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[Foundation防微振机座] FOUNDATION [复制链接]

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发表于 2007-3-2 21:21:13 |显示全部楼层 |
振动主动控制系统! N3 y* W* l  A" `0 {
7 X, G$ a$ G$ d0 m, `% |
  近年来随着各种高科技产业制程越来越精密,相关的仪器设备对于环境振动隔离的要求也越来越严格。在半导体产业有许多设备都必须考虑降低环境振动,如曝光设备scanner、stepper,检验设备SEM、SPM、TEM、椭圆偏光仪等等,几乎每一台设备都需要安装隔振系统。 
3 G) K7 B" L8 h 传统被动式隔振系统多半是以气垫弹簧或者是钢圈弹簧阻成,有些会再加入阻尼以降低自然频率的共振效果。适当的设计通常可以隔离频率在3、4 Hz以上的振动,而且越高频率的振动隔离效果越佳,但是却会放大低频率的振动,尤其是隔振系统自然频率的振动。对于结构第一自然频率超过20、30 Hz的多数仪器设备而言,这些无法隔离而传递上来的低频率地板振动在经过设备仪器结构体时,已经大幅衰弱而没有明显的影响。然而对于现代微奈米等级的精密设备仪器而言,许多都对2、3 Hz的低频率振动十分敏感,变化缓慢的低频率振动可能对于承载大质量组件的梁结构造成类似静态弯曲的明显位移,造成系统内各个组件的相对运动,严重影响其定位的精度。例如,对于长行程的雷射量测应用,会产生光程的扰动;对于SPM(Scanning Probe Microscope)会使光学影像模糊;或是造成电子束偏离预期的路径等等。因此,如何有效隔离低频率振动,以降低对超精密仪器设备的影响,一直是高科技产业所关切的问题。在整个科技界朝向微小化的过程中,硬盘储存密度越来越大、半导体制程的线宽越来越小、所有光学系统分辨率越来越高,这些发展将使得低频率微振动的主动控制研究益发显得重要。因此,国内自行研发一个符合微奈米等级之精密仪器设备振动规范需求的主动式隔振系统,实为高科技产业所迫切需要的。
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( R' M* P& k( T0 i: E + v) _6 t- e- a# a
振动的控制方法主要为:被动式(Passive)与主动式(Active)的控制方法。过去传统中振动问题之防治,大多使用被动式的控制方式,此系将隔振组件与吸振材料之组合体,置于振动源或是对振动敏感的精密仪器设备的基座上,利用吸振材料的吸振性质将振动能量吸收,或由隔振组件予已隔绝。此种方法通常对于中高频的振动有很好的效果,但对较低频振动,则因受限于传统隔振系统的自然频率 的特性,在低于 的频率范围振动无法予以抑制。6 o9 g* i+ K+ v( O
振动与噪音主动控制是应用一些可控制致动器所产生的“第二”振动或噪音场与原始“主要”的扰动场形成破坏性干涉的原理。我们采用传统被动式隔振平台作为实验研究之基本模块,将主动控制技术与被动控制技术相互结合。主动控制是针对共振频率附近的的低频率振动进行控制研究,并探讨应用PZT与音圈致动器的控制效果。

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发表于 2007-3-2 21:22:49 |显示全部楼层 |

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发表于 2007-3-2 21:35:30 |显示全部楼层 |

高科技厂房震害防治与微振动量测及分析

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发表于 2007-3-2 21:45:07 |显示全部楼层 |

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发表于 2007-3-2 21:46:31 |显示全部楼层 |

被动式隔振平台

近年来随着各种高科技产业制程越来越精密,相关的仪器设备对于环境振动隔离的要求也越来越严格。在半导体产业有许多设备都必须考虑降低环境振动,如曝光设备scanner、stepper,检验设备SEM、SPM、TEM、椭圆偏光仪等等,几乎每一台设备都需要安装隔振系统。
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/ B6 p5 w0 O: s, O2 V- ~传统被动式隔振系统多半是以气垫弹簧或者是钢圈弹簧阻成,有些会再加入阻尼以降低自然频率的共振效果。适当的设计通常可以隔离频率在3、4 Hz以上的振动,而且越高频率的振动隔离效果越佳。对于结构第一自然频率超过20、30 Hz的多数仪器设备而言,这些无法隔离而传递上来的低频率地板振动在经过设备仪器结构体时,已经大幅衰弱而没有明显的影响。
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( j: J/ h$ p. T/ ]/ C振动的控制方法主要为:被动式(Passive)与主动式(Active)的控制方法。过去传统中振动问题之防治,大多使用被动式的控制方式,此系将隔振组件与吸振材料之组合体,置于振动源或是对振动敏感的精密仪器设备的基座上,利用吸振材料的吸振性质将振动能量吸收,或由隔振组件予已隔绝。此种方法通常对于中高频的振动有很好的效果,但对较低频振动,则因受限于传统隔振系统的自然频率 的特性,在低于 的频率范围振动无法予以抑制。

