真空管路配管施工規範

seken2010

真空管路配管施工規範

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真空管路配管施工规范
2-1规划：
(1).真空管线为设备与Pump主要管路，施工前须先规划清楚，以避免日后产生施工上的困扰及增加费用。
(2).所有材料管理依业主指定位置仓库存放(安全库存或工程需求量)。
(3).所有施工器具皆需施工前予以处理干净，包括内部管理之清洁，并以封盖封住二端，防止粉尘进入。
(4).所有施工之材料管件未施工时，接不可解开包装，以防受污染。
" Q6 }5 \6 ]/ g1 F/ U' v, V(5).所有真空管路直立部分皆须以C型槽Support作固定支撑及U型固定作固定。
* B3 Y+ Y2 R7 @) y0 D* s8 G, t(6).支架必须以SUS C型钢或镀锌C型钢做成，且能够固定于地板至天花板之间，并且能安全坚固的将管线固定于上。
. U" H  `5 K: b+ v(7).管线于规划支撑架时必须预留适当空间，俾利于现场维修，如业主另有管路亦可使用。
3 U2 E) B6 S$ Q% e+ D(8). Support中的隔间座为双槽，并与业主确认，让其DI－Water的管路行径之用，脚做下需垫白色铁弗龙，以隔绝静电的产生，影响机台的作业。
2-2施工规范：
(1).程序：
4 o+ Y  r) X% E' T! E% va.详细与业主讨论规划真空管路施工管路位置。
+ ^! d5 l" K$ l2 e  qb.图面送审业主确定、认定后，待设备Move in进厂后，量取管路长度。
c.预制
% b0 Z( c" h. p3 k. Bd.安装
) D7 q0 |) F3 Q" Z' r+ ^7 y  g  |5 ad.测试
(2)焊接操作及注意事项
/ Q+ J8 ~$ F5 a/ K      a.调整施工之机具气体至标准参考值，管路管件于焊接施工组合时皆须通以N2 Purge以免受污染。
      b.试焊样品检验焊道是否标准规格，确认后依此条件焊接施工。
      c.管路焊接时为避免焊道氧化及保持管路之干净，故于焊接时于管内通以氦气。
5 Y: x/ q# ?1 H8 k. ~      d.管路于通氮气时需考虑所吹入之氮气是否涵盖焊道，如此能防止上述现象。
! r- m( `9 s0 {+ B' }      e.焊接部分的切割口须磨平整及除毛边，以适合焊接。
      (3)预制安装：
0 {4 ^$ g' k8 G: N% b. {    a.业主设备Move in进厂后量取管路长度各细部长度(注意Bellows长度计算)，切管点焊易产生高污染工作，应尽可能于C/R外施工。
    b.预制安装点焊完成管路无误后，焊接管路。
- V5 V) G5 {3 ?# _    c.安装Bellow及连接设备与Pump。
( I, ], {+ }3 b    d.安装Angle Valve及Blank。
    e.从Angle Valve测试孔连接Hi测漏机测漏
, H; t0 y! A! P" q6 T3 [) A4 x    f.会同业主认可后验收。
$ ^2 ?7 q3 x1 q& {    (4)工程进行中：
5 n/ Z& r- H1 B: k7 T: G" F    a.每日于施工前，承包商须提出焊接样品，经业主负责人员核准后，才可进行当日工程。
    b.所有焊接均采自动焊，唯转折困难处，在事先征得业主工程负责人员同意后，始可采用手动焊接。
# \' d9 j! ^5 {# S" {1 Y* Y    c.所有焊接点均须焊接，外部需机械抛光，亮度须达#180，清洗后不可有Powder残留，尤其是焊接组件之接缝处。

