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双套管 [复制链接]

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发表于 2010-9-4 23:11:37 |显示全部楼层 |
请问,FAB内,从VMB到机台间也使用双套管的么?

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发表于 2010-9-7 16:16:41 |显示全部楼层 |
那必须的,chemical PFA tube太嫩了,小心哦~~

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发表于 2010-10-13 02:02:36 |显示全部楼层 |
怕洩漏造成危害

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发表于 2010-10-15 17:15:15 |显示全部楼层 |
外套使用CLEAN-PVC,内部使用PFA

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发表于 2012-1-9 23:40:27 |显示全部楼层 |
恩师的  到机台才不用
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