AMHS进化论

cim

第一次发原创贴，请Julian多多指教。
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      AMHS Automatic Material Handling System,中文译作自动物料搬送系统，也有称为天车系统的。这种搬送系统的应用范围还是蛮多的，比如说机场的货物运输，自动化工厂的物料运输，在我的记忆中，似乎上海图书馆也有这种类似的图书自动搬送系统。
% V- e$ p' |- u2 W9 r     当然，AMHS应用范围最广的还是在半导体晶圆厂。之所以晶圆厂会大规模的采用AMHS,基本上是基于它可以快速准确的将Carrier搬送到目的地，较少wafer的idle time,减少MO。但早期的6英寸晶圆厂由于wafer本身重量有限，应用并不是很广，后来随着8英寸晶圆厂的兴起，AMHS的应用开始渐渐兴盛起来。
+ Q* U; }3 I6 X) b  Q' O. r       AMHS的搬送一般分为Interbay和Intrabay,OHS负责Interbay,而OHT(AGV/PGV/RGV)负责Intrabay。最初的AMHS的Interbay和Intrabay都是相互独立的，中间通过Stocker连接起来。跨Bay的搬送也必须要通过Stocker才可以实现，即OHT+OHS+OHT。如Intel最早期的FAB厂，就可以看到这种款式的AMHS。在这种设计下，stocker的作用不仅仅是wafer的存储，他还扮演了更为重用的wafer搬送的桥梁作用。如果说某一条bay上的Stocker发生了严重故障，很有可能会影响到这个bay上的wafer Movement。
0 y: X8 r& Q2 u后来工程师们发现，跨BAY的搬送必须通过Stocker来完成，实在是影响效率，故在此基础上加以改进，产生了第二代的AMHS,即部分区域跨Bay的搬送也可以由Intrabay的OHT来实现。即我们通常所说的EQ to EQ的直接搬送。
3 l4 m/ P- i% x: `! H- P再然后，AMHS的设计研究人员发现，采用了这种EQ to EQ的直接搬送可以大大缩短Carrier的搬送时间，从而缩短wafer的cycle time,同时还可以大幅度的降低AMHS搬送效率对于Stocker的稳定性的依赖。所以，他们索性设计出了全厂性的EQ to EQ的第三代AMHS，即所有的Intrabay和interbay完全由OHT来实现，不需要Stocker作为中转。这种情况下，stocker仅仅扮演了Wafer Storage的角色。如，AMD的FAB就有这种设计。
       再然后，AMHS的使用者觉得，由于stocker的搬送中转作用消失了，而仅仅作为wafer的存储仓库，其占用的cleanroom的空间实在是不划算，（没办法，所让cleanroom寸土寸金阿），于是设计人员发明了一种放在空中的carrier存储装置，称之为ZFS，zero footprint system,也有称做UTS的。（under track system）这种系统是直接悬挂在天花板下，位于intrabay和interbay的上方，所以根本不会占用生产机台的空间。这就是第四代的AMHS,Stocker+OHT+ZFS。如：Fujitsu和Micron的fab。
' s( M3 |, ]& E       由于AMHS系统的成本非常高，（简单估算下来，一条8英寸的AMHS大概在10M $,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。）在当前中国大陆的FAB厂中，使用AMHS的fab屈指可数。Smic,Grace,HHNEC,Hynix-st几家。
7 E! h! l2 L+ l       但我相信，随着12寸晶圆厂的兴起，在不久的将来，中国的AMHS系统会被更广泛的应用，同时也衷心希望能有中国自己的AMHS系统设备制造商的出现。
小弟不才，只望抛砖引玉，希望能够有和更多的CIM同仁交流的机会。如有不对之处，望不吝指正。
随文附送一篇原台湾某晶圆厂厂长的硕士毕业论文，有关AMHS系统介绍的。

[ 本帖最后由 juliankuo 于 2007-2-7 02:25 编辑 ]

cim

原台湾某晶圆厂厂长的硕士毕业论文

juliankuo

原帖由 cim 于 2007-1-22 21:37 发表
第一次发原创贴，请Julian多多指教。
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. l- i9 z, y/ f( j+ f2 T9 c      AMHS Automatic Material Handling System,中文译作自动物料搬送系统，也有称为天车系统的。这种搬送系统的应用范围还是蛮多的， ...

