处理MOCVD的尾气的常用scrubber有哪几种？

番番

小弟现在有需scrubber，想请问现行处理MOCVD的尾气的常用scrubber有哪几种？

icrom1024

CDO   處理後再加入 wet  scrubber

evan7758

最好的是使用燃烧--水洗。   次之电热-水洗。  如有需要可以联系我。 qq 18415847

samuel_1023

Heat and wet scrubber system 或者 最新有离子交换纤维ー（ION EXCHANGE SCRUBBER)可以评估　

果子

你主要是要处理什么气体的？

evaslover

MOCVD行业多数都采用直接水洗方式，氢气基本都不处理的。

jinhailong

正确!一般都是先加热的形式,再用WET SCRUBBER 进行处理

果子

氮化镓的直接湿法就能处理掉，砷化镓就会比较麻烦，较为普遍的是干式的或化学式的

zmzxyhl

刚刚接触LED行业，学习学习

shkt

有没有用吸附式的? dry scubber?

rock82

主要有电热-水洗， 离子交换，水洗等，我就是代理韩国MAT scrubber 的， 有需要的话可以联系我， rock@sdglovy.com

tarco

听听大家的经验, 学习啰>....

5月天空

如何确保H2安全排放，H2爆炸浓度4%~70%

xqwert

用大量CDA或者N2来稀释~~
( y3 j4 p; A/ `$ [
或者直接烧掉！

chenxuabc

有没有这么多的资料啊

qhmdaxia126

有啊，dry scubber

forgetme456

heat-wet，燃烧还是电加热随便~

kenny_keko

Local Scrubber 主要為處理機台所排放出來的製程廢氣。依廢氣特性採用水洗或吸附氧化的方式處理。
MOCVD之Local Scrubber 採水洗加藥的方式處理廢氣。附帶提一下PECVD則採用吸附氧化的的方式處理廢氣。
MOCVD使用氣體種類H2，NH3，SIH4，PN2，N2+H2
處理氣體以NH3為主，採用水洗方式處理，使用回收水作為補水。並以pH值作監控加藥(H2SO4)。NH3的削減率須≧99%。
僅說一下MOCVD機台尾氣處理。
尚有ICP Local Scrubber(分PSS與GaN兩種製程機台)處理氣體以氯系(Cl2,BCl3,SiCl4)為主，採用水洗方式處理，使用回收水作為補水。並以pH值作監控加藥(NaOH)。氯系廢氣的削減率須≧99%
PECVD Local Scrubber處理氣體以SiH4為主，採用藥劑吸附氧化方式處理，SiH4廢氣的削減率須≧99%。
希望對各位有所幫助!!

sinoadamwang

我们公司的是爱思墙的MOCVD，用的scrubber 就是爱思墙配过来的水洗式的，就加H2so4就OK了，但是要经常换H2so4.

songcz1986

有没有直接吸附的   用的是什么吸附剂啊  

yinhfeng

学习了。。。。 学习了