半导体技术天地

 找回密码
 注册
论坛教程/金币积分(必读)公司发布招聘信息华润集团企业文化读本矽说台湾挡不住的趋势
欢迎大家提出建议意见个人发布求职信息芯路历程(909工程纪实)TSMC十大经营理念 行业QQ群号码大全
查看: 1143|回复: 14

PCW管路系统清洗   [复制链接]

Rank: 2

名誉值
5
发表于 2010-8-16 17:39:11 |显示全部楼层 |
PCW系统由于混入冷冻水,水质有问题( _/ T. G  d) i' ^+ ]1 g

  |# `2 v/ d1 n4 f4 V8 m' k以前见过停机用柠檬酸清洗,大概的步骤是:将水箱降至低液位,开泵进行循环,不断加入柠檬酸和盐酸,控制水箱pH维持在3,循环2小时后,停泵浸泡1小时,然后进行水质置换。(不知道此方法对不对)" f; u5 \9 z7 S" i
( ^5 g$ e& t; ^$ j& \7 \* }2 @  K
有没有不停机的处理方法

Rank: 4

名誉值
0
发表于 2010-8-24 10:01:45 |显示全部楼层 |
本来就是不停机清洗的,让药剂在系统内面循环2-3天,药剂也是陆续往里加的。控制PH值,和检测水中浊度还有铁离子及钙、镁等参数,清洗的时候需要加缓释剂剂的!

Rank: 5Rank: 5

名誉值
3
发表于 2010-9-1 14:23:09 |显示全部楼层 |
不建议这样清洗,因pcw系统中制程设备相当都是铜质管件,遇酸腐蚀
" d$ q+ a$ }2 g一般PCW循环水为RO 水,水质较好,不会有结垢现象。
' |/ t; `) g. i) q如果 一定洗,建议只用2%柠檬酸或用0.1%氢氧化钠/1%EDTA,这两个作用也不一样
- D" Z5 L/ l( n( g# g, ]如果钙结垢非常厉害,要盐酸,建议用0.2%盐酸,循环时间不能太长,最好主系统可用,制程机台分情况对症选择清洗,这样不会腐蚀其他设备。

Rank: 2

名誉值
0
发表于 2010-9-7 23:18:30 |显示全部楼层 |
我们厂补水用的是ROR,PCW水质控制在150左右。运行2年后检查管路,没有一点结垢。建议你们厂的补水水质检测下。

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2010-9-8 22:37:18 |显示全部楼层 |
这玩意怎么还能混进冰水呢?

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2010-9-10 14:49:59 |显示全部楼层 |
我觉得楼主描述不详细,难以判断是那种原因!描述的越详细,才可能判断出是那种原因?

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2010-9-10 14:52:25 |显示全部楼层 |
是换热板有问题?混进冰水了?

Rank: 2

名誉值
1
发表于 2010-9-14 13:22:05 |显示全部楼层 |
奇怪的问题,能否详细说明一下。

Rank: 5Rank: 5

名誉值
4
发表于 2010-9-26 08:43:10 |显示全部楼层 |
PCW用的是RO水,如果你的RO没有问题,应该不需要洗

Rank: 13Rank: 13Rank: 13Rank: 13

名誉值
0
发表于 2011-7-31 21:05:40 |显示全部楼层 |
好资料,谢谢楼主提供 5 j: R0 v3 j+ N6 q: j

Rank: 3Rank: 3

名誉值
0
发表于 2011-8-21 10:34:47 |显示全部楼层 |
莫不是板换坏了,呵呵

Rank: 1

名誉值
2
发表于 2011-8-21 14:59:13 |显示全部楼层 |
加大PCW排水量和补水量,直接将PCW用RO水置换掉不就OK了嘛

Rank: 2

名誉值
1
发表于 2011-10-14 11:33:03 |显示全部楼层 |
这是谁的设计方案,怎么能把冷冻水混进PCW中降温呢?机台以后可惨了!

Rank: 2

名誉值
1
发表于 2011-11-16 16:50:50 |显示全部楼层 |
难道是板换被击穿了啊?真实不幸,我们公司的板换是用304材质的,悲剧啊~没有用316L的,以后也可能出问题。

Rank: 1

名誉值
0
发表于 2011-12-9 13:27:56 |显示全部楼层 |
用RO置换不就行了,这也搞得太麻烦了吧
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

投放广告(Advertising)|手机版|Archiver|半导体技术天地[Semiconductor Technology World] ( 浙ICP备05067027号 )

GMT+8, 2012-2-6 04:19

Powered by Discuz! X2

© 2001-2011 Comsenz Inc.

回顶部