( _6 k: K( U: J
你的文章一贴出来，我就来回看了数次，不仅有產观学的见解，同时也对中国目前使用AMHS的情況，也能一一的point out 相对应的情況，最难得的是其AMHS的各世代演进，也都能逐一精辟的說明，非常不错的內容，加你金币, 一鲇都不为过。
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期待能继续看到你的好文章
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Julian Kuo

希希mm

看的有些勉强，虽然意思看的懂，里面的好多英文缩略语是不是请楼主方便的时候解释一下，非常感谢！

ariocarpus

很好，希望有更多搞自动化的朋友都来交流。
' Z0 a1 y4 m6 q" l( m+ x/ V另外，目前国内有做AMHS的企业吗？

juliankuo

原帖由 ariocarpus 于 2007-1-23 09:42 发表
  T/ o2 Q0 i: y; i2 V" W很好，希望有更多搞自动化的朋友都来交流。
5 }! f+ u$ }. c- ]5 h; N. V, p另外，目前国内有做AMHS的企业吗？

这是一条很长远的路，AMHS SYS本身比设计一台生產用的机台还复杂许多，国內会出现本土的AMHS设计厂家，可能还要等数十年之久。

原来听說，2005台湾的台塑集团下的台塑重工要开发类似的系统，后来市场和成本的分析是头重腳轻的结果，就give up 了。

/ D8 o5 Z2 K7 U# S原因是，现在业界( SEMI and FPD) 已完全接纳日本brand为AMHS市场百分百的拥有者, 开发无益。
* c3 P4 [6 }' I9 \$ m$ h- {
PRI(被Brooks 合併)

Shinko
Maruta
+ `1 F2 i) Z" }- w/ X: i& S( vDifuku (现在应是市场最大的winner, SEMI & FPD两边皆吃香)

Toshiba (被干掉, 在新加坡自家的TFT厂还曾出人命，把Opreator的头闸断)
1 t" T; E9 @" I& \9 |5 I. G
, c# r% e7 `# I/ U3 E7 \Hitachi (2006四家公司合併为一家，叫Hitachi Instrument 现在台湾，韩国，中国沒人敢用，据說只有日本本地的Sharp在用，毕竟是资方，不用也說不过去. 原先2006计划要把一些技术转给北京的七星，谁料，国內的平板市场突然来个三合一即溶来粉，两家公司都傻眼，目前靜观面板三合一的结果。)
" {7 V" k9 x" d7 X7 `% ~
Brooks(买了PRI之后，就沒卖出去过，财务赤字更加严重, 导至2006还要把工厂软件自动化贱价卖给Applied Material, 用一个字来形容 『惨』
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( W/ W- r0 V9 X/ p3 d( \至於韩国和欧洲的非主流，就不提了，需要sales 多努力，获得国內user的芳心才是

  B! ^# T  q; }7 ~, C$ }[ 本帖最后由 juliankuo 于 2007-1-23 12:21 编辑 ]

wu0512

楼主上面说的厂商Difuku应该是Dafuku吧.

cim

对于AMHS系统性能的分析，主要是从以下几个方面考虑：
% J! P5 m) |  s* p% w( j2 P6 |1 Xi)稳定性：MTBF, MTTR, Uptime......
ii)存储性：Average Storage Rate......
& p; ?6 R' h6 o. R7 Kiii)效率性：Average Transferring Time（ATT）, Average OHT idle time......

' `5 T& O5 ^& s3 ~( \; y; H; \; Vi) 稳定性这个指标基本上取决于Hardware的性能，如，robot的可靠，sensor的调整，电子线路的设计，OHT Power supply的方式,PM的频率和质量，本文暂不讨论这个范围。
ii) 存储性主要是看所有的存储设备（stocker+UTS+carbinet）是否能够满足FAB的wafer存储要求，大部分时候这一点适合当初的设计有关。此外，大多数情况下fab内wafer的生产并不会达到一个很好的balance,也就是说各个Area的waiting wafer数量相差很大（相差几万片也是常有发生的），这个时候就需要对AMHS的动态储存的负载平衡做以调整了。当然，这个话题也不是本文讨论的重点。
iii) 本文主要想重点讨论一下效率性的问题：即如何能够把Average Transferring Time有效的降低下来。
1）   为什么Average Transferring Time如此重要？
以一个Full auto的300mm fab为例，
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8 G3 M$ z3 S+ R; Nwafer的cycle time=processing time+ loading/unloading time + waiting time
waiting time=Average Transferring Time（ATT）+ other waiting time