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发表于 2007-3-2 22:12:54 |显示全部楼层 |
随着半导体厂制程精度越来越高,高精密电子厂房对于环境振动的要求也越来越严苛,根据LSIA的调查数据显示,在1998年时制程精密度为0.25 µm,对于微振动的要求为2.54µm/s,到了2001年时制程精密度为0.18µm/s,对于微振动的要求为1.91µm/s,到了2004年时制程精密度将到达0.13µm,微振动更必须低于1.27µm/s。
  w5 q% a7 A" i9 k以目前而言,楼板振动量测标准较一般人所采用的Colin G.Gordon所订出之规范(Generic Vibration for Vibration-senstive Equipment)它采用1/3 octave band及速度单位(rms)来表示,并区分为VC-A至VC-E共五个振动规范,其中VC-C规范为1µm制程的光学检测设备光学手板印刷设备(steppers)之一标准规范,而VC-E规范适用于更严格之0.18m制程精度IC精圆厂之工作平台。由于微振动信号相当微弱,为了避免噪声造成的误差影响精度,所以必须靠高感度低噪声设备去量测,以IES-CC024.1对楼板及地表振动量量测仪器之要求,传感器必须使用地震型加速规,其灵敏度最好为1-10V/G频宽(1-300HZ)的最低噪声必要低于1µG,频谱分析仪的最低噪声应低于1µV(宽带1KHZ以下动态范围应大于70db以上。
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发表于 2007-3-2 22:23:12 |显示全部楼层 |

新世代高科技厂房结构设计

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发表于 2007-3-2 22:45:10 |显示全部楼层 |

改良型硬式微振動控制系統之研究

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发表于 2007-3-3 09:25:45 |显示全部楼层 |
哈哈,lz,我能做foundation,能够满足8寸0.18um生产对环境振动的需要。% }4 v9 o* B! Q
价格低廉,每套低于10万元人民币(RC型),欢迎与我联系Kitgain@gmail.com
4 c1 J3 B& C  b* q+ v0 _. G3 J1 w
% l4 f! S/ X0 N, c, n) a另外,对lz宝贴需要说明的是,一般光刻机、metrology tool不是依据Colin G.Gordon规范,因为该规范是针对振动速率定义的,而现在精密的现代设备“卡”加速度振幅指标。
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hhnec + 10 感谢指出!

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发表于 2007-3-3 12:37:03 |显示全部楼层 |
原帖由 kitgain 于 2007-3-3 09:25 发表- J1 \6 m3 F* S
哈哈,lz,我能做foundation,能够满足8寸0.18um生产对环境振动的需要。  L* U! P9 l, y: b
价格低廉,每套低于10万元人民币(RC型),欢迎与我联系Kitgain@gmail.com
% X7 j7 q; T) _7 N( R+ H3 H- T% r% H! Q7 P$ C) K2 R
另外,对lz宝贴需要说明的是,一般光刻机、metrology tool ...
感谢kitgain的好意! % Q, k5 V- g0 n- X7 ^/ y9 h
近年来制作FOUNDATION的厂家我也接触了不少:欧美、日本、台湾等,现在本人专注于0.13um以下机台的微振动需求;如果将来有合作的机会,请不吝指教!
# q  m6 z) o) g' ~如kitgain有这方面的资料,可能的话我想参考参考。
谢谢.gif
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发表于 2007-3-7 20:07:45 |显示全部楼层 |
愿听详解!!!!

