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centura200外延炉尾气如何安全处理 [复制链接]

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发表于 2010-8-21 11:29:05 |显示全部楼层 |

centura200 外延尾气中含H2，PH3，TCS等，如何被安全处理，特别是易燃易爆H2？

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发表于 2010-9-26 08:56:56 |显示全部楼层 |

你好，不知道你那边发生过什么样的事故，我这边也有该设备，安全问题也未能根除。希望能交流下经验。

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发表于 2010-10-2 20:44:17 |显示全部楼层 |

尾氣可以用 CDO設備高溫燒過後水洗掉.

人生有多少价值，端视帮助多少人创造价值！

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发表于 2010-10-12 16:53:54 |显示全部楼层 |

请教下，能否具体介绍下CDO。你说的是对于尾气的处理，还是对于腔体出口处的尾气管道清洗？

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发表于 2010-10-18 09:12:38 |显示全部楼层 |

我们外延炉的尾气都是经多道水洗后直接排放的。

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发表于 2010-12-5 08:41:00 |显示全部楼层 |

1）水洗不是彻底解决的方法，只能处理NH3，国家对H2排放也无要求，少量MOCVD机台可以这么做
2）彻底解决还是干式燃烧法

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发表于 2010-12-21 12:44:57 |显示全部楼层 |

洗涤塔洗涤，
外加氢气报警，防爆装置等。

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发表于 2011-2-8 22:09:38 |显示全部楼层 |

燃烧水洗式，750度以上燃烧，肯定没问题

推广/介绍2ic网站,即可获赠积分/金币

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发表于 2011-2-12 11:56:42 |显示全部楼层 |

燃烧式SCRUBBER价格太高了，H2对大气无影响，关键是如何安全将H2排至大气中。

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发表于 2011-11-17 15:10:55 |显示全部楼层 |

H2 容易爆炸
还是用scrubber的好

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发表于 2012-1-3 12:29:50 |显示全部楼层 |

学习了，，学习了

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GMT+8, 2012-2-10 16:54

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