8 f; _  U, s6 g" w& s+ U, ^
从上面可以看出，ATT是可以直接影响到 wafer cycle time的，具体影响有多大呢？
大概来讲，一个完整的半导体工艺需要400个Step来完成process,而这个400个step大概总共需要1200次进入设备，
' |! }3 i- }4 P# a6 R6 c/ a. j. }& G一般而言，一个优秀的AMHS系统，这个ATT应该在2.5min~3min之间，而没有优化过的AMHS的这个指标很有可能达到5min甚至6min。
& i/ N4 [6 I- S) g' V2 z- y% r我们取差值为2min，乘以1200=2400min，即wafer cycle time多浪费了40hr,对于瞬息万变的半导体市场而言，这40hr简直是不能忍受的。
2）   如何降低Average Transferring Time？
对于影响这个指标的因素，我们可以将其简单的划分为两个方面：硬件方面和系统控制的逻辑方面
硬件方面主要有：OHT average speed(直线速度和弯道速度), OHT max accelerate speed, OHT robot depositing & acquiring speed,OHT的数量等。
系统控制的逻辑方面也包括两方面：
1．   OHT Controller的控制逻辑：这一条很复杂，大部分的系统制造商都是使用动态模拟的方法得到最优的控制逻辑，但是可以简单的说明一下，这里面主要考虑的优化逻辑有：空闲车的分配管理，对于搬送任务时候的空闲车辆选择，搬送路径的选择和动态更改，运行轨道的交通控制问题等。
# {+ e% x5 y8 q$ e1 y( }- l4 G2．   MCS & MES (or RTD)之间的通讯控制逻辑：对于这方面，MCS的角色相比较而言很单纯，only执行MES or RTD系统下达的命令而已，但是对于MES or RTD而言，他们就需要考虑更多的搬送顺序的问题。比如一个最简单的例子：对于有internal buffer的furnace机台，它的load port是可以loading 和unloading的，但如果对于同一个时刻，又有loading和unloading的情况下，RTD是如何分配两个batch 10多个carrier的loading 和unloading的顺序，以达到最优，是一个很值得研究的问题。
* @2 O$ E" A0 E9 _) w9 `3．   此外，大部分的MCS和MES之间的搬送逻辑是，当一批wafer process end后，unloading结束，然后undocking,unlocking，这个时候，MES才会通知MCS分配车辆到达机台loadport取货，但是否可以做到predict in advance呢？即在wafer process end 的时候，MCS就可以接到指令，提前将OHT准备在EQ的loadport处呢？
3 V% y( i6 x3 R5 |& s% r3）   还有什么其他方面的挑战？
最后，我们还可以发现对于waiting time中，还有一个影响因素，就是other waiting time,这个指标主要是受一些其他因素的影响，比如说，wafer hold, recycle, wait for merge or split, wait for monitor wafer等。但这里有一种情况，是MFG管理者经常关注的，也就是当FAB产能比较吃紧的时候，如何更优化的安排wafer run货的选择，即bottleneck EQ的管理，super hot lot的管理，每个layer上waiting lot的优先级选择。通常，这也是MFG Planner的工作。对于，产能很高（超过50K），线上产品多大上百种的Foundry FAB, MFG planner的工作是非常辛苦的。因此，制造软件系统供应商提供了一个非常有用的工具，即：FAB Scheduling & Dispatching system。这个工具的原理，借助于系统建模和优化算法的概念，把整个FAB的所有元素建立在一个模拟系统中，再根据不同的优化方法得出最佳的派货方式。因为，所需计算的数据量非常庞大，通常的使用者会用Cron Job的方式在凌晨运行它，经过四五个小时的计算，赶在每天公司的生产晨会之前得到分析报告，凭借这份报告的参考，MFG的planner会非常轻松的根据目前fab的运行情况，安排当天的各个area/shift的生产任务。

7 A" c0 H1 P) \6 s9 o( _     本文，其实只对AMHS系统性能的优化作了非常简单的介绍，有兴趣的同行可以私下和小弟探讨。同时也感谢版主Julian的不吝指教。

. N9 |$ L& O% Y3 r; [[ 本帖最后由 juliankuo 于 2007-1-24 03:58 编辑 ]

cim

AMHS各厂商产品之比较及目前大陆之各FAB使用AMHS的情况简介
! H* _8 x; E" q
如Julian上述所言，AMHS Vendor确实目前全球范围主要有四家比较大的制造商，他们几乎瓜分了
这个行业全球市场分额的90%，他们就是Shinko, Daifuku, PRI, Muratec
) c2 S) O4 @- O5 H$ v1）
- ~9 L6 {" o( H( J先说shinko(神钢)吧，这家公司最早成立于1946年，涉及的产品包括电子元器件，各种传感器，控制板，电源电压开关等，
可能由于这些产品面临的竞争非常激烈，基本上都很难赚取超额利润。自从80年代涉足半导体行业，短短20余载，现在shinko可以说是
! e1 ~- Z; q2 w% d! B4 H3 ~AMHS业内的顶尖高手了，同时AMHS也给它们带了巨大的利润。他的搬送车和stocker中有很多是他们独有的控制技术，而且很多内部的电子
元器件都是他们自己生产。这样也可以保证他们的Hardware上的高稳定性。
8 G& g& _: ?% W先简单谈一下Shinko产品的优点或者说比较特别的地方吧。

