有关APC（先进过程控制）和Run-to-Run（批次控制）方法的学术资料

snort

论坛已有的介绍大多是关于APC程序或者工程方面方面资料，在此提供一些最新的理论研究资料。
Run-to-Run通过对历史批次过程数据的统计分析改变下一批次的制程方案(recipe),解决间歇过程尤其是半导体生产过程中在线测量手段缺乏造成实时过程控制难以实施的问题,从而降低批次间产品的品质差异.这一方法是统计过程控制和实时控制的折中,提供了一个提升产品质量、改善总体设备效能的框架.
進階雙反應多變量控制器應用於半導體產業CMP製程之R2R控制研究.pdf (531.82 KB, 下载次数: 83)

2009-12-20 20:29:06 上传

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waincheng1

APC牽扯到的noise如何去掉這個問題才是最關鍵的。另外APC如果沒有收到feedback，如何處理也是很重要的。細節上太多東西了，要做好不容易。

cash1227

APC具体讲其实就是一种通过EAP 从设备抓取特定参数进行收集校验的系统。

其中包括FDC，OEE，R2R系统。
7 T% B- C+ R1 s
8 o& I3 r1 ?$ ?, ^通过这三种系统的设置，可以有效的减小甚至避免RUN货问题。

每一个子系统都是一项独立存在并且完备的。 不过均需通过automation从设备上获取相应的run货参数。

2 n: f7 M0 ~7 P3 G6 v& L" R个人意见！

snort

楼上能详细说说细节问题吗？

cash1227

晕，你想知道哪方面的详细资料呢？

, {" Q; T, \8 ~! tFDC：是通过S1F3 或者S2F23\S6F1 定时获取指定参数内容的值，并根据获得的值绘成曲线，module便可以根据这些参数的曲线了解当前机台run货参数的稳定性了。 如果曲线异常，当前所run的lot便会hold住（FDC具有设定的rule的功能）。
OEE：是统计工具，主要是通过该系统获取当前run货信息的详细信息，包括eqpid，recipeid，lotid，slotid等等。
R2R：批次控制没错，其与FDC系统不同的是，可以根据run货批次的不同，设定不同的rule（即使是同一recipe），每次run货之前都可以设定该rule。
' |4 ~+ G+ e- Y5 E6 j5 C+ \; R

这样讲，详细么？

william_1

Please take look at this

9411028

原来是一篇台湾的硕士论文。

snort

台湾做R2R研究的很多，不过在学术界有些地位的都是对EWMA方法的改进。

snort

国内这两年也开始这个方向研究，不过比较侧重理论研究，和工厂实际联系的并不紧密。

snort

原帖由 cash1227 于 2009-12-23 11:32 发表
. a0 S. U" c( y8 p4 g5 H; x# e& {4 @晕，你想知道哪方面的详细资料呢？

3 K  Z- d- C1 ]! YFDC：是通过S1F3 或者S2F23\S6F1 定时获取指定参数内容的值，并根据获得的值绘成曲线，module便可以根据这些参数的曲线了解当前机台run货参数的稳定性了。 如果曲线异常，当前所 ...

从楼上的回答看，是这个邻域的专业人士，不知道用的那个公司的APC软件

snort

原帖由 cash1227 于 2009-12-23 11:32 发表
" n9 }* N6 e% t/ }6 e晕，你想知道哪方面的详细资料呢？

FDC：是通过S1F3 或者S2F23\S6F1 定时获取指定参数内容的值，并根据获得的值绘成曲线，module便可以根据这些参数的曲线了解当前机台run货参数的稳定性了。 如果曲线异常，当前所 ...

4 P. C% V9 ^: z- b0 |- ?4 F从楼上的回答看，是这个邻域的专业人士，不知道用的那个公司的APC软件

wangyao_5510

没有做过相关的东西，下来看看是干什么的

snort

批次控制是一种反馈控制，实质上是一种消除干扰的控制方法。

damuma

这些参数内容符合由Semi的哪个标准规定？

wailwang

APC有三种模式：
1 P3 H8 I- q$ @& L1 v5 c; c" ]/ ?/ e1. Predictive
" C0 H5 C/ C- H& O. Y% Q2. Feedback
  ^8 v; S2 L: L4 E3. Feed forward.
根据实际情况选用不同的方法。

happyconfident

APC是这样的一个东西啊？那黄光区的APC条件是不是和这个里面说的一样啊？

zoloq

最近在看这方面资料，学习下。貌似这两个基础都是建立在EDA的基础之上，model的建立也是基于先验经验，不知是不是这样？

liuyunyou

APC 我记得也是Air Pressure Controller的缩写

kenzhu

每次扣4分，蛋疼。

kenzhu

6楼给的资料只有2页？