- 在线时间
- 7 小时
- 金币
- 1
- 名誉值
- 0
- 最后登录
- 2010-7-21
- 注册时间
- 2009-5-16
- 帖子
- 7
- 精华
- 0
- 积分
- 5
- UID
- 360916
- 名誉值
- 0
|
发表于 2010-6-26 23:20:34
|显示全部楼层
|
写得不好，请大家多多指教。
" I6 F! s' @& q: I+ r, tOHS（Over Head Shuttle ）
( h9 B6 s* \; Y 可以在安装在天井下轨道上高速移动的自动搬运装置。$ a+ e. ^% B# W! Y: \
一般是用于成膜、洗浄等各个保管设备间FOUP搬运
4 C& K6 N3 }* N1 i. a* n# j- U# ^# b+ O) y
OHT （Overhead Hoist Transfer ）* S+ T. L7 o3 V5 C
是安装在天井下轨道下高速移动的自动搬运小车。
* ]5 j2 S" T" U9 H& d' G! X1 Q3 ^ 由升降装置马达驱动BELT，使GRIPPER自动抓取设置在port的foup。( E0 Q# b; z4 S* s
这是300mm晶圆厂运用最广防的搬运工具。GRIPPER有不同的类型可以搬运不同类型的foup。5 U$ S0 |- K5 a6 \+ }7 |' d
从第一代10几年前只能低速走行单线轨道，移载设置于其正下方port的foup，# I* j# w2 ^# v: I
到第二代可以高速走行在分歧轨道，0 w8 `6 w3 e( c# _1 d
第三代不仅可以走行在分歧轨道，还可以左右移载设置在STS，UTS上的FOUP( O6 k* b E0 j9 K9 z
再到第四代450mm搬运小车，更新速度可谓非常之快。/ t& @) x' K0 |: V! O* j$ ], O( j
中国国内半导体厂商使用第一代，第二代自动搬运小车，目前国内还没有使用第三代自动搬运小车的客户。; o) ^9 e$ G! g1 M% f% }
5 \; v5 ?# a! U
AGV （Automated Guided Vehicle）
0 M5 \2 y! l; D3 M" B车上安装了多关节手臂机器人，用于搬运保管设备和制造设备之间的foup。
8 Z( u" d+ M9 e. |本搬运小车由于安装了大容量的电池，可以自动走行在工厂的地板上，并按照程序设置，可以走行比较复杂的路径。
' ]/ `2 x K1 I5 C1 Q: j, d台湾，韩国有半导体厂商很多使用这种小车的案例。
; B, Q* x( Z3 a A9 U+ O) V8 w, j4 y3 r% f2 O& N
RGV （Automated Guided Vehicle）8 w% z" B1 x" \, E1 \5 m
本小车走行在安装在地板上的轨道，可以高速搬运保管设备和制造设备之间的foup。
) V0 n$ `/ ~- {' b- o: c% _* [# `和AGV同样搭载了多关节手臂机器人，但是小车走行速度大大高于同类型的AGV。0 O* b1 r$ H/ y0 I
韩国半导体厂商有使用这种小车的案例。
3 T$ t7 _: s! O `2 Q+ A; x% o. n; n) |4 N4 k1 b* z
STOCKER1 t$ g; W" k k3 Q( t5 D3 B) Q* f& D+ M
是fab里面的一时自动保管仓库。
9 c" o7 b" f: S可以把半成品的硅片暂时存放于此。
1 |3 l/ ^; D: G9 W1 t. v有好几种类型。
3 a- q2 x F" j* u) D其中一种塔形仓库可以实现foup楼层之间的搬运。
# Z$ k# M6 L( N( U6 e+ S; e4 `, J
% t& J5 F) ^ k( H/ V# R2 {/ d以后有空再说说FPD工厂的搬运机器人 |
|