A) 方便易维护的搬送车的供电方式
它的搬送车供电是采用线形马达通过高速变化的电磁场得到电力动力。首先，它在轨道上铺设高压电力线，在搬送车上安装有电磁线圈，当电磁线圈
通过这些高压电力线的时候，车辆的内部就会产生电流。
- F1 h' D6 B+ e% ]/ l3 H4 W( ?/ y' S这种方式的好处是，不需要非常复杂的日常维护，日常Parts的损耗可以说很小。
' Z% |/ U% J* E+ q+ p" n+ ~) s3 q
B）独一无二的搬送车辆的通讯控制方式。
他的Vehicle和 Vehicle controller间的通讯方式有点类似目前上海一些小区推广的电力线上网的原理。它是把数字信号通过一个安装在轨道上的Modem转换成高频的模拟信号通过高压电力线传送给一个总的通讯控制器，然后再通过RS232串行通讯发送给Vehicle Controller。这样的好处就是通讯信号非常稳定，但是通讯速度会有点慢。

C）D-Net控制总线和使用IsaGraf进行马达和传感器的控制芯片的编辑。
* O2 b7 i  M3 c( X, T& L& `- }
D）自己开发的MCS产品，C++开发的Core Kernel,Java进行GUI设计，使用HACMP的概念做双机备份。

" g. w, O/ _3 _" W; @4 @总的来说，Shinko的产品给人的感觉就是非常实用，性能稳定，但是价格相比较而言，还是有点贵的。

目前，大陆地区，据我了解，shinko产品的分步情况：
SMIC 上海有使用shinko的stocker和OHS,但是规模很小，
HHNEC仅有几台AGV,Grace有使用中等规模的OHS+Stocker,
SVA和苏州和舰使用了shinko的OHS+Stocker，规模很大。
; ^1 b9 }+ a( M1 c1 y, Y) gSmic的北京12#fab有使用OHT+Stocker,但奇怪的是没有做到intrabay的搬送。
1 C1 `7 r! Q* V3 F8 t, ]: X; \Smic在上海的新建12#fab据说也被shinko抢到了。

此外，还有一点要说明的是，虽然目前shinko在大陆的市场分额很大，但是他竟然没有在大陆成立一家独立的分公司或者办事处。它所有的After service都是挂靠在一家上海的皮包公司里面。

未完待续。

; t$ T. P/ D9 e6 ]7 r% }% M[ 本帖最后由 cim 于 2007-1-24 14:28 编辑 ]

cim

2）Daifuku 中文翻译为大福，和Shinko一样，也是一家日本公司，在日本，Daifuku可比Shinko有更高的知名度，原因在于
: ^: \7 B+ @$ I) RDaifuku的经营范围更广，适用更多领域的工厂自动化，比如说，自动仓库，传送带，智能卡，智能车辆等。当然，半导体
: j+ I  x# I3 ]0 \FAB的AMHS仍然是他的最重要的利润来源。
" Y8 |( m# Q7 L. o和Shinko的市场策略不同的是，Daifuku更看重大客户的争夺，如韩国的三星，Hynix,美国的Intel，台湾的TSMC，这样的重量级的大客户，几乎都被Daifuku纳入囊中，因为，Daifuku对于中国大陆的众多FAB客户，似乎并不是很热衷和Shinko降价抢单，目前，大陆在Daifuku的客户名单中只有HHNEC早期的10几台Stocker,还是当年跟随NEC进入中国市场的，SMIC在上海的1厂和2厂也有使用。
7 h" ~0 l$ o/ H2 X另外两家比较大的客户就是位于昆山的龙腾光电和无锡的Hynix-st,这两家之所以使用Daifuku的原因也还在于他们的资方或者说母公司就是使用Daifuku的产品。
2 E7 b8 R, e# S0 e. k3 m1 dA）Daifuku的OHT的供电方式和Shinko类似，采用无接触式的电磁感应产生电流动力，而OHT与OHT Controller间的通讯方式是采用无线路由,即AP，它会在全FAB内的轨道上布满AP,这样的好处是通讯速度很快（802.11g），而且管理起来非常简单（以太网管理）；但是也有它的缺点，就是AP的电源接口有脱落的危险，而且24*365的运行对于AP的品质也有很高的要求。
8 {/ J" g/ Z* I! I
4 N7 v1 D! V- ?% p( o- s( pB）Daifuku的OHT在分流合流的交通控制与Shinko也有不同，Shinko使用了一种叫做诱导线的装置，当诱导线感应到了Vehicle的进入，会发送ON的信号给后面进入的车辆，这样就可以阻止后面的车辆的进入分流合流的区域。而Daifuku使用了Light Guide和一个叫做ZCU（Zone Control Unit）的装置，Light Guide类似诱导线，但是交通的控制是由ZCU来控制的，ZCU可以判断车辆进入开出该区域的优先顺序。这样的优点就是功能强大，可以设计出各种复杂的交通控制逻辑，但是缺点就是一旦ZCU发生问题，会导致轨道的瘫痪。
. J1 c# z$ W4 @- i; v+ n  P
C）daifuku的stocker和shinko的设计理念非常相似，可能都是日系产品的缘故，但比较有趣的是，Daifuku似乎特别钟情于无线路由技术的应用，甚至
在Stocker内部的通讯也采用无线AP的方式。此外，在工控机的控制上，daifuku倾向于PLC的使用。
+ Q  O8 e, j: u$ s
* B# j; F8 S" |' sD）MCS方面，谈到Daifuku的MCS,真是说起来话就长了，要知道日本人似乎天生就不是软件设计的料，因此，Daifuku和Shinko早期的MCS都是使用别人家的产品。但shinko觉悟得比较早，2000年就开始开发自己的MCS产品，并开始推广。而daifuku似乎比较顽固不化，坚持与Brooks的合作并使用Brooks的MCS产品，直到2004年，brooks merge了PRI,(似乎是这一年，我记得不太清楚了)，daifuku这才恍然大悟，开始奋发图强，据说为了培养自己的开发团队，派遣了10多个日本工程师赴美学习MCS的开发，回来后开始闭门造车，经过一年多的摸索，竟然也让他弄出来一套比较像样的产品了，取名为xMCS，之所以称为x，据说是受到X-Man的启发。
晕倒！
3 V& F$ r4 s5 F% g如果见过daifuku的MCS,可以发现，处处留有Brooks MCS的影子，使用JAVA技术开发Logic kernel和GUI,使用Weblogic进行AP的管理,倒也省事不少。而最让Daifuku引以为豪的是他们开发出了一套FTC系统，可以起到RTD的部分功能，使他的MCS更为灵活，从而可好的管理12寸Full auto的AMHS。

