吹扫N2为什么必须是瓶装氮气而不是系统N2?

starwang

请教各位大侠一个问题，吹扫N2为什么必须是瓶装氮气而不是系统N2?
我觉得可以用系统N2,因其压力稳定纯度可靠。
0 |& O# E$ R% @3 x$ t另外，假如担心系统氮气质量有问题影响特气质量好像也没有必要，因为一旦系统N2质量有问题，生产线设备会先被污染，生产线都有问题了，好像不用担心特气系统了吧。
小弟拙见，欢迎大家批评讨论。。。

张旭东

吹扫用瓶装N2而不用管道系统N2原因分析:
* _; B- X* t4 Y7 s& Z1)吹扫时用气量瞬间很大,会降低系统压力.影响其它设备正常使用.
2)系统N2是高纯价格贵些,用它做吹扫不经济.
( p$ l. n0 U  E1 A0 V" s$ e# |1 b3)或许系统N2是低压.而瓶装调压变换方便.
. G0 O7 B+ z) I6 _. W+ p4)公司主管工程师的个人习惯.
0 c5 L! o* r) y& n2 J& `  W& ?. F0 M其实很多公司的一般吹扫就是将气枪接到系统上.贵司有一定特殊性吧.

hjy923018

我个人觉得之所以用瓶装的N2，不是因为瞬间的用N2量太大，管道不能满足。实实质上吹扫N2用瓶装的话一般都是用在CVD之类的工艺上吧？
2 R- q3 Y7 ?0 p. D像扩散这种大量用的话还能用瓶装么？
有点疑惑！！！

starwang

1.我们这边瓶装N2要比系统氮便宜很多的，因为是为特气系统吹扫，瓶装N2纯度等级应该不低。
. X6 R, I0 j% s1 v2.吹扫压力一般也不会要求太高，系统氮气压力满足要求。
' j+ p5 k9 n8 K' _, Q0 p+ h1 ^2 u3.至于流量，吹扫时我观察过系统氮气流量，变化不明显。远远没有一些生产设备用气时对系统的冲击大。
2 `% c8 m* {. I/ Y; b  ~$ w不足之处，欢迎指正！

494719708

习惯问题。新建厂在系统氮气设备不完善之前，会用瓶装氮气吹扫，老厂就不必了。

iorisx

都可以啦，纯属个人习惯

starwang

据我所知许多公司都用瓶装氮气做特气系统吹扫气，我想这么做还是有一定道理的。
提出这个问题只是想知其所以然....

starwang

四楼回答的有道理，但是有许多老厂依然用瓶装氮气做系统吹扫。

starwang

1瓶瓶装氮气，因纯度有要求，往往价格要在几千元rmb,一瓶才4点几立米。而系统氮气，每立方才1元多点。价格差的很多！

zehui73

应该是主要考虑担心制成气体发生倒流到N2系统管道中去。从而污染N2系统。另一方面防止交叉污染。好像以前在台湾有过这样的案例。CHECK VALVE在压力相等的情况下没有做用。

starwang

能否进一步说明下何谓交叉污染？

epiwafer

原帖由 zehui73 于 2010-5-14 21:39 发表
应该是主要考虑担心制成气体发生倒流到N2系统管道中去。从而污染N2系统。另一方面防止交叉污染。好像以前在台湾有过这样的案例。CHECK VALVE在压力相等的情况下没有做用。

有道理!!!

qingwufeiyang

对于5N的气体来说，系统从3N纯化出来肯定比直接购买瓶装价格低、质量好，至于压力问题，应该可以安装相应的阀门解决。
4 ~- T  u, M% w" m# N" F) f
主要还是考虑在设计上避免玷污吧，可以详细看看气柜的气路系统。

本人是搞工艺的，不精通这个了~

starwang

13楼说的什么意思，不理解！

slame_liu

我认为考虑方面不同，个人认为如果有自己的N2系统，还是用其吹扫较好！

starwang

制程气跑到系统N2中的可能行很小，
先分析下：
9 ~1 T1 {! L( s6 L& d5 s# s4 ?1.气体供应过程，因为制程气与系统吹扫氮气之间有3个气动隔膜阀。三个阀门同时出现内漏的可能行太小了吧。
2.吹扫过程，吹扫过程都是先抽真空，将制程气抽出之后充入氮气。这时泄漏到系统N2的可能性也非常小。但是这步确实值得怀疑，因为特气柜抽真空只是粗抽，pigtail等管路里一定有制程气，此时通入N2到压力平衡时制程气多少会有些扩散到N2里的。但是好像可以通过调节吹扫N2减压阀的出口压力来避免。

starwang

上面仅为个人观点，欢迎大家拍砖指正。。。

sanshaoly

制程气跑到系统N2中的可能行很小，
* w- }$ n1 T0 Y+ I/ \) B4 X% T9 j/ Y0 L% x& v+ V先分析下：
& z1 N9 _& @1 R& D8 m1.气体供应过程，因为制程气与系统吹扫氮气之间有3个气动隔膜阀。三个阀门同时出现内漏的可能行太小了吧。
3 q1 M% A+ g4 t- _9 N' W- I2.吹扫过程，吹扫过程都是先抽真空，将制程气抽出之后充入氮气。这时泄漏到系统N2的可能性也非常小。但是这步确实值得怀疑，因为特气柜抽真空只是粗抽，pigtail等管路里一定有制程气，此时通入N2到压力平衡时制程气多少会有些扩散到N2里的。但是好像可以通过调节吹扫N2减压阀的出口压力来避免。
7 e3 e. h0 u5 |( [) h极力赞同！

qianqianjianbo

这个问题有两点：一个是瓶装的氮气的纯度更好，并且吹少气体的压力有一定的范围，一般在80——110之间。另外一个普通的氮气一般在工艺上为开关气动阀或者尾气处理上用！

starwang

为何没人发表意见了，是否认同楼上的分析？

5月天空

纯度原因，PN2与GN2指标不同。

fool

个人感觉还是流量和压力的问题，钢瓶使用一般自带减压阀，可以方便调压

superjohnzhang

SH G用系统N2, 应该排除回流contamination issue

starwang

ok,我解释一下。我用的系统PN2进行吹扫，纯度没有问题。压力吗，减压后控制在70-80psi,我只想与诸位讨论下是否有必要改成瓶装氮气。因为个人认为没有必要该。

qdmyf

和公司的气路有关

xiaomaoqi

我只能说13#楼正解~~

我的爱人不明白

我觉得应该上瓶装的N2的压力比较大，达到130多KG，其他的应该是达布到的，所以才能达到吹扫的效果。

kate_yang

主要是怕污染N2主系统,

shoulder

没搞过这东西，猜测原因
1）因考虑预留等因素，施工验收规范的吹扫要求肯定高于你自己目前的使用量，如果按规范进行会使系统N2压降厉害，除非不按规范施工！
% O3 F3 v9 _$ B; ?1 c; m7 }0 F( E2）吹扫时应该是流量变化很大，会影响系统稳定性吧！
9 Y/ O- d1 {5 z0 M3）包商施工的预算中已经包含瓶装N2吹扫，用了系统N2如何核算，减项就亏了！

SYDXLXD

如果不是瓶装气与系统气纯度有差别的话，那就是主管以前习惯问题，
0 h8 E9 ]5 Q" s" c$ X: h: @吹扫氮气要求纯度比较高，越高越好，系统氮气要求纯度稍差一些。
其实如果二者纯度一样的话，用系统氮气更好一些，省事，也能减少配套设备，同时还
7 ~* q" w3 i; B6 E4 d& m能降低换气瓶过程中可能带来的污染！