关于研磨废水的处理

ao_yu

有没有处理研磨废水的经验或厂家。
学习以下！
. X: |# q1 L! Z$ ~5 p  n我们的研磨废水处理十分费力！

forest-666

在FAB要做小型的预沉淀池的（视水量大小而定其大小），厂务端废水反应池视水量大小延长污水的停留时间，当然，PAC,PAM的加药量和PH值（6~9最佳）要控制好，加药量不能太大，否则会达到适得其反的效果，加完药后絮凝池搅拌机的搅拌时间不宜过长，要不然形成的絮凝体容易被打碎，这样进入后续沉淀池的絮凝体体积和重量过小会造成沉淀效果不佳，同时要提醒你的是：污水在絮凝池和沉淀池的停留絮凝反应和沉淀时间一定要够长（视水量大小在系统设计之初就应该和工程施工方确定污水停留反应的时间），否则，沉淀效果会及其不佳，尤其是沉淀池停留的时间要特别注意！

! U, A: V; D# \' E% f希望以上的建议能对你有所帮助。
# k) I, F; g+ h% @( @' k; j- o) @
! H0 |( b, G+ S7 x$ s, k[ 本帖最后由 forest-666 于 2010-1-14 10:48 编辑 ]

water1

你好回收CMP WWTS 吗？请告知具体要求？谢谢！我们处理的比较多！

quanbinwang

半导体行业晶圆硅片研磨/切割废水回用成功案例分析
, C7 m& c, x  @半导体器件行业是目前及将来电子信息产业的重要组成部分，随着半导体产业的兴起，国际市场对半导体的产品需要越来越大，在半导体制作过程中，硅片研磨/切割产生了大量的废水。经过调查，目前很多半导体生产厂家都采用简单处理方式直接排放，不做任何回收再利用处理，造成水源的极度浪费；部分公司在处理工艺上采用超滤膜件进行过滤处理，但膜的反洗频率高、水的回收率小及超滤膜的更换成本昂贵等等各种因素的影响，从而提高了公司的运行成本；在社会经济日益发展的情况下，与目前所倡导的节能节源法律法规大相径庭，为了进一步的节能降耗措施，现对硅片切割所产生的废水进行真正意义上的回收处理，具体工艺描述如下：
7 b3 X  N! T: f/ a% g当切割废水进入废水收集池内，原水泵根据废水池内液位信号启停控制，将废水抽入反应装置内，在反应装置中添加混凝剂，使废水中的杂质进行初步的混凝反应，之后将废水的PH值控制在8.5-9之间，在反应池末端反馈PH值信号控制碱剂加药泵的启停，再在反应装置的后端添加助凝剂将废水中的杂质进行絮凝分离，在完全反应的废水流向斜板沉淀装置，进行污泥沉淀，底部沉淀污泥由压滤机进行脱水处理，硅渣可进行回收处理，上层清液溢流至中间水箱，中间水箱安装液位控制，信号传递中间水泵工作，将清水进行进一步的过滤，经过10um的袋式过滤器、1um的滤芯式过滤器、活性炭吸附装置及终端0.2um精密过滤器，之后进末端水箱，末端水箱内配置液位控制，信号传递末端送水泵工作，将系统完全处理的回用水送至超滤产水箱，可以直接进反渗透装置继续生产超纯水，从而使“芯片切割废水”得到90%以上的回收率，很大程度的降低了水处理系统的运行成本及公司的生产成本，根据成本预算，基本上是三年左右的时间就完全收回投资处理运行成本，在半导体生产领域取得了节能节源的显著成果。
在实际处理运行中，首先需要对原废水进行多次的抽样分析，并做实验报告，根据不同性质的切割废水可能需要对工艺流程有所更改，系统的处理容量根据废水量的大小做相应配置，全套系统采用自动化控制，人工操作部分仅为根据滤芯压差报警而及时更换滤芯，在运行中，由于有部分化学反应，会产生沉淀杂质污泥，所以根据水量的大小确定抽排污泥的频率及时间；在末端回用管道上可选配安装在线式流量计，以对废水的回收量做数据记录及成本核算。
在系统配置上的材质选型：所有过滤器都采用SS304不锈钢，加药箱采用PE桶或PP板焊接药剂箱，加药泵采用进口米顿罗品牌，斜板沉淀装置采用钢制防腐，管道采用UPVC，循环水泵采用格兰富或国产南方，电气元件可采用欧姆龙或施耐德，PLC可采用三菱或欧姆龙，以上所有配置可根据公司实际投资成本预算内调整。
. Y$ D- y3 a6 I6 D5 n, E$ z8 d. G根据实际水质经过权威机构检测，处理完回用水完全可以达到自来水超滤水标准：
6 y) b  q; T% @  {, R% y检测指标        芯片切割废水回用水        自来水超滤水
- U* \3 o* l2 oPH        7.16        7.43
! [1 y7 m+ h( ~& J1 L% T  G1 d电导率        276        548
, m; _1 |* c8 D色度        2        2
; @3 x. @% E, K* R; x# ASS        ND        4
" @5 b$ F2 y% Y$ HCOD        ND        ND
1 {7 y) ^! x: R; \+ ?( `* W& x5 WSi        0.564        2.7
Na        40.2        65.4
! {! [; C: d: c7 Y* T葵和精密电子（上海）有限公司
撰写：王全斌
联系方式:13661816545