E）谈到这里，不得不说一下daifuku的Service和装机人员的品质，和shinko比较起来，还是有一定的距离。不过，这里面也有几方面的原因：
        1）首先，前面说过，daifuku相比较而言，更重视大客户，所以对于大陆的半导体客户，重视程度不够。所以，大陆的大部分客户，都被shinko抢光了。
        2）其次，daifuku在中国大陆设有分公司数家，这样的好处是他的工程尽量聘用当地人员从而节省成本，但是要知道当地人员的经验和工作态度和日本原厂人员相比较都有很大的差距（虽然我不愿承认，但日本人的工作态度和敬业是非常让人尊敬的）
7 A( b6 k7 j/ R                和Shinko不同的是，由于其在大陆并没有分公司，所以他的项目实施人员全部都是日本原厂和台湾过来的经验丰富的工程师，施工品质和Warranty service可以得到较好的保证。

jesselishugong

愿意结交做相关Automation方面的朋友交流工作经验.

" P0 X: |/ p8 z6 e' \% F" S" I0 Fjesse_li@kesl.com.cn
. `4 T8 w2 s0 H. {! B2 Z
, i: X5 g- H! |! }0 VJesse Li.
谢谢!

cim

接下来该谈到PRI了，说实话，我对这家的产品接触不多，印象不是很深，只能就自己的经验简单谈一下。
5 E1 ^& F  Z: f1 @0 R1）        PRI, 一家美国公司，后来被Brooks收购，PRI的AMHS最主要的问题是硬件的稳定性不够，根据台湾FAB使用下来的经验就是，它的OHT和STOCKER的Robot不是很好，需要经常做维护保养。
2）        OHT和OHS的动力来源是使用充电式电池供电的方式，这种方式的优点就是，安装调试非常简单，而且项目刚开始的报价会很低，有利于客户的争取；但是缺点就是，使用电池供电的方式，要求Vehicle每隔一段时间就必须要到Station上充电（每台stocker上都有可供充电的station），这样就会影响AMHS整体的搬送效率。此外，电池有一定的使用寿命，增加后期的维护Cost,而且这种方式无疑会影响到vehicle整体的稳定性。导致搬送系统的MTBF非常低。
3）        PRI的几个缺点对于半导体FAB而言，是非常致命的，更令人难以容忍的是他Service的品质和公司内部供应链的管理，其糟糕的服务和Parts的供应更加导致了其产品在这个市场的萎缩。似乎，这家公司的产品从来没有打入过日本和韩国的市场，而在台湾也是只有少得可怜的几家客户在使用。（TSMC，茂德。。。。。。）
4）        在大陆的市场，只有天津的摩托罗拉有其产品，还是因为母厂具有美资性质的缘故。此外，还值得一提的是，PRI早期有推出过一款Reticle stocker的产品，用于保管reticle的。因为其设计的理念是将所有的reticle裸露的放置于stocker内，很容易因为particle或者ESD的问题导致Reticle损坏。因此，该产品后来也销声匿迹了，在大陆只有Grace和无锡华晶在使用。

