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半导体技术天地 › 论坛 › Semiconductor[半导体世界] › Facility System[半导体厂务系统] › Hookup[两次配管] › ＧＡＳ　ＨＯＯＫ－ＵＰ常识
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ＧＡＳ　ＨＯＯＫ－ＵＰ常识 [复制链接]

jxlwang

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发表于 2007-4-30 16:12:28 |显示全部楼层 |
ＧＡＳ　ＨＯＯＫ－ＵＰ常识
+ p& A3 p8 ?& Q8 i) f/ v8 z4 B4 J2 \
[ 本帖最后由 hhnec 于 2007-5-3 22:54 编辑 ]

gas doc.part1.rar

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gas doc.part2.rar

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jxlwang

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发表于 2007-4-30 16:14:27 |显示全部楼层 |
刚没有加上附件！！！！！！！！！
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zhguxmj

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发表于 2007-4-30 17:34:13 |显示全部楼层 |
:wall:
. ]  ?1 t) W$ L4 H7 a, z! `这么粗心？
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stephenhe

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发表于 2007-4-30 18:15:51 |显示全部楼层 |
你的附件呢,同样的错误,你居然犯了两次啊,:wall:
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hhnec

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发表于 2007-4-30 22:00:34 |显示全部楼层 |
jxlwang：请添加附件，否则这个帖子我就删掉了哦！  
, p" P# Y8 B$ b/ g8 ~8 y2 v或者你可以加入QQ群，我替你上传也行。
Facility &EHS system
http://hhnec.2ic.cn
新浪微博http://weibo.com/hhnec
dudud_u@yahoo.com.cn
本人QQ：5210313
QQ群7: 122789052(申请开放中)
QQ群6: 142110287(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群5：73294397(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群4: 51846472(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群3: 48739165(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群2: 42422965(已满员,欲进此群请为其充值)
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stephenhe

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发表于 2007-4-30 22:17:06 |显示全部楼层 |
呵呵 ,终于有权力机构出马拉,^_^
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jxlwang

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发表于 2007-5-3 22:45:54 |显示全部楼层 |

GAs HOOK-UP

大家共享！以后多交流啊！
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hhnec

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发表于 2007-5-3 22:55:21 |显示全部楼层 |
我已经收到楼主的资料并进行了更新。感谢楼主的无私奉献 ！！' u1 ^# a4 {" E& E' I: `7 P2 Z: j
' ]$ t/ {7 @  F' X/ h
[ 本帖最后由 hhnec 于 2007-5-3 22:57 编辑 ]
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stephenhe

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发表于 2007-5-4 01:13:48 |显示全部楼层 |
今天终于看到了附件啊,谢谢楼主的分享,也谢谢HHNEC兄的辛劳,做版主不容易啊
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stephenhe

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发表于 2007-5-4 11:33:45 |显示全部楼层 |
终于看到附件了,也下载了,谢谢楼主何HHNEC
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silvia_jiang

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发表于 2007-5-7 16:39:05 |显示全部楼层 |
多谢多谢！
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handsets

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发表于 2007-5-8 11:13:50 |显示全部楼层 |
谢# s0 t/ l: d6 d7 q
一下啊
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martinfan

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发表于 2007-5-8 16:38:17 |显示全部楼层 |
下了打不开啊!郁闷
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ARNOLD

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发表于 2007-5-8 19:07:17 |显示全部楼层 |
啧，jxlwang 是吉威的人啊？
5 q0 ^7 {& A5 U. ~5 b. T2 v' ~3 q不然怎麽会有他们的资料呢？？
  E$ p# \. x: |; @) ^7 {2 K真牛啊！！! `3 {+ t2 v5 @: _) k/ E
: |( d) d- n& Z4 _, ]* w  X
[ 本帖最后由 ARNOLD 于 2007-5-9 09:34 编辑 ]
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tclmeto

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发表于 2007-5-8 19:36:55 |显示全部楼层 |
谢谢楼主,可惜钱不够啊
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tommy_zhangjd

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发表于 2007-5-9 08:33:38 |显示全部楼层 |
下载了,好东东!
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老机器

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发表于 2007-5-9 08:48:54 |显示全部楼层 |
好东西？？？+ ?) A# d8 ]' r6 T
下来看看　！！:wall: :wall: :wall: :wall:
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ARNOLD

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发表于 2007-5-9 11:59:20 |显示全部楼层 |
嗯，是好东西没错。
+ l& C0 Y4 D7 m5 X- J不过，那是人家公司的内部资料
+ V  d% D4 q" v发出来给大家下，会不会有问题啊？
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jayetian

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发表于 2007-5-22 21:56:37 |显示全部楼层 |
对HHNEC的Gas hook up system略知一二
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jafften

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发表于 2007-5-26 11:54:28 |显示全部楼层 |
终于看到附件了,也下载了,谢谢楼主何
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jayetian

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发表于 2007-6-1 09:30:41 |显示全部楼层 |
小弟有份关于半导体厂BULK GAS SYSTEM的相关设计资料,愿意分享.