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发表于 2007-3-8 14:07:52 |显示全部楼层 |
原帖由 hhnec 于 2007-3-3 12:37 发表
! \8 `3 d$ Q+ X# u: O% |+ U感谢kitgain的好意!
+ {" y9 u# p+ M6 ~& [近年来制作FOUNDATION的厂家我也接触了不少:欧美、日本、台湾等,现在本人专注于0.13um以下机台的微振动需求;如果将来有合作的机会,请不吝指教! * f% {8 V$ _" p* o; m8 @
如kitgain有 ...

& k9 \4 a% D; d1 h4 C/ I6 P  Y, F% `$ ?" z9 X! n
斑竹太客气,“指教”万万不敢,反正咱俩儿邮箱都有了,经常联系。7 {7 o( W7 u, u8 u. T' A3 N( f
有空的时候,我打电话找你侃大山去,
7 \" q3 G- {4 e- J
" h" c' z' H  {& Z附件是某光刻机的防震要求,纵轴单位为gal。
foundation.bmp
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发表于 2007-3-8 20:11:34 |显示全部楼层 |
原帖由 kitgain 于 2007-3-8 14:07 发表9 z; _- T; w. F

" C3 g# a+ W$ t* [; F0 K* _' \$ z" L8 I" o7 ~8 b8 J, `0 f  O
斑竹太客气,“指教”万万不敢,反正咱俩儿邮箱都有了,经常联系。/ N5 B* l  \, k( C2 |0 X
有空的时候,我打电话找你侃大山去,
4 k! b* N7 |$ m+ Y 0 \4 S2 ?/ _9 E8 i' L
附件是某光刻机的防震要求,纵轴单位为gal。
这个SPEC应该是NIKON的KrF SCAN STEPPER(S204B)的微振动要求吧?3 L' x5 D8 I5 b9 z% U- Z
最近碰到了一台S207,比204的要求更严格,将来也许会有ArF SCAN STEPPER S208、S209,唉!FOUNDATION越来越难做了。. Q- Z+ j: ?2 G* X
9 ^# [9 T/ A* T! W
kitgain有没有关于钢筋混凝土FOUNDATION和钢结构形式的FOUNDATION的技术比较资料?有的话能否发来参考参考?
谢谢.gif
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发表于 2007-3-13 14:29:03 |显示全部楼层 |

Foundation非难事

很难找到版主对于FOUNDATION这样了解耶!!
- q1 Q: _( _. c  U说真的国内目前对于Foundation这系统真正了解的人才还是有限!
. y/ u% L$ L6 c8 k. @当然也并非如版主说的难做!偷偷用一下kitgain的说法 - G- j3 M2 ^- N+ h4 R8 g
只不过我们能做到45奈米需求的设备基础座而已 比方说ASML XT1900基础座7 H1 j% d" u- O1 |- C" L  C

2 U4 ^" ]3 f# V! }! T3 f版主说的NIKON S207D并非难做,只不过需要用结构去克服既可!0 Q7 e4 N9 x+ s7 ~6 A) d: F2 N, u
至于版主想了解关于钢筋混凝土FOUNDATION和钢结构形式的FOUNDATION的技术资料是指哪方面
/ z+ p1 Q9 x& N1 G我手中有实际测试结果,如需要可以提供给您参考看看欧!!
0 C$ r6 X2 {; R' G" O" n' O- S/ O此两种主要差距在于共振频率上的差距!RC共振频率一般都在450Hz以上,但(纯)钢结构就无法达到
  a6 n+ N/ ]8 Y这样高的共振频率,一般都在100Hz以下,甚至不到60Hz!  b& |  b( Q* H
因此以钢筋混凝土FOUNDATION较为优,但是LCD厂所需要的FOUNDATION来说也是有使用钢结构去制作,其振动也是符合VC-C需求!!
: a. k% o0 o' ]0 H) z. D9 O% e, S1 [
) U5 T  S( v& o" t至于版主所说的NIKON S207D使用制作方式建议使用半钢钩方式去制作,也就是上层为RC底部为钢结构去制作既可满足需求!
& ^; J& K6 G- |5 v  k# q9 o8 ^7 \/ A+ q+ i8 h% i4 ~* Y; o& }5 O. `
对于FOUNDATION有兴趣可以跟我联系!$ h+ n/ A  l. ?" {  b
tony-lai@hsieh-kun.com
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发表于 2007-3-13 14:55:59 |显示全部楼层 |
现在foundation价格那么便宜了??? 4 ~% h7 C4 m7 z; ~( U6 i

