请问各家公司chemical request 依照什么定的？

多情应笑我

大家好，请问各家公司chemical 要夜时间是怎么定的，我们用的chemical有TMAH,ITO,AL-ETCH,H3PO4,Stripper,EZ230,CH3COOH 等

JOY901

这个不是厂务定，是设备机台那边定，他们机台一般有个Buffer Tank, 低于某个液位就会要酸，要慢了就ok了

又来到厂务了

LS的很了解啊

80760662

设备那边有要液信号线连到化学品供应机台的,要液时设备发出信号,学品供应机台PUMP开始工作并打开VMB气动阀门,于是化学品就加到设备机台那边了

waiting_h

楼主如果是问单次药液的接收时间，这个请与贵公司的工艺部门联系。。。这是根据工艺的药液需求量以及系统的实际供给能力核算的；
( L0 Q& Y/ N& I8 u( Y
如果是问何供液的时间点，楼上已经回答啦，自控会实现的

panther

工厂动力通常会用所有机台的药液需求量做设计参考。但是也不能把所有的量简单相加，要考虑各机台的需液时间是否可以错开。
这个也要生产那边做协调，保证供液系统的设计能力最经济。

romeo520520

请查问 ETCH PHOTO单片产品的使用量和频率、EQ daily tank的H levle  L level参数,EQ PM flush时间,
! I9 |: F/ p. W* u2 Q5 t& {以上数据为影响request的参数

不过以上数据各工厂不同,一般数据私有智慧财产.

" Q5 G9 r- m2 x9 g% v楼上的回复应该是针对系统供应能力如何设计的.系统供应能力应该是所有机台共同要液的需求量再乘个经验参数.

以上.请达人再补充

8 g+ j$ w: K6 w& G* n  W& }/ C[ 本帖最后由 romeo520520 于 2010-8-16 00:09 编辑 ]

foxmanwang

通常制程设备会提供以下信号点给CDS以便进行衔接控制:
1. Chemical request；
3 J4 ~. N4 g. e, \) U/ R2. tool ready；
3. cds ready；
4. tool shutdown；
  V! }) {, w- J5. cds shutdown；
- m  G* R7 M9 y$ p4 J6 _以上信号衔接并检查完毕后，tool request时CDS会自动供应；

foxmanwang

tool request times,与设备工程师确认设备相关化学品补充时间，再相应点alarm进行设定，以便异常时反应快点；