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气柜以及化学品机台TURN-ON之前需要做什么? [复制链接]

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发表于 2009-2-23 18:46:01 |显示全部楼层 |
小弟不才!想请教各位前辈!跑TURN-ON之前需要做什么工作?

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发表于 2009-2-23 22:15:09 |显示全部楼层 |
现在还有新的产线上马?还是太阳能。

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发表于 2009-2-24 08:59:01 |显示全部楼层 |

回复 2# mx9mx9 的帖子

之前HMDS是由设备端用小瓶装加药。现在需要厂务中央供应。所以想请教这个问题!

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发表于 2009-2-24 09:03:35 |显示全部楼层 |
不了解呀

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发表于 2009-4-20 22:14:46 |显示全部楼层 |
说个概括,具体根据不同厂不同做法,技术上:1.通电系统功能测试2.通讯测试3.气体需要吹扫,化学品需要冲洗;安全上:1.报警功能测试2.安全联动装置测试3.泄露测试(保压等)

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发表于 2009-5-29 10:10:25 |显示全部楼层 |

回复 1# 的帖子

                      就这样了   没什么写的

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发表于 2010-8-17 10:08:18 |显示全部楼层 |
真的有IC厂,central 供应HMDS??

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发表于 2011-8-21 09:54:08 |显示全部楼层 |
有的,我现在就碰到了
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