3 w: |9 c0 d7 y. V- G- j1 R! W    d.所有焊接道不可大于以下尺寸：


, Z7 Z& f( N$ G3 `             Pipe size                       焊道尺寸
1-1/2"        3-5㎜
2"        3-5㎜
3"        4-7㎜
4"        4-7㎜
: F. k% M4 I% n1 `  `8 J6"        4-7㎜
) e0 \, O2 f* \7 Xe.所有弯角尽量以45°为原则，但45°弯角间若长于1m者，改用90°弯头施工。
8 k! q5 e# k( O: W  N. a! `3 H$ xf. Bellows装置不可有扭曲歪斜现象，压缩程度不可大于Bellows原长之15％。
5 n% h  M2 k  w6 s! ~g.所有Support切割部分之切割口须平整，切断面露出部分须以护套封住(2m以上)。
h.所有Components在使用前才可拆封。
i.所有Support均采SUS 304材质，双面使用，ㄧ面架设Pumping Ling，另一面供Cable Tray架设，另脚底座及固定片，螺丝采SUS材质，底座衬垫为5㎜白色铁弗龙材质。
j. Support底部均以平头膨胀螺丝固定于地面，顶端固定于共同管架之I型钢上。
  c+ {. m" F9 ?) N% F+ u$ dk. Support面宽每隔2m须加立直杆，每隔1.5m须加立横杆。
l.所有管路架设完成后，在fib 及sub-fib须有机台名称标示。
) F! Z. V1 e3 M( `4 U5 G, A________________________________________
( W0 g5 v2 Z% G, U) ^+ T( u$ `: R
% a# ?  Y' K$ u) L4 Y% a  真空管路质量及测试

& S, G2 [( ?$ g- ]0 R2 g: N(1)焊接
a.焊接程序及焊接技术人员资格
0 v* H. R; v0 g真空承受阻件的焊接工作根据标准程序进行
6 _# f- ^0 x4 \$ G0 Hb.边缘加工
边缘加工情况须在焊接之前根据图示来检查
c.焊接部分的目视检验
焊接检验结果不可发现重大缺陷                                                               
(2)尺寸检查
由双方最后赞同的图示中主要尺寸以检查核对。
(3)管路测漏
, O  u: l8 W3 o! Y# ra. VACUUM LINE配号后，将以氦气测漏仪，对每一VACUUM LINE进行测漏。
b.测漏方法：
7 j5 L4 |& R$ K' x& A8 R" a/ |- D1.VACUUM LINE管路本公司氦测漏机TEST PORT2抽到真空再TEST PORT1抽到高真空。
1 O1 d, s. L/ D* Z( Z2.氦气测漏机是MASS SPECTROMETER来分析He的SPECTRUM。
: T2 }) U" C- R+ r9 A3 \3.当He气由漏气口被抽到测漏仪之MASS SPECTROMETER，MASS SPECTROMETER测到He的SPECTRUM，则仪器有ALARM生表示焊道有漏点。

