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EPI Scrubber 原理 [复制链接]

0404020235

上等兵

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发表于 2010-4-8 16:22:34 |显示全部楼层 |

本人负责FAB内的全部srubber管理，说来惭愧，在这方面我是新手，最近公司要买EPI机台，需配scrubber，希望各位大侠指点一下EPI的scrubber的使用原理和需要注意哪些技术指标

推广/介绍2ic网站,即可获赠积分/金币

epiwafer

中尉

Rank: 8 Rank: 8

名誉值: 8

发表于 2010-4-8 16:48:10 |显示全部楼层 |

Scrubber不是随EPI设备一起的吗？请问楼主是做什么方面的EPI。LED还是硅外延？

人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

Jinsian

少尉

Rank: 7 Rank: 7 Rank: 7

名誉值: 0

发表于 2010-4-12 17:41:03 |显示全部楼层 |

发完帖就跑,根本不管别人怎么回应.

想自己做群主吗?点我一下就可创建您的群组!

Jason_zhou

入伍新兵

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发表于 2010-5-10 10:14:04 |显示全部楼层 |

我了解点

请问兄弟怎么联系你,在SCRUBBER方面我知点其一二,告诉我你的联系方式!

论坛使用常见问题解答![会员必读]--欢迎提问

5月天空

中士

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名誉值: 5

发表于 2010-8-21 11:54:57 |显示全部楼层 |

我也需要，联系方式，lzb751016@nbip.net

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lacobi

中尉

Rank: 8 Rank: 8

名誉值: 5

发表于 2010-9-14 09:30:54 |显示全部楼层 |

说的不明不白的，SCRUBBER有水洗的，燃烧的，热处理的，吸附的，或者混合的。都不知道你要处理啥气体，人还消失了

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rock82

上等兵

Rank: 1

名誉值: 0

发表于 2010-9-14 10:03:51 |显示全部楼层 |

我就是销售Scrubber的，韩国MAT的，有水洗的，电热的，燃烧的，等离子等等的，有需要的话，可以联系我。

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ustrinique

上等兵

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名誉值: 0

发表于 2010-12-1 14:57:02 |显示全部楼层 |

欢迎来函索取 EPI scrubber资料。应用于应用材料公司的centura平台EPI设备。。ustrinique@gmail.com。

[ 本帖最后由 ustrinique 于 2010-12-1 14:58 编辑 ]

看得愈真，愈欣赏；愈欣赏，愈懂欣赏。

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chenxuabc

军士

Rank: 3 Rank: 3

名誉值: 1

发表于 2010-12-13 10:53:16 |显示全部楼层 |

哪位大侠有Wet scrabber方面的资料给我发一份啊谢谢咯 chenxuabc@sina.com

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