设为首页收藏本站采撷智慧 分享新知IPv6访问

半导体技术天地

 找回密码
 注册
半导体技术天地 › 论坛 › Semiconductor[半导体世界] › Facility System[半导体厂务系统] › Exhaust System[工艺排气系统] › Scrubber的处理方式简介
论坛教程/金币积分(必读)公司发布招聘信息华润集团企业文化读本矽说台湾挡不住的趋势
欢迎大家提出建议意见个人发布求职信息芯路历程(909工程纪实)TSMC十大经营理念 行业QQ群号码大全
1234下一页
返回列表 发新帖
查看: 8064|回复: 96

Scrubber的处理方式简介   [复制链接]

huadongthl

Rank: 1

名誉值
7
发表于 2007-7-12 10:45:52 |显示全部楼层 |
内附气体反应表，供参考！

Scrubber.pdf

104.97 KB, 下载次数: 398, 下载积分: 金币 -2

已有 2 人评分智慧分 金币 名誉值 收起 理由
Mathyria + 1 好评,确实很实用的基本知识，特别是对我等刚.
hhnec + 1 + 10 精品资料

总评分: 智慧分 + 1  金币 + 10  名誉值 + 1   查看全部评分


论坛使用常见问题解答![会员必读]--欢迎提问

举报

bandaoti

Rank: 3Rank: 3

名誉值
0
发表于 2007-7-12 13:18:58 |显示全部楼层 |
顶！！！还不错．

点评

lh918928  很好，经典  发表于 2011-11-21 23:43:30
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

joy0708

Rank: 2

名誉值
0
发表于 2007-7-30 09:07:45 |显示全部楼层 |

local scrubber

[local]1[/local]Orient Service Co.Ltd. China Tw,本公司是专业的SCRUBBER生产商，目前在中芯国际，台积电都有机台，如有需要或咨询的，请以MAIL：SAL-08@osc-tw.com
想自己做群主吗?点我一下就可创建您的群组!

举报

chen1127

Rank: 2

名誉值
13
发表于 2007-7-30 13:08:14 |显示全部楼层 |
原帖由 huadongthl 于 2007-7-12 10:45 发表
# J; k& S; ]; t7 ^内附气体反应表，供参考！
( Y' n" n2 W" Z8 r0 w" o+ L% \
感謝樓主的資料,想請教一下,表裡面環保標準,是哪兒的標準阿?
想自己做群主吗?点我一下就可创建您的群组!

举报

Jason_Ma

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2007-8-1 13:59:04 |显示全部楼层 |
我是搞水的# N3 g+ R9 `+ m+ N/ p& q/ j
不过也下载看看
强者
如何获取积分/金币?[会员必看]

举报

keenwang

Rank: 4

名誉值
2
发表于 2007-8-3 13:18:48 |显示全部楼层 |
楼主可以MAIL份资料给ME吗!!!!感谢
9 w$ y1 z, c$ X* X8 x% o" gwap_2002@126.com
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

122400

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2007-8-29 09:54:10 |显示全部楼层 |
可以maill给我一份吗刚来没金币不能下载啊youshifu@sohu.com
想自己做群主吗?点我一下就可创建您的群组!

举报

122400

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2007-8-29 09:54:41 |显示全部楼层 |
十分感谢
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

miracle

Rank: 4

名誉值
0
发表于 2007-8-29 10:56:20 |显示全部楼层 |

回复 #1 huadongthl 的帖子

资料还可以，以前我们经常要去捅scrubber，累人啊
人生到处知何似,应似飞鸿踏雪泥
泥上偶然留指爪,鸿飞那复计东西
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

mantisblue

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2007-8-31 13:56:55 |显示全部楼层 |
scrubber，也可以用于Hg蒸汽的吸收阿
想自己做群主吗?点我一下就可创建您的群组!

举报

cs1983

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2007-8-31 16:57:32 |显示全部楼层 |
非常不错！赞
如何获取积分/金币?[会员必看]

举报

hhnec

Rank: 11Rank: 11Rank: 11Rank: 11

名誉值
61
发表于 2007-9-1 09:53:05 |显示全部楼层 |

感谢楼主的资料!