(4)测试验收
1 n0 ?$ M6 E* a) y& u9 H" f$ S; j  Qa.所有管路架设完成后，均须由承包商之QC人员会同业主机台负责人，进行氦气侧漏。
4 l7 U2 d+ B  K8 F* @4 e& o* y氦气侧漏：由1"Test Port外接氦气测漏机，侦测Pipe上每ㄧ焊点及Clamp处，其漏率须小于3×1¯8(mar/sec)，真空度须小于1×10¯9(mar/sec)，所有使用测漏灵敏度须达5×1¯¹¹(mar/sec)。
测漏机使用之pump，须为Dry Pump。
  }/ w! s" J- r5 j: p" ob.所有测试质须纪录在测试报告，完成后连同实际管路施工图及材料表交给机台负责人。
c.机台负责人认可签名后，工程验收才算完成，机台负责人可对测试结果进行抽测，施工厂商QC人员须配合。
工地安全卫生规范
7 x* n8 C- Y3 \3 T1.清洁
  1).在洁净室入口向业主申请CDA，house vacuum and water。(施工前ㄧ周内完成)。
  2).所有物料都要先清洗过滤才能入洁净室，尤其是油污之物。
0 A9 ~1 u3 H0 f, p8 R1 I  3).施工期间随时使用洁净室专用吸尘器清除铁屑、尘埃等污染物。
2 J, ]) ]( x9 m& \  4).施工人员于每日收工时必须清理施工现场，并由工地经理做查验。
2 e, {- @7 u* c; s2 a4 D! H4 q  5).每台机台于完工验收前再全面清洁ㄧ次，并请业主会验。
  6).向业主申请ㄧ物料暂放区在洁净室，并在该区域贴暂放物料标示，注明暂放期间    及厂商名称。
2.安卫：
# o7 L; ~: G6 o7 J* G, D. W  1).加入工地整个安全卫生管理委员会，开会协调负责区域。
  2).本公司所有施工人员必须熟记并遵守工地安全卫生规定、业主指示相关安全卫生规定。
$ f" L6 l) M0 F% |: V8 O  3).工地安全卫生自动检查依安全规范，由工地经理全权执行。
5 p  ?- ^4 v: Q3 J0 T. E( b3.洁净室施工及安全规则
6 Y% V7 I3 X' A+ W! y3-1一般清洁区工作条件(厂务机房)
1).进入工作区前，鞋子必须清理干净。
2).每日擦拭有类似金属碎屑等东西的地方。
3).制作材料架并将材料存放于架上。
4).禁止于工作区内吸烟、吃东西、喝饮料、使用行动电话。
5).所有工作区必须有垃圾桶，收集废料等东西。
6).材料人员进出必须清洁ㄧ次。
7).所有人员及设备每周必须清洁ㄧ次。
% L2 _, a- ~; ]# @1 ?2 X 8).产生污染的工作必须隔离。(喷漆、磨砂轮机等)。
4 u4 H9 O0 A& a  X) n 9).每次离厂前须将工具、零件等全部清除携出工作场所，并维持工作区之清洁。
3-2.非常干净区工作条件(洁净室地下回风区)
1).必须换穿专用的鞋子或鞋套。
1 v8 q- c) v6 {- A4 r9 g' m% L 2).使用真空吸尘器清除脏东西。
; p4 J1 E& h8 A; F- F& P 3).制作材料架并将材料存放于架上。
& Y- s6 d. C" l' i 4).禁止于工作区内吸烟、吃东西、喝饮料、使用行动电话。
3 \$ w0 }  D& J& T 5).所有使用过的材料、残余剩料等必须每日清除。
6).所有工作区必须有密封式垃圾桶，收集废料等东西。
7).材料人员进出必须管制(附管制表送交工程部)。
9 K4 S2 x, n* c9 y# g* ^) f$ M5 N 8).所有人员及设备每周必须清洁ㄧ次。
9).产生污染的工作必须隔离。(如喷漆、磨砂轮机等)。
6 ^( ?: U# A  u0 _! V2 {+ v10).进出工作区内的全部材料必须清理干净，才可进入。
11).所有工作区必须换穿干净工作服。
% r* ~8 o/ I, r' Q% {0 i: o12).工作区的管线设备禁止勾攀、践踏、吊挂东西。
1 H1 ]! s  b1 _3 w" o3-3绝对干净区工作条件(洁净室生产区)
' Y+ H# j2 r2 j  |) ~; Q 1).必须换穿无尘专用的鞋子或鞋套。
+ B: [' l0 R. Z& D; Y 2).使用中央系统真空或C/R专用过滤装置的手提真空吸尘器清除作业时产生的金属等粉屑。
& \  D8 D- Y* c8 h5 a( j( B, L 3).制作材料架并将材料存放于架上。
% B- u" n8 h% R" | 4).禁止于工作区内吸烟、吃东西、喝饮料、使用行动电话。
5).所有使用过的材料、残余剩料等必须每日清除。
6).所有工作区必须有密封式垃圾桶，收集废料等东西。
7).材料人员进出必须管制。
6 r( f  H$ O; \# X  q+ ` 8).所有工作人员每日必须清洁干净。
9).产生污染的工作必须于进入无尘室前完成。
10).进出工作区内的全部材料和工具必须用水清洗干净，才可进入。
0 u7 N3 l4 z4 z, n11).除入无尘室应换穿无尘衣及尼龙手套外，余均应穿着干净之工作服。
12).禁止不质或瓦楞纸材料所做的纸箱进入无尘室。
8 |6 S9 v0 [  T# ^13).禁止触碰任何液体和你不知道的任何器物。
14).含有油品的工具禁止携入。
1 L) K" B2 [5 R7 X6 p3-4洁净室施工安全规则
1).指定专人办理安全事宜。
$ ?! d! G# H  A" C5 U" i5 ~ 2).勿雇用童工。
3).工作区内禁止抽烟。
4).必须准备安全眼镜。
5).在洁净室须戴安全帽，特别是有震动时。
6).任何时间内，均不得堵塞通道及出入口。