juliankuo

Brooks ( PRI AMHS)在中国的服务市场都是KEL精泰在做的，不过，在2005三月曾经KEL想与Brooks 断絕合作关系，因为做了几年的代理，獲利並沒有想像中的好，另外，最重要的影响是来自於Brooks把LoadPort的代工，決定给台湾的MIT而不是KEL，这事誏KEL非常的失望。后来Books 就认为，这是单方面的毀約，就以相关国际条款，逼得KEL不得不往下再合作下去。
6 U: d+ [$ g$ l. h" F# P
7 H0 z- O/ A: w" ?8 l, y, b0 m过去的商业历史，反而誏人学会风险常识

[ 本帖最后由 juliankuo 于 2007-1-30 16:01 编辑 ]

niexin2000

大家好, 我现在在新加坡做SSMC 公司做AMHS (Brooks) ,  有三年的工作经验!欢迎国内的朋友多交流!    niexin2000@yahoo.com.cn

juliankuo

我记得Malay 的First Silicon 也是用PRI 的，听說初期有不少安装设定的问题，后来Brooks把PRI买了，三年之后又把当地的office 也关了，不晓得新加坡的AMHS support是谁来做的? 怎麼做的? User的评价又是如何?

cim

今天该谈到Muratec了，中文名字叫村田机械，和前面几家AMHS制造商相较而言，Muratec绝对是这个领域的
小字辈，它在1997年6月才成立自己的Clean System Division,但那个时候还是从属于
他们的自动化部门，后来才将其从自动化部门剥离开，成为一个独立的Division.
4 @% K0 M3 m8 [* U0 V/ F  早期的Muratec最具特色的要数它OHS的设计理念，他们的设计人员认为一辆OHS只能承载
一个Carrier简直是对于资源的浪费，于是乎他们设计了一种可以同时承载两个carrier的
- t7 H; ]7 r# J/ fOHS，具体请见下面的附图。但同时，也增加了硬件上设计的难度和逻辑控制上的复杂性。
  坦白的说，对于customer而言，AMHS的搬送效率是建立在其较高的稳定性上面，
) F3 Q, C' c# I9 }/ O7 \如果稳定性和效率产生了冲突，那customer是会毫不犹豫地抛弃后者的。换言之，即使你的产品
正常情况下的搬送效率很高，但是整体的稳定性不足的话，就从整个轨道搬送系统的角度而言，
$ ~  W- \3 n1 U  R( B其总体的Uptime和performance仍然很低的。
( ]+ t4 L% z& t  [( R& z$ R  Muratec很不幸的成为了这条潜规则的市场牺牲品。由于它的OHS设计上的复杂性，导致无论从
硬件上还是软件控制上，都会对稳定性造成巨大的影响。因此，也导致了它的市场评价一直不是很高。
9 `% Q- D5 v/ X! E7 N) c+ S此外，由于在台湾早期华邦的一个案子，因为客户恶意压价，而Muratec为了抢单，不惜亏本硬着
, c+ W  n& l2 r9 V& R9 t( G头皮接了下来，但后来为了保证盈利点，在很多关键环节上作了修改而降低整体成本，因此，整个
案子烂掉了。从此使得它的名声一落千丈。
" r. g& r+ O3 {1 n. H5 f, @/ v  Muratec在300mm系统上OHT的一个特点是它的OHT Robot的Y轴可以有更大的活动范围。在OHB（Over Head Buffer）
* R: M" X8 ^1 V, R. Q% t的应用上较为突出的是，OHB不需要做任何动作，整个FOUP Loading的动作是由OHT来完成，即OHT的robot
需要向Y轴方向移动更远的距离。
  Muratec在大陆市场一直没有订单，最有机会的一次是近期HHNEC 300mm的案子，它最终成功
- X& t( j3 h1 R' @( `胜出，但据圈内人士说，是因为负责自动化的VP早些年在台湾就一直使用Muratec的AMHS,因此交情颇深。
谁曾想，北京的一纸公文，cancel了这个项目，重新上马200mm的话，Muratec就不见得那么容易重新
获得订单了。

