求资料，半导体设备开机检验时现场工程师使用的checklist

Automachine_W

这里有做过设备工程师或者现场工程师的同行么？各位手里有没有为半导体设备开机时使用的那个checklist，Aixtron（包括thomas swan）,Veeco（包括emcore），NIPPON Sanso,Nissin Electric,日亚，,Angilent,Applied Material、KLA-Tencor、 NOVELLUS等等，只要是设备厂商的都行。
! D2 f$ Z( K7 O6 m6 k) t自己写的话，缺乏bug的经验，希望得到相关资料参考一下，请各位前辈帮个忙，传上来让我看一下。
* M4 @  A$ z$ L, b
0 j( ^. g2 v9 n: `0 V4 i9 _[ 本帖最后由 Automachine_W 于 2009-6-23 21:47 编辑 ]

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ALD_Cycle Plus System                                                                                               
. Q0 o+ z0 U% _# [# q# Y. L6 `" |No                 Item                                   Date        1월                        2월                                2월                Set-up지연 사유       
                29        30        31        1        2        3        4        5        6               
( {6 G: L* J. U' ?$ ?  P4 @6 hFab-IN & Part Check                                                                                               
                Hardware Set-up기간(7일)                                                        Process                        
Utility Hook-Up        * ZrO2 System 반입 & Cleaning.                                                                                       
          - Set-up Parts Inspection                                                                                        
          - P/M & T/M Module 반입 및 Leveling                                                                                       
        * Utility Hook-up for Main System                                                                                       
; k  [1 q# G) y7 G5 V% [          - Power Line Hook-up                                                                                       
          - Bulk Gas & Process Gas Line Hook-up                                                                                       
            (TMA Refill Line)                                                                                       
7 T' M! o& X7 N4 c5 C2 x' M; a          - PCW Line Hook-up                                                                                       
          - Pumping Line Hook-up                                                                                       
3 |( `, Q0 e' @7 k& q          - Exhaust 배관 Hook-up                                                                                       
          - Gas Line Flushing & 가압 Leak진행.                                                                               
        * Utility Hook-up for Sub. System                                                                               
8 p# Y* j" s2 v+ k! H( @          - O3 Generator Utility Hook-up                                                                               
          - Heat exchange Utility Hook-up                                                                               
; I- U5 |) k, a+ e7 i. o          - Dry Pump Utility Hook-up                                                                               
$ T/ ]8 N; |( s$ n, j; YHardware Hook-Up        * Module to Module Ass'y                                                                               
          - Main & Sub Power Cable Dressing                                                                               
5 x/ `9 T7 i  p8 w( Q" ^          - CTC to PM Signal Cable Dressing                                                                               
          - PDB to CTC & PM Signal Cable Dressing                                                                               
& e" u/ q2 g, x" a9 W$ w          - CTC & PM Cable Dressing                                                                               
( m5 G- R' z+ [) a3 O          - O3 Gen. to PM Signal Cable Dressing                                                                                   
          - Heat Exchange to PM Signal Cable Dressing                                                                                
2 D1 F2 }- x/ K          - System Main Power Turn On                                                                               
; V* W: h# r! f% q" o) z        * 2 Process Module Ass'y                                                                               
! E% s+ M) ^5 y, m& Z, S3 B0 z2 y          - Process Kit All Wet Cleaning                                                                               
, r" Y' G. c4 r& m6 `# g          - Lamp Heater & Quartz Parts Install                                                                               
          - Disk & Top Shield Install                                                                               
  J- k- u4 B2 h3 U, m" p/ ?1 X        * System Function Check                                                                               
          - Valve I.O Check                                                                               
; _5 s4 D: [7 Z* I) e          - D.I/O , A.I/O  I.O Check                                                                               
- R* w& M. g7 ~" ^2 _" p6 ]1 e          - System Interlock I/O Check                                                                               
          - Semi Auto Fuction Check (Unit Function)                                                                               
  Y* f: ?2 f8 kHardware Hook-Up        * System Align & Adjust Confirm                                                                               
          - L/L & T/M Wafer Align Check                                                                               
          - Pressure Gauge & P.T Sensor Adjust                                                                               
/ d6 G1 }+ B6 _" T% T, x          - P/M Disk Ailgn Check                                                                               
          - Vacuum Leak Check                                                                               
          - Process Temp Profile Check                                                                               
3 X8 }7 N& J1 f( P2 A        * Software Check                                                                               
          - S/W Unit Auto Fuction Check                                                                                
          - Semi Auto Program Function Check                                                                               
          - Full Auto Program Check                                                                               
7 G, s5 T+ F8 U$ e% J          - Wafer Handling Final Check                                                                               
+ _5 a8 M( Z; _        * System Final Check                                                                               
          - All Gas Line He Leak Check                                                                               
" b5 s6 P6 R7 @6 G          - All Gas Line Purge & Pumping                                                                               
) x* n* I& ]0 t! L- G          - System & All Gas Line P/T Check                                                                               
          - Source Canister Install                                                                               
           : TMA Refill 및 Real Gas Flow Test                                                                               
6 C( U. N3 \" u% ~2 ^, j, v& EProcess         * Process Set-up                                                                               
3 X  \9 W  x1 ]; g          1) BKM Recipe Set-up(Al2O3)                                                                                 1차 Al2O3 검증
: n& D1 }5 I6 j* }# r' M/ B; t5 ^           - Deposition Rate Check                                                                                 2차 ZrO2 검증.
           - Film Uniformity Check                                                                               
( R4 f) c* P! m/ U           - As Dep. Particle Check                                                                               
9 b: ]2 B" Q& ]$ N7 S                                                                                       
/ |/ Y/ e" Z* v* J                                                                                       
* System 특이 사항

ncmoon

这个指示书是厂家给的，或者经验积累总结的规则。
- n( H, B- }% Z- O3 `  v- ]$ s7 n不同厂家的方式方法和操作原则也不一样。
你的问题就像：
  S6 T% g$ E* j. Q8 Z7 P7 Y2 YFAB里面的机台是怎么操作的阿。太泛了，缺乏症对性。

zyfzxh

檢查項目肯定是有的,不同設備.廠商所檢查的項目不同,這些檢查項目是和機械設備分不開的!

michaelsx

是呀，每个厂家的设备检查都不一样呀

sshaoyou

病急乱投医
# t% z% O- e9 T7 T% i" f1 X
简单点，你买谁的设备，checklist自然会提供给你，你修改一下照用不就OK啦。。。

camus

这个东西其实早早找供应商就能解决的
还在这里问   看来是新新手  连基本的做事逻辑方法都没掌握哦

redsnail

一般这方面的资料是由厂家来提供的。但是也不能完全依赖于厂商