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发表于 2008-7-16 10:49:09
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真空邦浦
目前所有的真空邦浦，並沒有一種能單獨從大氣抽氣至高真空，必須前段使用
, `/ H* x, y5 |9 g 粗抽邦浦從大氣抽至1*10E-2,10rr，再利用高真空邦浦從1*10E-2來抽氣至高真空。$ s, {, C, {5 s) L7 V3 k) R* u
1 油封式機械邦浦(oil seal Rotary pump)% P# d: e8 i) j
油封邦浦是電子業；光學工業，及一般裝飾鍍膜工業最常用的粗抽邦浦，其優點
1 U- D5 T- O6 }+ r 是穩定、方便及省錢、最大缺點是壓力在0˙2Torr以下時，一發生油氣回流至$ s8 K6 O9 E& E" |
腔體現況‧真空範圍可達5*10E-4Torr.# x9 Y! t- T8 k! X2 ]
2乾式邦浦(DRY PUMP)5 g( H; |4 y- {) _
乾式邦邦浦是目前半導體工業、TFT,LED光電工業最常用無油式粗抽邦浦，其優點/ S7 F; i& n2 ]$ x
是可產生無油非常乾淨的環境，真空範圍可達5*10E-4Torr.
' Z) g; @5 ^5 G, E$ a J5 t9 k# a3魯式邦浦(Rooster Pump)2 t. l! n3 W& P; C0 j! s
魯式邦浦‧無法單獨抽氣，必須搭配油封式機械邦浦或是乾是非浦連接在一起使用，
* w2 \% R$ b) l% W* G. G2 z) V1 t 其優點是具有最大量抽氣的真空幫浦，真空範圍可達5*10E-4Torr.. s5 |0 { D0 _, N, a. w/ i
4渦輪分子邦浦(Turbo Pump)
; C& ^+ a" ^% P8 K+ n TURBO PUMP 是目前相同排氣效率，最昂貴的真空邦浦，最常用於學術研究單位，! J' i0 {& }8 x) Y' g U
其抽氣範圍可達10E-2到10E-11Torr,無法獨立運轉，必須搭配乾式邦浦作為前級" g- c) i& R! ?# Q
粗抽邦浦抽氣，優點是乾淨、無油、稼動率高、操作簡單、容易解決突來壓力，
1 e F# q) B( U. a 前置時間最短 ，缺點：維護昂貴、對水氣抽氣效率很差、大氣進入之慮。$ Y; b3 D/ w/ C& g& D
依使用軸承不同有全磁浮式、半磁浮式及陶瓷式三種‧其轉子轉速一般為( _5 T. y7 n4 X2 ]* U5 _% \
37500~90000rpm.
' R# V* M7 P2 `( o5冷凍邦浦(cryo pump)
. ^5 F( I2 \# D8 b) n1 \cryo pump 是目前半導體使用最普遍，乾淨無油高真空邦浦，抽氣範圍可達10E-2到10E-11Torr對水氣抽氣效率最高最大，因為是利用極低溫(約零下273。C)來捕捉氣體分子，但因一段時間後需利用N2來Purge，吸附‧捕捉的氣體分子用粗抽PUMP抽走，為其最大缺點。
$ ] A- T" N5 b3 X( q6油擴散式邦浦(Diffusion pump)
, n' D7 n+ k# u" A3 ^0 L4 v" IDiffusion pump 是目前光學業使用最普遍高真空幫浦，也是目前抽氣速率最大的高真空幫浦、( }5 r5 N- Z6 m- l& }# o
優點: 是便宜、構造簡單、維護費低廉、缺點是：對水氣抽氣效率較差及有油氣回流腔體問題。 |
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发表于 2009-3-5 09:01:02
发表于 2009-9-4 14:51:14