ao_yu

谢谢了！
过几天给你们联系！
) j% Z& `$ u7 W/ g :#79)#(# :victory:

5月天空

楼主：在水回用系统中，对哪些指标进行在线监控？回用至纯水制程系统若控制不好，会出大问题。
# {4 _' q- f  W3 h( j另外：对COD、氨氮控制指标是多少？ 你们成功的案例多长时间了，在运行中出现过什么问题？
9 v# c( }% `& Z3 p' A; G/ A
因为我们也响应国家节能减排的国策，计划回用研磨水，思路和你的基本相同，但没有经验!

exanimo

我看过几个公司研磨废水处理装置，很多都是通过传统的混凝沉淀的方式，
8 M+ o! n( e* W2 p- l% t但是效果很不佳。
有个业主不信邪，认为可以进纯水系统的原水池，后来我们帮他做了个小试，
废了我一支膜。

6 F5 d- c+ l6 E5 z/ s! G现在做研磨废水比较好的工艺是膜法处理，我们在日月光半导体（台湾）有过成功的案例，
% S+ D6 s, \& w- Y- c现在内地也有好几家公司正在准备用这个方式去做
回收率可以达到92%以上，产水可用于RO的进水，或是一级RO的产水。

, ]6 I# c' u2 ~. N# d8 v欢迎大家一起探讨哦！
$ n, s- L( w1 c3 F% \上海汉华水处理工程有限公司
杨文利
" k' k$ C+ [! n2 m" W5 Z5 Eexanimo@hantech.com.cn

fac株树人

我们公司正在做研磨废水和中水回用项目，研磨废水采用竖流式混凝沉淀+砂滤再进入中水回用原水池，中水回用采用砂滤+炭滤+超滤+RO(一级两段）,产水用作纯水原水，妥否，大家给点建议，谢谢！

ao_yu

处理费用有点高！
2 b3 d* G2 d8 Z* p个人建议中水还是用来灌溉或冲厕所用水比较为宜！
2 e6 L, }$ H/ z做纯水的处理费用及综合成本好像很不划算！

ckjkf

处理成本有点高，可以考虑不用ＲＯ，供参考

hayessky

研磨废水中如果含有切割液的话处理起来会很痛苦的，主要是把各个工段的废水分开来处理。如果只有磨料的话处理起来时很容易的。自己看看一般的废水处理设备就能想出一个很好的解决方法的。如果只有切割液和磨料的话那就是砂浆喽，有专门的回收企业的。还能回收给你的切割液和磨料的。不用自己解决。处理还是免费的。

bravoroy

goutongwx

支持。。。。。。。。。。

hit_eagle

我们也在开发膜法处理系统

littleramber

11楼说的专门回收研磨液和切割液废水的厂家那里有啊？

lairenhao

有谁知道作为研磨水的纯水指标?

wqh_76

我看过上华做了研磨废水回收，好像用MBR，看水质特好

wxdy1992

我们公司是专业做半导体行业的研磨废水处理与回收设备的，经我们设备处理后的水可以回用至RO系统中去。ss: 0mg/L ，NTU< 1.