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查看: 1606|回复: 7

关于PECVD真空系统的设计 [复制链接]

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发表于 2009-1-11 23:09:46 |显示全部楼层 |

大家好！
向大家请教一个问题，我自己在设计一个PECVD系统，在设计真空系统的时候有点疑惑。反应条件是：试验系统主要是用于制备si薄膜，反应气体为硅烷，反应压强为10Pa左右；反应腔体的大小为50L。我知道有的PECVD是由机械泵和扩散泵为真空机组；但是这里的气体有腐蚀性，一般油封机械泵不太好，并且还容易污染真空腔；PECVD的反应压力好像也不需要用扩散泵。不知道结合我的具体情况应该选用什么真空泵比较实用。请大家给点建议，谢谢！比较急！

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发表于 2009-1-12 17:23:27 |显示全部楼层 |

建议你使用罗茨泵，如果是沉积功能膜，那么就要求很高的真空度，最好使用分子泵，前级用机械泵。

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发表于 2009-1-13 13:33:58 |显示全部楼层 |

看看离子泵

不断的学习

人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

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发表于 2009-1-16 11:42:25 |显示全部楼层 |

原帖由 yxping01 于 2009-1-13 13:33 发表 , z; k% o- R5 B q
看看离子泵

离子泵？一通气就宕机了！同意二楼的意见，自已设计的系统要注意反应后产生的粉尘问题！

[ 本帖最后由 kqiu0821 于 2009-1-16 11:43 编辑 ]

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发表于 2009-4-20 18:05:52 |显示全部楼层 |

上次看到中科仪提供耐腐蚀的分子泵，应该可以用吧。

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发表于 2009-7-28 11:20:15 |显示全部楼层 |

你给我个邮箱吧，我给你一些资料

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发表于 2010-8-16 15:52:46 |显示全部楼层 |

有点复杂

还需仔细研究下

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发表于 2011-1-12 16:39:13 |显示全部楼层 |

PECVD工作压强2~10torr，分子泵肯定用不上
工作气体一般有腐蚀性，油泵用不上
一般是干泵+罗茨，干泵主要也是爪式、螺杆和多级罗茨三种，基本都是进口货

推广/介绍2ic网站,即可获赠积分/金币

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