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半导体技术天地 › 论坛 › Semiconductor[半导体世界] › Facility System[半导体厂务系统] › Exhaust System[工艺排气系统] › 华虹NEC尾气处理论文
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华虹NEC尾气处理论文 [复制链接]

BEAR

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1
发表于 2009-2-22 09:01:20 |显示全部楼层 |
供大家参考。

08.pdf

161.85 KB, 下载次数: 174, 下载积分: 金币 -2

已有 1 人评分智慧分 金币 名誉值 收起 理由
hhnec + 3 + 10 + 1 好评

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hhnec

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61
发表于 2009-2-22 10:51:33 |显示全部楼层 |
请问BEAR这篇文章你是从哪里收集来的？( A% L' a9 U' }5 z! p6 W0 }
这是我的一个同事写的，不见得说的都是华虹NEC 的exhaust system。
Facility &EHS system
http://hhnec.2ic.cn
新浪微博http://weibo.com/hhnec
dudud_u@yahoo.com.cn
本人QQ：5210313
QQ群7: 122789052(申请开放中)
QQ群6: 142110287(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群5：73294397(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群4: 51846472(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群3: 48739165(已满员,欲进此群请为其充值)
QQ群2: 42422965(已满员,欲进此群请为其充值)
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shitianyu2001

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发表于 2009-2-24 16:58:30 |显示全部楼层 |
下载看看，学习了。。。
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singo2010

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发表于 2009-2-27 16:08:20 |显示全部楼层 |
最近 正想找 相关的资料
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yuanjingjing

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1
发表于 2009-3-2 13:53:52 |显示全部楼层 |
学习,学习!!
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lpeasm2000

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发表于 2009-3-3 11:50:55 |显示全部楼层 |
讲的有点笼统，针对性不强。一般废气处理采用水洗和燃烧。
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eversky

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2
发表于 2009-3-6 19:01:55 |显示全部楼层 |
不管怎么样，先学习学习！！！！！！！！！！
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yangyi428

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发表于 2009-3-9 12:28:49 |显示全部楼层 |
对于刚入门还不错，谢谢LZ
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yangduan

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发表于 2009-3-23 14:16:19 |显示全部楼层 |
学习学习了！！！
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thsh_htj

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发表于 2009-4-1 08:35:25 |显示全部楼层 |
先回复再下载来学习学习,最近正积极了解这方面的资讯!!
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POWERDUNK

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发表于 2009-4-16 13:08:28 |显示全部楼层 |
居然没有说到我们的干法尾气处理？处理酸性气体王道还是干法 请参见www.showachem.com。
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youseek

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1
发表于 2009-9-26 13:27:21 |显示全部楼层 |
thank you very much
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icrom1024

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9
发表于 2009-10-14 20:43:52 |显示全部楼层 |
原帖由 POWERDUNK 于 2009-4-16 13:08 发表
4 F( @1 ]- ]( O0 l居然没有说到我们的干法尾气处理？处理酸性气体王道还是干法 请参见www.showachem.com。
  N) \& B0 d, S* k0 C, ~
8 Y0 f/ a- z# B# c7 e4 J/ [
貴公司干法尾气处理.主要適用於擴散.離子植入.濺鍍機..等 dry scrubber 應用範圍.
! F4 ]+ s0 p- U: D& ]% F2 c2 U是wet  scrubber 的前處理機構.等於是您處理完才會進入 wet  scrubber .: C" t% P  P, x. g
希望對您有所幫助.
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wqh_76

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3
发表于 2009-11-3 22:36:48 |显示全部楼层 |
很有道理
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zhd

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发表于 2010-8-20 13:39:59 |显示全部楼层 |
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snowf

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发表于 2010-8-20 21:16:40 |显示全部楼层 |
知识没有国界，资料也没有厂界，哈哈
希望努力后会有好结果
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jiahotmail

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发表于 2010-9-1 12:28:34 |显示全部楼层 |
顶下，知识没有国界，资料也没有厂界，哈哈
新注册后, "等待验证用户"的说明与解决办法

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cese2water@gmai

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发表于 2010-9-3 08:48:55 |显示全部楼层 |
顶下，知识没有国界，资料也没有厂界，哈哈
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zywrl

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发表于 2010-9-17 13:19:29 |显示全部楼层 |
乱打广告啊！
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xiongbear11

Rank: 2

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2
发表于 2010-11-21 22:06:10 |显示全部楼层 |
顶下，知识没有国界，资料也没有厂界，哈哈
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69982370

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发表于 2010-11-22 10:20:05 |显示全部楼层 |
下来学习学习
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lidonghua188

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1
发表于 2011-4-16 18:01:16 |显示全部楼层 |
讲的有点笼统，针对性不强
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itachi_l

Rank: 7Rank: 7Rank: 7

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3
发表于 2011-6-15 09:20:12 |显示全部楼层 |
下了学习下，谢谢LZ分享
9 C( W& ^& L: F/ J; [
http://www.2ic.cn/data/attachmen ... 5lr1e5ti2tfaulo.gif
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jeffry_guan

Rank: 2

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0
发表于 2011-11-17 14:23:42 |显示全部楼层 |
很不错的文章. ~2 T) _' L0 e* L; }
看了又点感悟
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