cim

附件及为Muratec的OHS，可以同时承载两个Carrier的图片。

沉默行走

各位前辈好：
我有一个疑问，难道amhs或者工程支援，真的不重要嘛？可能搬送是比较独立的一块，设备的精密度也 不如其他制程，可是它的软件和控制部分确实很有学习和改进的余地阿，尤其如能接触online部分，那更好了。前辈给些意见吧！
" E! ~1 H+ X, R, h! n8 s另外，老板让去学其他制程，各位觉得diff，imp，cvd，pvd的设备，学哪个比较好？我学自动化的，微电子不太熟，imp会不会对人的伤害太大了呢？多谢。
5 G9 e& Z9 {1 Q; j: b' w
, B6 K. h" l0 T- k[ 本帖最后由 juliankuo 于 2007-2-4 22:53 编辑 ]

juliankuo

原帖由 沉默行走 于 2007-2-4 22:25 发表
各位前辈好：
我有一个疑问，难道amhs或者工程支援，真的不重要嘛？可能搬送是比较独立的一块，设备的精密度也 不如其他制程，可是它的软件和控制部分确实很有学习和改进的余地阿，尤其如能接触online部分，那 ...

) e7 G( ?2 q9 L
1 Z! |0 E; d+ V, _! G9 m
这位兄弟

在SEMI的八英吋厂，一般来讲Auto 都是支援单位，当然也要看公司的组织配制，像TSMC就将AMHS归在MFG里，其它大部份的厂,Auto 只是独立支援单位。AMHS在十二吋的角色就更为重要，不过加班的情況，也是频频出现。

国內目前有AMHS的厂，一支手掌的指头就夠数了。若要显其地位，我建议你可換跑道到TFT-LCD Array厂，那儿的地方，到处都是自动化在传输，因为人搬不动一米八乘两米的玻璃。
# z4 B0 Z# ^; g; x
薪水的部份，就得看公司了，国內目前现有的BOE, IVO, SVA 可以考虑。现在又加上一个SVA-FuJi Film 的一个厂，还有一个在浦东深天马STM的4.5代厂，这厂尚未招AMHS的人材，我记得他们的AMHS好像是用选Hitachi的，东西尚未运到。SVA-FuJi Film未決定供应商，不过还是日本厂家，当然不是日立.....这是有原因的。

( T4 |$ R6 R: a  U' y  s$ QJulian
. i. i4 ~9 `) B& r8 M
( \( A, f% F; j- m7 s[ 本帖最后由 juliankuo 于 2007-2-5 02:41 编辑 ]

catastrophe

对AMHS的理解太浅薄了，看到上面很多大师的心得，受益匪浅
如果站在AMHS工程师的角度来看AMHS的前途，不知Julian兄可否提供一些更详尽的看法，谢谢

juliankuo

可以往平板產业的物流AMHS发展，会有不同的见解，那里的handling 的concept 会对於未来wafer 到十六吋时将遇到的问题，会提早有一些累同的经验及知识积累。
) z( w' W" m4 n' \" i. j5 t
目前深超也就是富士康将要盖的平板厂正在加溫，可以去试试看，至於其它的，我深知內情，沒有长期发展的可能。若要作短期的，就跟民工的心态一樣，你是聪明人，知道我讲什麼。
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. v0 z9 D  X7 L6 }3 @Julian

[ 本帖最后由 juliankuo 于 2007-3-11 23:18 编辑 ]

cim

这次Semicon上遇到HHNEC的朋友，获悉二厂已经开始启动了，而且Shinko已经收到了AMHS的PO.
, R. C( W; v: L" L8 H7 ^9 |看来，Shinko和Daifuku的市场侧重确实有所不同，前者已经拿到了中国大陆75%的订单但可惜都是
' i3 q" ?; x, k4 \- k小订单；而后者虽然目前为止只有寥寥几家，但都是较大的单子；如：Hynix-st的300mm一期和二期；
IVO的单子也不小的。

juliankuo

最近日立的自动化的销售团队可能面受到压力，市场跑的特別的勤，不过，上海深天马的案子沒拿到，到是广电CF的案子，用的力道特別的大。

juliankuo

原帖由 cim 于 2007-3-23 11:50 发表
这次Semicon上遇到HHNEC的朋友，获悉二厂已经开始启动了，而且Shinko已经收到了AMHS的PO.
3 K" T$ Y; c$ O. Q4 g% {看来，Shinko和Daifuku的市场侧重确实有所不同，前者已经拿到了中国大陆75%的订单但可惜都是
小订单；而后者虽然目前 ...

9 d) c* x) _2 h% v- _) a
CIM，
. D( H# e7 u" i9 }! Q; X
' @- B' w" S3 ^* z我们来假设一个状況，若国人开发出完整的，可用在大線上的Sorter , Stocker 和 AMHS，你个人的观点觉得国人有必要开发出此类的装备?下一个问题，谁会用?說服力在哪?
5 b8 v) @% ?4 X( d3 x: S
Julian

zyx_suda

上海天马这边用的是Muratec的产品，我现在就在这家公司混。

zyx_suda

目前H/W,S/W的规格基本谈完了，Clean Room原定5月份好，可能要Delay一段时间，估计弄到5月底6月份stocker才会Move In。

juliankuo

原帖由 zyx_suda 于 2007-3-26 11:26 发表
目前H/W,S/W的规格基本谈完了，Clean Room原定5月份好，可能要Delay一段时间，估计弄到5月底6月份stocker才会Move In。

3 e5 ~' r9 G# U' T, o* gAMHS的老板也是Korean Kevin 吗? 听說顾总要把中韩比例做个调整是不?