5 B, E5 w, }: G这个好像还是台湾人做的比价好把~

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发表于 2007-3-13 16:46:40 |显示全部楼层 |
Fan_jovi 大大说的没错!0 Q% s% w3 K; X3 T
台湾集成电路发展从1976年开始一直到目前! j( B+ F. h/ b5 E( }
从4吋6吋到目前12吋制成也发展到目前45奈米
$ @" C9 ]+ R; v) M& z2 \! r7 ~9 {各项技术相较下比较成熟!因此对于各系统商来说一个萝菠一个坑,几乎每个系统都有较专业的厂商而且不止5家以上!2 ]) e6 u9 K) i, V" s4 [) F6 q
相对价格来说也就十分的低廉了!
+ j# z' \; \; C目前台湾Foundation商,主要发展皆以TFT-LCD需求基础座为主,其利润来说相较下比较高一些,但是作业时间来说比集成电路厂6 y, l' s3 M3 P! U/ I0 R& @9 ]
来得紧凑!!!
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hhnec + 5 我很赞同

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发表于 2007-3-13 20:39:37 |显示全部楼层 |
原帖由 tonylai 于 2007-3-13 14:29 发表
: K9 g3 G" Y. ]  Z4 ~9 P+ T, @! M很难找到版主对于FOUNDATION这样了解耶!!
0 o7 E6 r6 s0 q说真的国内目前对于Foundation这系统真正了解的人才还是有限!
/ ~" s( W) Z" z当然也并非如版主说的难做!偷偷用一下kitgain的说法 / D$ D+ f, \7 U1 n) Y5 z0 c
只不过我们能做到45奈米需求的设备基础 ...
9 N9 K5 T6 q( g8 _3 ?2 |. q
原来tonylai是协昆的,你姓赖吧?久仰久仰! / C* O3 I; @% T8 Y4 V+ D
我知道协昆给TSMC做过许多FOUNDATION,感谢你的详细说明!- B. C; m0 V3 N( ?& W
不知协伟和协昆之间是什么关系?是一家吧?
. `2 C, L: m8 m, G+ j/ l! w其实避震台的设计、制作、move in、安装、测试到验收合格会碰到许多实际问题需要解决的。试举几例:+ ^1 [7 i* f2 f) ]
1、台湾许多FAB下夹层高600mm,甚至有300mm高的,FOUNDATION制作相对容易。而本公司下技术夹层高1.5m,且下方管线众多;夹层越高,难度越大。
: y4 ^6 b! L% C6 S# w( z2、此外,FAB的建筑结构(梁、柱等)在建造前是否考虑过将来SCAN STEPPER、SEM等机台对微振动的需求?这点对老旧厂房来说是个大问题。
# D2 O: B) A. I* ^3、在RC结构的FOUNDATION制作、move in过程中,要求搬入通道宽度足够;那么在一些老式FAB CLEANROOM内,密布各种各样的机台,走道宽度根本无法满足搬入要求,此时如何应对?" C; F( j& H9 H
。。。。。。' e( w8 J+ f0 E0 T+ L$ Q# ^
其他的下次再详谈。  J) N1 R3 _% B+ V

9 E, z, q1 E+ v) y/ q[ 本帖最后由 hhnec 于 2007-3-13 20:42 编辑 ]
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发表于 2007-3-13 20:50:08 |显示全部楼层 |
原帖由 hhnec 于 2007-3-13 20:39 发表
) X  x/ m$ }; W5 t- ?; y  D: E  K+ S0 S' o2 b& g
原来tonylai是协昆的,你姓赖吧?久仰久仰! 8 O2 d0 d* V4 P, G( ^
我知道协昆给TSMC做过许多FOUNDATION,感谢你的详细说明!
" i# F+ {9 p" y! `0 i8 B不知协伟和协昆之间是什么关系?是一家吧?
( `+ Z$ ~$ y1 |4 S6 e/ l其实避震台的设计、制作、move in、安装、测试 ...

7 a8 O3 z6 D( x* y! C$ D( C
- P: o$ }! j) r/ g8 l  d5 L- C$ g: P5 V
版主厂房的高架地板1500mm?
$ j6 y3 O; {9 v. i) i5 w8 ]% _太高了吧?那是不是很多东西都可以放在地板下面了?
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发表于 2007-3-13 21:06:42 |显示全部楼层 |
原帖由 handsets 于 2007-3-13 20:50 发表4 ~) k. B8 y( u+ d

! b  L. {& u) ]  m, \版主厂房的高架地板1500mm?  u' F9 ]* c" ^9 Y2 e% u- {5 c) `/ R
太高了吧?那是不是很多东西都可以放在地板下面了?
没错啊!一次和两次配管配线几乎全部(除EXHAUST MAIN DUCTER、排烟风管、AHU送回风管道etc.)在架高地板下面的技术夹层中。# k6 i5 K7 m* h3 C6 k

! U8 t9 o$ Y/ z/ \0 z( ?9 X) ?& P[ 本帖最后由 hhnec 于 2007-3-15 20:22 编辑 ]
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发表于 2007-3-14 09:29:37 |显示全部楼层 |

回复 #17 hhnec 的帖子

被发现了~~~
' w7 d2 N/ ^& i0 V! ~  C9 P1 k5 hhhnec大大对于我们似乎很了解耶!% e0 W3 o* A( T9 z5 N8 f! I
没错~协昆是给T厂是作很多Foundation,在国内能知道协昆以及协伟,相信在业界也是有一定的资历。3 o* p4 T& n4 u4 Q3 r3 X6 L* v
至于协昆/协伟之间的关系,因该说早期进入国内市场时,公司证照申请中,因此都用协昆。早期2001年时,国内的市场正在开始发展,之后一切符合中国法规后就改用协伟。& L4 P: m" W5 c  m0 m* p+ t1 t
直至目前协伟为生产制造中心供应中国与台湾!国内也有专业的团队负责现场安装!% G. o6 c, g  u4 G3 G' N
至于hhnec大大所,提避震台的设计、制作、Move in、安装、测试到验收合格的确会碰到许多问题) S) C8 P  b& n7 {  ?2 l# T7 E
如:
) r5 C! I3 y& z+ `2 V" J- t* o+ u1.台湾的确许多FAB设计高架地板至地板高度是300~600mm,但目前我司做过高度的有3米左右。其规范必须符合VC-C需求,故1.5m的高度并非难事!透过事前的有限元素取得结构的传输比,再取得环境的背景数据之后透过分析及结构的设计就可以克服需求。当然基础座的落脚底部必须净空,因此实际必须依照现场去进行设计。3 u$ R& S/ r! u2 @
2.对于老旧厂房来说的确对于有震动需求的设备来说的确是个问题,当然第一能将设备摆放的位置更动至底部有十字梁的地方是最好。假设不行,最差的方式就是在地板底部补梁方式来增加单位面积载重,一样可行。当然必须事先量测现场环境是否符合其设备规范需求。
$ g/ Q% d) H3 [3.Move in在国内也有相当专业的公司(启德精密搬运)设备与经验都是业界第一。hhnec大大说宽度不够,那高度总够吧!基础座打立不就行啰!另外要是基座无法迁入,那设备更不用说了。所以第一要看现场的动线,现场很多墙版是可以拆卸的,因此配合设备基础座与设备的迁入,往往都会拆到墙板或是门欧。& ~5 O+ Q$ E3 m
欢迎有问题随时可以E-Mail给我,我能解决的一定替大大您出个主意解决欧
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发表于 2007-3-14 22:18:38 |显示全部楼层 |
原帖由 tonylai 于 2007-3-14 09:29 发表2 M2 h" a* Y$ l& p0 b' [
被发现了~~~
" ]6 b& Y5 M1 D0 m0 g/ t$ zhhnec大大对于我们似乎很了解耶!" {7 |& |* p+ f, E
没错~协昆是给T厂是作很多Foundation,在国内能知道协昆以及协伟,相信在业界也是有一定的资历。" i9 l8 R. R3 n" Q* U; I7 M
至于协昆/协伟之间的关系,因该说早期进入国内市场时,公司证 ...
: X$ t' m' `5 B
有2个小问题请教:, v/ g9 u! {# v
1、协伟做过高度有3米左右的情况是包括SUB-FAB了吧?和一般意义上的FOUNDATION涉及范围不太一样。% l2 N  w2 c, U6 y4 Q0 v; M
2、设备基础座一般比机台本体宽度稍大,所以机台能move in,设备基础座不一定也能顺利移入。4 V8 i, d6 W" J0 \% [8 s6 V. @

