位置的数据的灵活性。
　　基于网络的运动控制　　SynqNet 是一个基于以太网(IEEE 802.3)的物理层高速运动网络，拥有简化的数据层和定时模型，以确保能在一个系统中的各个节点进行同步操作。其固件/配置下载、远程诊断、各节点的高速伺服同步刷新和容错操作等性能，可完全满足Asyst 的网络要求。
　　Spartan EFEM的控制器和界面都基于创新的网络服务。全部控制器都通过一个标准网络浏览器来运行，以进行设置、配置和诊断。这个用于控制的中央主机运行VxWorks以实现实时性能，VxWorks连接到运行一系列ASYST 和MEI软件工具的基于Windows的操作系统。这个网络功能背后的思想就是利用来自机器级到企业的远程诊断能力。全部MEI软件中的TCP/IP功能再次与ASYST的要求相符，即能够将机器信息取出并传送到世界上任一位置，能够通过MEI控制器检索从SynqNet上收集的实时数据并将其传送到机器主机，在一个安全的网络连接上进行传送以及进行远程分析。就客户服务、机器可用性和可靠性而言，Spartan EFEM在预示维护和现场服务的效果上，显然具有明显的优势。
( G8 f" G% k1 n* E　　Spartan EFEM基于网络的配置工具也具有强大的联网功能，能够进行远程配置和设置，通过一个直观且方便使用的用户图像界面(GUI)完成全部用户编程，实现快速操作。
结论　　综上所述， Spartan EFEM的设计改变了传统的劳动密集型EFEM制造过程，以先进的MEI SynqNet控制技术对复杂的前端解决系统进行了创新和改进。从而使Spartan EFEM满足了半导体厂商对于模块占用空间、晶圆制造速度及生产安全性的要求，有效地提高了生产率，并深受ASYST用户的好评。

snort

下一代半导体OEM的运动控制系统设计
9 Q: h/ }( J  c; D5 H3 i【摘要】 面对持续发展的巨大市场,半导体制造设备厂商为提升制造设备性能,并提高半导体制造生产率,开始采用MEI和SynqNet技术,成功完成了革命性的机器人控制EFEM核心部分的设计
3 h+ ]  x  {7 q- Z: ~: a, n$ J作者：美国Danaher; Motion公司;
评论：和楼上的内容很相近。

snort

如何选购适合半导体专用的大气机械手臂运用于EFEM设备上
美国Brook自动化公司
' d6 }$ B, a5 T( e  B# ^. T& L摘要： 从φ150mm开始Robot(机械手臂)就被广泛运用,除了有效地降低微尘颗粒的大小、允许以程序化来决定晶圆取放的路径等优点外,自动化作业的迫切需求,更是其主要原因。Robot被分为Liner与Scara两种,ScaraType在φ200mm及之后晶圆制造中运用较多。

juliankuo

原帖由 snort 于 2007-3-30 10:53 发表
6 S# _, q& p) c下一代半导体OEM的运动控制系统设计
【摘要】 面对持续发展的巨大市场,半导体制造设备厂商为提升制造设备性能,并提高半导体制造生产率,开始采用MEI和SynqNet技术,成功完成了革命性的机器人控制EFEM核心部分的设 ...

4 Y1 S' O) R& x
这樣的EFEM设计怎麼沒想到? 满恨自已的，哎呀!!!
3 }# Q6 ^4 t+ J( B# C
把小型的Robot抬高一樣可以tracking，只要定位和MTBF，control 的好，接下来就是樣机的验证。

我们中国人自已要好好的加油了，不能老是买国外的东西，状大对方的经济市场。

+ {! l$ S3 `" N1 zJulian

handsets

好的东西太多了，国内要是能做就很好了，我觉得能否组织一部分比较厉害的工程师，来根据国外的设备原理，做出自己的所有设备来？１

juliankuo

YA，这正是我想做的事，计划在写了，不想得过得了关?

owener

阅读权限不够！咋就看不了

juliankuo

原帖由 owener 于 2007-4-21 11:41 发表
3 N% f% W0 m6 I8 L/ I7 I& y阅读权限不够！咋就看不了

5 V7 A# a: o& k% t, f

# F1 h  i& i& C$ J" a+ v綀好功再回来，本版不是仁义庄，沒有free 的sense 在这

请谅解

owener

等我綀好功再回来！我倒要看个明白！

落雨无情

唉 这么多好东西竟然都看不到  郁闷阿 :wall: