请教pv系统选用油泵还是水环泵好

dlguojh

请教pv系统选用油泵还是水环泵好

greatdj117

建议试用油泵

shanbaihe0704

真空度要求比较高的话,用螺杆泵,一般性的,用水环泵.水环泵运行维护麻烦点,但是便宜.

jianbo790221

为了维护好，安全点的话，建议用水泵！

Johnny.R

油封泵主要有哪些？

Normanlyc

用油封螺杆泵，稳定可靠，维护简单。

choicema

工艺真空项目建议使用水环式真空泵，正常情况工艺真空的真空度要求为-800mbar左右而水环泵可以达到-950mbar.因此在此工艺水环泵完全可以满足。
- @; j3 p8 ]* F- a    螺杆式真空泵在极限真空度上高于水环式真空泵，但是在工艺真空的粗真空领域使用水环泵就可以了。螺杆式真空泵向空压机一样需要经常保养，每年的维护费挺高基本上每台在2万元左右。
    使用哪种真空泵可能还是要看业主的工艺，不同工艺有时优缺点不同。
    我司专业的真空设备供应商是工艺真空与清扫真空系统全部提供。如有需求请联系：choicema@163.com.

aiguozhe008

我司用的是水环泵！

dlguojh

谢谢老兄，讲的很详细，学习了。

suqqle

用喷油螺杆真空泵，稳定可靠，维护简单，详细请联系8wy083463@163.com

paeccfangsemi

原帖由 dlguojh 于 2009-5-20 08:57 发表
请教pv系统选用油泵还是水环泵好

. P1 T- ]( Z: u! i& [) Z0 i根據多年經驗至少12年半導體廠務經驗值告知還是使用油式真空泵較為穩定且經濟
* A# h1 Q" z4 w/ q說明:水封式真空泵浦是利用水當密封所以真空度不及油封
+ T  F7 G3 F  M* M+ E- v& a- [& m: E優點:運轉成本較低僅軟水及電力成本還有PARTS清潔費用
缺點:隨著水垢增加真空度不穩定,真空度不及油封高,初置成本較高
油封真空泵浦是利用油當密封真空度高且穩定
- V! n/ k7 L% X2 D3 O2 j( o% w2 b優點:穩定性高,初置成本較水封低
缺點:潤滑油成本高運轉成本較高
根據以上說明還缺乏強而有力數據說服力
) B  ^( I+ D7 H# A使用真空机一般都是ROBER機器手臂將圭片吸住進行傳遞或旋轉塗布等工作
; B- w2 _1 s" t# @因此需要一要求穩定真空度
所以建議使用油封真空机對廠務而言是最佳解決方式
- q# G$ `, M, B2 B+ N* q除運轉費用高些无其他缺點
個人見解請參考

duyincanfeng

我也在选呢，也不太知道哪种好。但上级领导说如果用油封，在停机时如漏油，油分子可能会污染后端管道。而水封则不会有这样的情况 。大家能否说一下真空泵的品牌呢。我们以前用的德国希赫水环真空泵。现在系统容量小了，大概也就是300M³/Hr，大家给推荐一下较好的品牌吧。

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纳西姆(西门子)