, c8 C/ D8 J  b6 g$ Q  S[ 本帖最后由 hhnec 于 2007-3-15 12:15 编辑 ]
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发表于 2007-3-15 08:42:04 |显示全部楼层 |
版主大人引来专业foundation供应商,本帖上升为精华贴毫不为过。& _! A( T- v4 ~" a* H
班门弄斧几点:
; P3 k& O4 T2 S& t6 e; L( j; a8 A$ f1,ArF scanner nikon系列是3打头的S30x,208/209好像没有吧;
/ e% @8 |! a& P2,一般而言,如tony所说,wraffle slap和high raise floor之间的高度不成问题;
; {& x) u" Q% k+ P; V$ D5 D" Z3,恰恰相反,一般设备外形反而比foundation大,原因是设备不是所有地方需要foundation的;比如令人头疼的nikon光刻机就是如此,尾巴上的温控器部分,占了整个设备1/3~1/4就直接搭在high raise floor上了。而比较担心的是放置foundation的龙门架比较大,搬运不易。
# J1 k8 @2 q, h4,老旧厂房的格栅梁依然有设计标准,每坪承重多少吨?比如我们这儿就是2200Kg,这个数据对检查最重的implanter很重要,以计算负荷,事实上,我方implanter加上foudation实际负载不到1吨/坪,所以没有问题,特别地,对承重脚特别照顾。HHNEC据称在初建之时,即按照日本NEC要求,厂房重做,所以我认为贵公司的格栅梁是不担心安放foundation的。' {8 I. D1 D8 m( A
5,高达1500mm的高架地板无疑对改善净化室气流有用,考虑到HHNEC做DRAM起家,这个很好理解。台湾fab以逻辑产品为主,做DRAM的有茂德和力晶,这两家远没有TSMC、UMC知名;传闻台湾业者师从日本,所以不一定比NEC know-how是正常的。网上如有去过台湾DRAM厂的达人,烦请通报一声,他们的高架地板高度。
1 s  Q, D( i: B1 ?( X( i  ?0 k6,VCC标准是满足1um生产需要,版主大人的附件中都已标明了,所以对fab业者而言,这个标准太低,满足TFT/LCD业者还是可以的,这就是tony为什么说做TFT/LCD foundation值钱的原因。
- x; ^% s* R) ]3 R7,我贴的图是Nikon stepper i9c的要求.
' N( d, L& c7 R* a$ R! v, A0 b% s% l9 t% w
[ 本帖最后由 kitgain 于 2007-3-15 08:55 编辑 ]
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发表于 2007-3-15 15:29:10 |显示全部楼层 |
首先回答hhnec大大所提的问题:* b$ x) [7 T  S; Q. ?+ u
1.目前在国内制作基础座平台并在非TFT-LCD厂来说Wraffle slap到High raise floor最高应该是天津的中环半导体厂1.8M,其次是天津S厂900mm,再来就是一般的600mm,最低的是150mm以上都是指主要FAB里面,并非SUB-FAB!国外的话最高也做过4.8M的设备基座欧!
+ a' V8 D8 a# U: L3 E2 `2.目前设备基础座制作尺寸一般都与设备尺寸一样,第一是美观,再来是没必要做到比设备大造成成本浪费,另外修边会产生隔离缝隙!因此基座太大的话往往人或是推车会踢到撞到而造成人员伤害或是高架地板振动经由介值传递到设备上!
$ X% i- C- ?  h5 l+ s( w7 `& {接下来就是解决高度问题!关于hhnec大大所遇到的1.5M高度问题,可将NIKON 207D(3500mm x2300mm)可以分为2部份:
$ m4 G  E+ R. e) v& WA.基座本体(3500x2300x200)因为Nikon S207D有震动跟刚性需求因此需要制作成RC基座
( [4 K- i3 s: H/ RB.底部采用结构来增加总高度至1500mm既可!
# x; m% X8 z$ ^* u1 T  |( SMOVE IN 方式需要看现场才有办法提出方案,当然假设过道宽度空间不够的话,只能采用将设备基座打立的方式搬运,因此只要过道空间有1M既可进行搬运,当然有转角的部份就比较难解决了!另外有一点需要注意就是对于预定安装点的空间至少要宽度要有5米左右才能将龙门架给设置起来,将在过道外面打立起基座至预定地点翻平安装欧!
* V8 e" `  G/ l. `
- p4 W1 j, N! A) u) H9 k9 c再来就是Kitgain大大了^^# J: d4 W; r) ~
1.ArF的确是3打头的比方NSR-308F,NSR-S307E,NSR306C.........Krf为SF-100,S206D,S207D,S208D...........
0 `7 @: Q6 D5 q' b9 |4 @! {1 B2.的确不成问题欧!!因为可以透过结构来解决!
/ u8 E4 `* @) S  g, w3.的确是这样赞同
: F% ^: S4 @. C9 X$ q4.说真的目前楼板的承载对于基础座的设计很重要,万一超过承载严重者连设备带基础座一起跳到Sub-Fab去,当然往往土建的设计都有安全系数例如UBC97或IBC2000的规范安全系数1.5左右或超过,因此可以不用太担心!' ~4 Y. s* Y5 h5 R7 S2 Y
5.台湾的FAB厂高度一般是450mm至700mm都有,至于茂X厂地板高度为700mm欧!
; b! ~/ i+ G% |, \5 d% m5 X9 ?6.一般VC-C是指FAB里面的设计,Sub-Fab为VC-B当然实际去量测楼板值都在VC-E以下!至于TFT-LCD主要是基础座很多都很大,有做过长度为20米宽度为4米的设备基座!拆成4座还要利用夜间才能运输!
  m* c2 N0 I  p/ R7.没错那是i9C的,NSR-S207D需求分為震動跟剛性,如附件!