半导体工厂大宗气体系统的设计.pdf

125.88 KB, 下载次数: 35, 下载积分: 金币 -2

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ARNOLD

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发表于 2007-6-1 11:01:49 |显示全部楼层 |
原帖由 jayetian 于 2007-6-1 09:30 发表 + W& V: V% `; \8 r% A; C/ p
小弟有份关于半导体厂BULK GAS SYSTEM的相关设计资料,愿意分享.

3 Z# F% D0 M- A  O* m' u2 a: ^' j; K9 d" S! ?
这份资料不错哦。。可惜，里面所说的附图没有看见。/ x$ Y/ V& ?5 k! e
是否在作pdf时没弄进去？建议jayetian再查看一下啦。( C' f' w8 t, o; G) S

: N1 ]$ v: k2 a9 m( h% ?在前半部提到的气站设计。。如果大家有机会的话，可以去叁考hjt.
5 \: B$ D$ k3 ^: c: ^) g她的gas yard可以清楚的看到LN2储灌－＞蒸发器--＞filter-->purifier room --> subfab 9 v) c& g6 r, m6 X! Z( V* M
（事实上她很豪华的在蒸发器后又加了一组purifier，双段purifier...强！！）
: C* H# M, p, Q4 g1 igas yard隔墙就是氢气房/氦气房/sih4....等用bundle集中供应- W0 _( C* j  t
当初看时是没有作防爆门的，敞开式。。* V# u6 l. {5 S' A7 D: u
也可以看到文内所提到的”空分装置制氮”，我个人习惯叫它”氮气产生器”。。- J* p  k* l; E
这个氮气产生器很有意思，巨无霸一个，当初BOC好像在美国旧厂拆的，总共有二个。
- L4 T0 T8 g5 X5 M4 i& B( y# ^在hjt的是老二，老大记的没错的话。。应该在上海张江的BOC那里。$ R0 n2 W+ h6 [% A6 r+ y6 r
小弟觉得hjt的gas yard是蛮好的观摩地点。（没有对hjt有任何不敬之意）
3 l) ~- N! Y3 \% [7 g* V! Z0 i' J- t. o4 r6 S, d5 C
小弟对文中所提到的”一般氮气”使用的管材有点看法。, H: o7 J0 M/ v1 }' t4 h
文中所说，一般氮气一般采用BA:光辉烧洁316L BA，也可以用化学清洗的316L CC管。+ I! T* \* H  U) R0 r
小弟并不建议用化学清洗的管材，因为会有晶界腐蚀的状况.
  G7 B. M' O7 M/ O, S  V% n# G* w9 d7 o$ j
小弟想请教316L CC ,"CC"是什麽文字的缩写？是否笔误呢？: o. \7 J, @- d9 m) _
因为一般是指化学抛光(Chemical Polishing)
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hhnec

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发表于 2007-6-1 22:55:34 |显示全部楼层 |
原帖由 jayetian 于 2007-6-1 09:30 发表 + t; _* _# D- S4 M* ~5 o. s
小弟有份关于半导体厂BULK GAS SYSTEM的相关设计资料,愿意分享.

1 P  V1 F2 U( I) d. k8 D, `) |这份资料本版块里早就有人发过了！ ) f5 q$ f. Q3 N
http://www.2ic.cn/bbs/viewthread ... p%3Bfilter%3Ddigest/ }! J8 q0 j& p6 W* i+ H

% O" I, g+ i; O. n3 M4 l1 p[ 本帖最后由 hhnec 于 2007-6-3 10:21 编辑 ]
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imikexu

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发表于 2007-6-4 12:22:44 |显示全部楼层 |
正是我需要的资料
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imikexu

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发表于 2007-6-4 12:25:22 |显示全部楼层 |
谢谢楼主了啊
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jayetian

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发表于 2007-6-12 15:38:07 |显示全部楼层 |
不知道何时才让我下载附件啊？
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jayetian

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发表于 2007-6-12 15:41:00 |显示全部楼层 |

回复 #22 ARNOLD 的帖子

CC=CHEMICLE CLEAN，若有误，请雅正。
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ARNOLD

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发表于 2007-6-12 16:58:46 |显示全部楼层 |
原帖由 jayetian 于 2007-6-12 15:41 发表 ! n1 r1 u5 W! e- L
CC=CHEMICLE CLEAN，若有误，请雅正。

4 G4 Q& v% c; \9 @1 t
( C1 y( j! v2 x- o中啦！其实小弟也是这麽猜。。8 \; F7 L2 `, a& j1 S0 K- c# g9 n; w0 ~
不过因为与前辈说的不一样所以心里很奇怪。
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ksitony

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7
发表于 2007-7-23 08:46:24 |显示全部楼层 |
收下了，谢谢
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clockman

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发表于 2007-7-27 23:17:46 |显示全部楼层 |
在这里收益不少,多谢前辈了!
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