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FAB中空调系统瘫痪，怎么控制光刻间内局部的温湿度 [复制链接]

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发表于 2010-6-21 10:42:43 |显示全部楼层 |

各位前辈：
我们现在检查的超净间厂房的动力设备，有人提出万一空调系统坏了，或者需要维修，那如何能够保证光刻间中的温湿度可控，有人提出安装室内空调，加湿器等方案。不知各位所在的Fab是否有过这种考虑呢，不胜感激！

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wu_yu_hua865390

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发表于 2010-6-29 17:09:36 |显示全部楼层 |

很有忧患意识。通风就可以，短时间影响不大。

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发表于 2010-6-30 06:41:40 |显示全部楼层 |

这只是瞬间的影响吧.主要看设备维修工程师的能力.

好的生活在加班中消失了。

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发表于 2010-6-30 09:38:26 |显示全部楼层 |

设计上一般都会有冗余设计，也就是备用机在内，除非倒霉到所有机器全坏，否则不会出现LZ所说的情况

人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

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发表于 2010-7-9 11:22:46 |显示全部楼层 |

安装一台备用空调机组，即可以为光刻区备用，也可以为其他区域备用。中间加风门切换。

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发表于 2010-7-9 11:23:17 |显示全部楼层 |

Fab厂的空调都要有备机的。

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发表于 2010-7-13 20:37:44 |显示全部楼层 |

一用一备，除非两个都坏了，不过没有这么巧的。

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发表于 2010-9-2 16:33:34 |显示全部楼层 |

厂务电

附件是厂务电气设计，不知道合不合理？

电气-Model.jpg

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发表于 2011-4-17 07:00:28 |显示全部楼层 |

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