Vibration Stiffness

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zdcyy  good  发表于 2011-11-26 11:09:31
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发表于 2007-3-15 21:29:45 |显示全部楼层 |
感谢两位专业人士鼎立协助并答疑解惑!日后必当答谢!" ?" ^1 G+ Q6 @# o+ }
nikon系列scanner 3打头的是12''机台,比如310;S208D肯定有,S209就不知道了。其实只要问一下nikon的人就知道了。
! w- d+ I$ g9 k两位知道领泰吧?也是FOUNDATION业者,M+W全资控股,其turnkey的FAB项目部分避震台的制作也交由领泰负责。
. F5 |; Q" f3 f# {3 t你们对领泰如何评价?(请中肯、中立,勿同行相轻)
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发表于 2007-3-15 23:03:30 |显示全部楼层 |

回复 #24 hhnec 的帖子

hhnes大大我来评价说真的一定不客观的=.=",毕竟商场就是战场><! E* C1 x3 r# E0 }4 L8 s* @3 I
国内市场来说从事Foundation专业制造商主要是协伟(国内第一大FOUNDATION专业制造商)8 A: x: X2 x$ Z0 l& V. V
相信到目前业界打听多少都听过协伟
4 \9 Z- p& x; W. T. }/ A+ ~7 x而领泰(新加坡商"LEAD")主要从事配管起家,Foundation来说并非业界专业!
' ^1 ^6 ?& F1 ~% O协伟在2001年由S厂一厂开始建厂直到目前,国内主要大型集成电路厂皆由协伟负责施工!2 I0 z% z% n. Q3 i3 A
领泰部份比协伟较晚入大陆市场,因此尚有一段差距!8 X4 \9 w! `8 w) C1 o! L
协伟更为成熟的技术在于12寸设备基础座,不管6,8,12寸所汇集的资料十分丰富,0 q0 h4 r# D! s$ v. U1 H
因此在建厂时可减少业主对于Foundation上的管理更为轻松!
% i" m+ N* F' t) m1 c0 k6 q+ T目前国内所使用的TYPE型式规范也是协伟早期所订定出来,一直沿用至今!' Y" t2 K/ C; r: r2 G7 _
所以说真的!要我去评价LEAD真的很难耶^^"
  Y" p1 I9 R/ K$ m; x# j" c至于M+W全资控股又如何???只不过有个富爸爸而已!有个富爸爸对于国内市场来说能占有多大利润?
. Q" G! Y: e8 ?& ?6 w& {我所了解的M+W是德国人的公司,或许对于专业上来说十分的严谨,但是对于业主来说就是很难配合了
6 n& H9 d  A: @1 E/ O* K相信不久hhnec大大就能体会了!!!!!
# S- N7 p7 H" W: W- q7 P8 ~% d; ?) u: F" s. O" f, K/ [
协昆网站 http://www.hsieh-kun.com
0 s5 I5 ^' w9 WLEAD网站 http://www.lead-mgt.com
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发表于 2007-3-16 00:27:23 |显示全部楼层 |