3 h% t2 E  Q; E, t4 Y- z" ]另外，当初为什麼择Muratec? 市场的经验法则和实绩不是已经很清楚了?(虽然我知道一些內幕)

zyx_suda

呵呵，你真强，都知道AMHS这边是韩国的Kevin，他以前好像在Brooks做过。
7 j/ Q9 K( [' G+ R4 Y- g% U' Y中韩的比例迟早要调整的，就像上次说的技术传队，到时候韩国人是要走的。
/ \, [9 |# g' i至于怎么选择了Muratec，不是很清楚，虽然面试的时间很早，但是来上班的时候已经评标结束了。

cim

原帖由 juliankuo 于 2007-3-25 16:44 发表

7 p9 C3 ^! c* m7 Y4 q
4 I1 v" q, Q8 y2 n% f, M% `# w7 _CIM，

1 Q, }" F  v6 O" s5 P3 |我们来假设一个状況，若国人开发出完整的，可用在大線上的Sorter , Stocker 和 AMHS，你个人的观点觉得国人有必要开发出此类的装备?下一个问题，谁会用?說服力在哪?

Julian

赫赫，版主之问正中了我内心的悲哀之处。
- V/ ]# F  p* Y! S$ y" I1）
! Z) A& t8 A1 K7 w2 i    Sorter,Stocker,AMHS是中国人一定要自己搞出来的，因为这代表了一个国家的装备制造能力和水平。前几篇看到有朋友将stocker比作自动化存储仓库，其制造并无多大难度。但是Semi中的stocker的重点在于其高度稳定性：
; U4 x7 ~7 w: ~' {5000~10000hr的MTBF,99.98%的uptime.这些日本人都做到了。。。
( d; J) I+ G/ M7 c* Z: I9 b    OHT&OHS的精华更是其超高的制造精度和高度稳定性：就拿其轨道而言，说白了就是几块金属板子，但是中国的制造水平就是没有办法生产出可以满足OHT稳定运行的搬送轨道。这是因为轨道的任何表面不平整，弯道水平问题，甚至轨道间的缝合度都会导致OHT车轮的过度磨损，从而降低OHT的uptime。要知道，日本人的OHT的uptime也在98%以上。
: ~; s  L$ n9 Z& ?  e# ]0 o' Y    此外，同Process EQ一样，AMHS的自我研发必将会带动整个装备制造的产业链的发展。
1 y- \: X( d$ W& P# k7 c    中国半导体的希望和前途在于拥有自己的IC design IP和制造装备的生产研发能力。仅有几家大的Foundry，是远远不够的。
2）
4 x' R, v4 H. x    这个问题涉及到了business rule。诚然，没有经过市场检验的产品很难有说服力。但我觉得，中国人做事情，并不一定非要follow他们的rule。我们自然有我们自己的business rule。
0 Y4 z. S# J* D    但这里面一定要有强力的背景作支撑，台湾工研院的经验很值得我们借鉴。相信，julian明白我的意思。问题就在于如何找到合适的partner.个人认为，清，交都可以考虑。因为这两家都有强大的科研实力和深厚的==背景。在海内外的工厂企业界，还拥有庞大的校友群。

5 E/ h9 T: H5 e9 {( y; e* k! B. M9 nFinally,Good luck for Julian and your business.如果有我能帮到忙得地方，我定会尽全力。

juliankuo

原帖由 zyx_suda 于 2007-3-26 13:21 发表
( S* f& H# W" \+ E0 K. s呵呵，你真强，都知道AMHS这边是韩国的Kevin，他以前好像在Brooks做过。
中韩的比例迟早要调整的，就像上次说的技术传队，到时候韩国人是要走的。
1 ~$ E! W6 P" i至于怎么选择了Muratec，不是很清楚，虽然面试的时间很早，但 ...

2 j0 a( ^* U/ O7 Q& F
Kevin 在数年前的韩国，我有见过，是一个程度很一般的工程师，只是很惊讶，他这樣knowledge 怎麼有办法同时监管MES and AMHS? 后者又是他完全不熟的东西!!!  一个月的薪水是相同SVA CIM的中国人，至少十六倍以上，听說是年薪USD$100K 至USD$150K美金，中方买单。