7).在工作区域工作，必须保持干净；如有产生垃圾，必须随时准备垃圾袋，于每日收工时携出清洁室。
8).如有工安事件发生，须立刻呈报监工。
9).特殊危险工作区，须有安全围篱及警告标志。
" c( j4 d" y; a' b. g! i8 o10).地板开口处，须有安全围篱及警告标志，以防人员掉入。
11).须备有灭火器以防火灾。
# \& _7 J+ _) ?- I# C8 J; z/ _12).灭火器仅可使用泡沫灭火器，不可使用干粉灭火器。
  _+ @# K  K. B9 l4 u13).工作架在超出地面1.8M以上时，须使用鹰架，人员须系安全带(索)。
5 [! x3 j4 L0 A" l- E) a7 Z( r9 S$ g14).鹰架、楼梯及工具，须保持良好状况。
* g: ?1 i$ V4 W) p/ Q6 u15).在超出地面1.8M以上时，工具须放置工具袋(箱)内。
; ~+ _  `7 t2 U, L16).同时有两组工作人员在不同高度工作时，须有良好之连系。
$ q  r5 s' g+ D17).工作区域内须有良好照明设备。
18).所有使用之电缆及电线，须有良好绝缘。
19).电缆及电线须连结良好，不可以电线直接插入插座。
( j% D: N: t* T" @3 z, X20).保险丝须确实使用，不可以钢丝替代。
21).电缆及电线须正确使用，不可过载。
22).如已送电之电力供应盘，须标示警告标志『高压危险』。
  D# A! m6 u% {5 N( K, |+ u# W23).如有圆柱型物品须直立，并以链条或绳索固定。
24).切勿于地板面滚动圆柱型物品。
# \1 Y7 A+ |5 n% K" C; \2 i25).如需移动圆柱型物品，须使用特殊格架。
26).易燃物品如无人照料，不可放置于工作区域内。
9 D5 h& V3 l+ E) I- ]; U27).化学物品如有泄漏，立即呈报监工。
28).易燃物须放置于有盖容器内。
29).任何阀、开阀插座、电源插座，不可随意开、关、拔除(机台管线)。
* ?2 q1 X, Z& e# A+ d- Z30).任何配管配线、材料，非经过业主人员同意，不可擅自任意更改。
4.ㄧ般安全卫生规定
1).进入工作场所时，首先要了解工作环境，工地主管所提示之事项应予记住。
2).工作时顾虑周到，佩带个人必需之安全防护句，并选择最安全之工作方法。
3).工作场所之地面应保持干燥整洁，工作环境应经常整顿、整理。
4). 工作场所内之机械及材料，应顺序放置，并应保持通道之畅通。
. o& l  ^& C$ S9 q, A- s8 h+ r' G( ^ 5).确实遵守业主厂区内禁止吸烟及嚼槟榔之规定。
: ~& ]7 R1 x- f$ D 6).物料之堆置，应考虑过高、过重及稳定性，以免倾倒伤人。
7).凡机械支原动机、传动机、齿轮、皮带之轮送等暴露部位，有危害人员之虞者，应加上护栅、套头或跨桥护网等安全装置。
8).从事机械之保养、清洁、上油、调整或检修等作业，均应先停车后，方可作业。
9).工作场所中电器设备之护网或围栅不得任意拆除。
10).不可将物料、工具堆置于楼梯及通道上，以免妨碍紧急疏散路线。
11).工地主管或工程监督人员对下列工作现场危险场所，除应设立警各标示外，并限制仅能让佩戴适当防护具及具备专业知识之人进入。
5 }# q2 k3 o; I12).电器开关及灭火器、消防栓前不得堆置工具、材料及杂物。
+ g- O# x2 ^& s4 A/ @13).因修理或调整而取下机器护罩等防护设施时，应于检修完毕后立即恢复，否则应采取警告标志之措施，以策安全。
14).在1.5M以上高度工作场所工作时，现场应有供人员安全上下之设备。
15).高空作业时，严禁地面人员移动平台或梯子。
2 P- ?7 R( Y. h: q0 F8 r/ l9 [2 X
3 T( D& \0 O) @2 X/ [0 E5.工地安全卫生自动检查办法
# H  B1 w3 [2 f. sⅠ.目的
1).为防止职业灾害发生，保障公司及全体员工的安全与健康。
! q% b3 b4 J7 G1 {: Y) F" ] 2).改善现有设备及安全措施，落实自动检查。
Ⅱ.办法
1).检查项目、周期及负责单位。
2).检查表格：每日每周每月检查表由工务部统一汇整。
" l% C4 J4 v0 V: t) u% F3 s# n 3).日检查表，于每日开工使用前检查，随日报表交工地负责人(主任)。
# M, U1 z$ p) v 4).周检查表，于每周一执行检查，表格于周二传送工地负责人(主任)。
5).月检查表，于每月1日至10日执行检查，表格于每月15日前传送工务部经理。
6).主管人员编入巡检行列，以负责之作业区内之人、事、物为检查对象，请配合执行。
7).检查时，发现异常或不良时，应随即处理改善，并详述改善情形于检查表格上，呈工地主管核示后再传送给工务部归档。
. Y5 N  t0 m2 H9 F- A0 K6.安全规定
  y3 k  p, |0 E$ ? 1).所有施工人员进出洁净室须遵守洁净室规则。
) W$ i8 K9 {1 W1 f% {. B 2).业主原Sub-fib架设厂商施工临时配电盘，施工机具所须用电均由此配电盘提供，且须由领有电工执照人员配电设置分配盘，厂商不得任意使用其它电源。
+ S4 N+ h% |+ d 3).各施工人员须遵守业主之洁净室工厂安全规则，且必须接受业主监工人员督导，若违反二次或劝阻无效者，得禁止该员工进厂工作，本公司自行作人力调配。
4).本公司设有工安人员1人，负责每日安全巡查工作，并参与相关工安会议。
. |% [  |7 ^4 M* e" F________________________________________