本文主要是介绍LOCAL SCRUBBER，移动至EXHAUST版块比较合适。
Facility &EHS system
http://hhnec.2ic.cn
新浪微博http://weibo.com/hhnec
dudud_u@yahoo.com.cn
本人QQ：5210313
QQ群7: 122789052(申请开放中)
QQ群6: 142110287(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群5：73294397(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群4: 51846472(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群3: 48739165(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群2: 42422965(已满员,欲进此群请为其充值)
推广/介绍2ic网站,即可获赠积分/金币

举报

royan

资深军士

悠哉江湖

Rank: 6Rank: 6

名誉值
23
发表于 2007-9-1 12:39:53 |显示全部楼层 |
1.Introduction to point of use exhaust conditioning:
$ O' N# E  z" S0 z8 N7 S半导体制程机台如：
2 l4 Z& k8 _/ Q1 w) ]Etch/CVD/Implant及Diffusion等制程使用数量可观之# _: d' ]. r( E
特殊气体参与制程反应。反应后之废气排放种类多元。) k# c  c$ a" ?
诸如Pyrophoric&Flammable/PFC/Toxic/Acid等气体
  n/ d, |2 {$ M& x3 C1 P皆须经过处理达到符合之规范标准后才可排放入大气中。* h+ q% ]2 Q3 d3 K% E
一般在厂区使用之废气处理之设备称之为Scrubber
论坛使用常见问题解答![会员必读]--欢迎提问

举报

baoliang_xu

Rank: 1

名誉值
1
发表于 2007-9-18 17:16:20 |显示全部楼层 |
不错的论坛，不错的帖子
想自己做群主吗?点我一下就可创建您的群组!

举报

shensub

Rank: 1

名誉值
10
发表于 2007-9-23 13:13:07 |显示全部楼层 |
好资料，顶一下
新注册后, "等待验证用户"的说明与解决办法

举报

cc_ong

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2007-9-27 13:14:34 |显示全部楼层 |
刚来的，照顾一下，发给我一份吧esmile100@126.com,谢啦
灌水帖|垃圾贴|违规帖,举报有奖(奖励积分/金币)

举报

sd619055

Rank: 1

名誉值
1
发表于 2007-10-8 09:58:05 |显示全部楼层 |
刚来的，照顾一下，发给我一份吧sd619055@163.com,谢啦
如何获取积分/金币?[会员必看]

举报

baoliang_xu

Rank: 1

名誉值
1
发表于 2007-10-23 14:02:30 |显示全部楼层 |
谢楼主了，我正需要。
想自己做群主吗?点我一下就可创建您的群组!

举报

baoliang_xu

Rank: 1

名誉值
1
发表于 2007-10-23 14:20:46 |显示全部楼层 |
我遇到一个项目，汞蒸汽需要处理，不知有没有设备专业的厂家提供，
推广/介绍2ic网站,即可获赠积分/金币

举报

shitianyu2001

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2008-2-19 08:24:04 |显示全部楼层 |
好资料，谢谢楼主热心提供。
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

qiaofu2001

Rank: 2

名誉值
1
发表于 2008-2-19 10:25:23 |显示全部楼层 |
不错的东东，如果能有具体设备原理就更好了
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

mille_michael

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2008-3-18 16:30:25 |显示全部楼层 |
哪位大虾可以EMAIL给我一份，不能下载。
如何获取积分/金币?[会员必看]

举报

BLACK_900

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2008-3-18 17:09:36 |显示全部楼层 |
要详细了解Scrubber，可以找本化工原理慢慢看，上面会很详细的介绍Scrubber
论坛使用常见问题解答![会员必读]--欢迎提问

举报

newage

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2008-3-19 23:36:48 |显示全部楼层 |
楼上的,化工原理?有什么推荐的手册或者教材吗
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

mille_michael

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2008-3-22 22:00:38 |显示全部楼层 |
没钱下载 哪位大虾发给我一下4 J  ~  S. r7 z# G% U8 ?
ggu5x@162.com
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

mille_michael

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2008-3-22 22:01:13 |显示全部楼层 |
写错了  是/ X6 w7 i0 p& n7 i4 G8 Q% @
ggu5x@163.com
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

fredhep

Rank: 1

名誉值
-1
发表于 2008-3-24 14:06:05 |显示全部楼层 |
很好很强大
请多关照
推广/介绍2ic网站,即可获赠积分/金币

举报

saili

Rank: 3Rank: 3

名誉值
6
发表于 2008-4-12 09:23:52 |显示全部楼层 |
# Z) Y- J) w: h. V" Y% j- k3 n
先谢谢了！！！( `+ P5 Q# M% r
人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

举报

Marvin0204

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2008-4-15 01:18:27 |显示全部楼层 |
May I have a presentation of your SCR,please!
3 s3 |8 M; b! [marvin_ljh@yahoo.com.tw
  m9 W. q% ?: Q' y4 |# M0 bThank you!
灌水帖|垃圾贴|违规帖,举报有奖(奖励积分/金币)

举报

daimyou

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2008-4-16 08:31:13 |显示全部楼层 |
十分感谢
灌水帖|垃圾贴|违规帖,举报有奖(奖励积分/金币)

举报

1234下一页
返回列表 发新帖
高级模式
B Color Image Link Quote Code Smilies
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

投放广告(Advertising)|手机版|Archiver|半导体技术天地[Semiconductor Technology World] ( 浙ICP备05067027号 )

GMT+8, 2012-2-6 04:20

Powered by Discuz! X2

© 2001-2011 Comsenz Inc.

回顶部