RC与钢结构 Foundation比较

附件为RC结构与钢结构Foundation比较表* Z8 ?% d+ L5 S
主要描述内容为ASML 200型设备基础座采用RC形式及钢结构形式的比较* f) i' M/ Z% Q. U! t( B. i3 T
分别针对共振频率及刚度进行分析报告!!
  ~1 A- T% B* X" ]; `- ]$ d) ^" h有兴趣的可以下载欧

水泥與鋼結構基座比較.part1.rar

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水泥與鋼結構基座比較.part2.rar

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发表于 2007-3-16 08:01:57 |显示全部楼层 |
传闻新加坡有一家foundation业者,若是这家的话,听到的传闻是价格贵,国内市场份额应低于协昆。8 n8 r+ s( F) W1 P  I" ^4 {9 H
好像和舰是用这家的,和舰的同仁可谈谈对这家的印象。
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发表于 2007-3-16 12:20:21 |显示全部楼层 |
原帖由 kitgain 于 2007-3-16 08:01 发表
- A# e" X# \+ J3 K$ k8 t传闻新加坡有一家foundation业者,若是这家的话,听到的传闻是价格贵,国内市场份额应低于协昆。
$ x2 d" C$ A" x2 {* o好像和舰是用这家的,和舰的同仁可谈谈对这家的印象。
不是传闻,而是事实。
$ {0 j) o! V6 P, @7 l他们早就(3年前)来找过我们了,比协伟还早。TONYLAI你们应该注意一下他们的动向啊!
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发表于 2007-3-16 13:21:56 |显示全部楼层 |

回复 #27 hhnec 的帖子

收到~~; k3 d) j: ^" n- F' j; ~
以前市场来说,只要协伟想接的工程一定接的到!
0 s" S6 x/ M* h现在市场来说,不见得要有利润下协伟才接,毕竟现在市场也有对手,8 u6 X! n0 |3 C" [3 y' ~
因此后续是要把量给作大,增加总体利润!5 A# h  Y, Q  x' f. a% S/ k: H
所以只要是关于设备基座协伟都有兴趣承接!( M; ^# f4 z; A1 t! Y
另外附带提一下,目前协伟的动向,一步步将关于整个基座制作相关的流程完善!2 u! |4 w2 B, \5 h/ }
以前部份需要委外加工的部份,预计在今年年中都可在协伟车间内完成!, I; y. g/ ^2 I0 u, D
换句话说,从原料到现场安装,都不委外!一条龙服务!!所以对于产品的品质都有一定的水平!
; K+ j: u0 g$ _/ U还有目前协伟也针对生产品质以及管理部份着手推动ISO预计今年第四季取得认证
7 V! k/ J* x) l$ D! t8 |3 Q% G所以其许未来协伟成为中国第一,亚洲第一FOUNDATION制造生产中心!
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发表于 2007-3-16 20:04:24 |显示全部楼层 |
原帖由 tonylai 于 2007-3-16 13:21 发表
) ~+ D3 n- x% h0 @1 Q" i收到~~% T# f1 A; @  r1 p" }: n3 R  |0 T
以前市场来说,只要协伟想接的工程一定接的到!5 P1 _' e% H- R# X7 H3 {
现在市场来说,不见得要有利润下协伟才接,毕竟现在市场也有对手," R7 i) t5 k: I/ @/ T, n$ ]5 ]! E# Y
因此后续是要把量给作大,增加总体利润!. S, y  [- B- u* n7 |
所以只要是关于设备基座协伟都有兴趣承接!
: V$ q+ X. ]! ]. P$ @另外 ...
不错不错!有理想有目标!& f! S. d. {' ~, W6 k
这次本公司的这台S207D就靠你们去完成任务了,做好了以后的FOUNDATION都是你们的了!这点我想应该是可以肯定的。
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