royan

.真空管線為設備與Pump主要管路，施工前須先規劃清楚，以避免日後產生施工上的困擾及增加費用。
! p; N' g4 w4 z/ i( I(2).所有材料管理依業主指定位置倉庫存放(安全庫存或工程需求量)。
7 m1 x; _/ d. L(3).所有施工器具皆需施工前予以處理乾淨，包括內部管理之清潔，並以封蓋封住二端，防止粉塵進入。
(4).所有施工之材料管件未施工時，接不可解開包裝，以防受污染。

royan

所有管路架設完成後，均須由承包商之QC人員會同業主機台負責人，進行氦氣側漏。
氦氣側漏：由1"Test Port外接氦氣測漏機，偵測Pipe上每ㄧ焊點及Clamp處，其漏率須小於3×1¯8(mar/sec)，真空度須小於1×10¯9(mar/sec)，所有使用測漏靈敏度須達5×1¯¹¹(mar/sec)。

stephenhe

谢谢楼主分享  ,管路一般不超过三个弯头,弯头尽可能采用45度弯头

tf24761

谢谢楼主..同时也谢谢2楼的兄弟.

royan

(1)焊接
$ a. H1 B5 t! c! A; Ma.焊接程序及焊接技術人員資格
真空承受阻件的焊接工作根據標準程序進行
b.邊緣加工
邊緣加工情況須在焊接之前根據圖示來檢查
% W! |" r! s3 k9 }c.焊接部分的目視檢驗
焊接檢驗結果不可發現重大缺陷                                                               

, L- g0 j7 d$ u________________________________________

hxzhukai

謝謝LZ。你太有才了。。。

jjcai

thank you for sharingQ@

jun

不错的资料！感谢分享。

海云天

不错谢谢楼主

xudaolai

希望多发发此类好贴

nightbug

谢谢，下载来参考。有无pressure regulator的相关资料？

whpzzseu123

太谢谢楼主和斑竹了，这些资料正是我所需的。
( Z, V0 N" I. \  A此外在Hook up中，真空管路的priority是排在第一位的，所以做hookup时一定要事先规划好。
- J7 p5 p8 p) v+ s. r( R还有一定要清除管路内壁有没有铁屑等其他大块东西，否则很容易导致后面的pump motor被打坏。

hulio

谢谢分享。收下学习

jarey

剛好需要做資料要用到 真是太感謝了

dlguojh

这些资料正是俺要用的

xjye

受益非潜，谢谢啊

evaslover

真空漏率单位MAR/SEC是什么单位？不应该是MBAR*L/SEC

heidai

正在准备真空管道的加工，这些资料正好用的上想，谢谢楼主

SHCYZCHN

很有学习价值，谢谢LZ

zjw_828

有没有压缩气管、氮气管、氢气管之类安装与调试的！拿出来分享下

lidonghua188

工欲善其事，必先利其器

小熊猫

先收藏 学习下

top_lei

好贴，谢谢LZ分享！！！
2-1規劃：
(1).真空管線為設備與Pump主要管路，施工前須先規劃清楚，以避免日後產生施工上的困擾及增加費用。
1 l! |2 B, A+ n0 k(2).所有材料管理依業主指定位置倉庫存放(安全庫存或工程需求量)。
(3).所有施工器具皆需施工前予以處理乾淨，包括內部管理之清潔，並以封蓋封住二端，防止粉塵進入。
(4).所有施工之材料管件未施工時，接不可解開包裝，以防受污染。
(5).所有真空管路直立部分皆須以C型槽Support作固定支撐及U型固定作固定。
. o. ^2 S0 |' v( J5 C(6).支架必須以SUS C型鋼或鍍鋅C型鋼做成，且能夠固定於地板至天花板之間，並且能安全堅固的將管線固定於上。
, S# n0 G4 r3 x( N5 p(7).管線於規劃支撐架時必須預留適當空間，俾利於現場維修，如業主另有管路亦可使用。
(8). Support中的隔間座為雙槽，並與業主確認，讓其DI－Water的管路行徑之用，腳做下需墊白色鐵弗龍，以隔絕靜電的產生，影響機台的作業

top_lei

好贴，谢谢LZ分享！！
真空管路品質及測試
7 \) A, p4 x$ ]  F7 E* o1 g
(1)焊接
& z' ~" X0 i4 Q, `7 W* Ca.焊接程序及焊接技術人員資格
真空承受阻件的焊接工作根據標準程序進行
b.邊緣加工
% y8 v5 G. S6 S3 c5 Z邊緣加工情況須在焊接之前根據圖示來檢查
: v: b, y6 v+ A' U. ?; Uc.焊接部分的目視檢驗
焊接檢驗結果不可發現重大缺陷                                                               
(2)尺寸檢查
# {! z6 x4 V" k0 @& U2 F1 D由雙方最後贊同的圖示中主要尺寸以檢查核對。
: y8 A9 @9 w' g) |  y8 w(3)管路測漏
a. VACUUM LINE配號後，將以氦氣測漏儀，對每一VACUUM LINE進行測漏。
0 o5 X+ g  P2 z- ?b.測漏方法：
/ I4 Q0 z+ ?) Q9 J. f/ \8 b1.VACUUM LINE管路本公司氦測漏機TEST PORT2抽到真空再TEST PORT1抽到高真空。
, U7 ^" T* @9 b6 Y6 B2.氦氣測漏機是MASS SPECTROMETER來分析He的SPECTRUM。
3.當He氣由漏氣口被抽到測漏儀之MASS SPECTROMETER，MASS SPECTROMETER測到He的SPECTRUM，則儀器有ALARM生表示焊道有漏點。
' e" e3 w8 c& r- q9 O& W- t
(4)測試驗收
a.所有管路架設完成後，均須由承包商之QC人員會同業主機台負責人，進行氦氣側漏。
氦氣側漏：由1"Test Port外接氦氣測漏機，偵測Pipe上每ㄧ焊點及Clamp處，其漏率須小於3×1¯8(mar/sec)，真空度須小於1×10¯9(mar/sec)，所有使用測漏靈敏度須達5×1¯¹¹(mar/sec)。
( k; N! w. ?; {, k  v8 t* ?測漏機使用之pump，須為Dry Pump。
( k$ a. O" c: A; `4 K6 T7 E+ Ib.所有測試質須紀錄在測試報告，完成後連同實際管路施工圖及材料表交給機台負責人。
$ [$ Q' R' Z4 I8 ]9 \# yc.機台負責人認可簽名後，工程驗收才算完成，機台負責人可對測試結果進行抽測，施工廠商QC人員須配合。
; t9 H; \  {. D' n/ L

sinoadamwang

不错的资料。

markyuan

确实是经验之谈，值得上下==业共同学习。

mle

不错的资料！感谢分享。