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双套管 [复制链接]

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发表于 2010-9-4 23:13:50 |显示全部楼层 |

双套管
请问，FAB内，使用双套管的气体从VMB到机台间管路也是用双套管的么？

论坛使用常见问题解答![会员必读]--欢迎提问

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发表于 2010-9-6 15:05:35 |显示全部楼层 |

是的，接到设备都是双套管

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发表于 2010-9-7 08:24:06 |显示全部楼层 |

我们公司好像没有，也就到gas box,从gas box出来都是混合气了

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发表于 2010-9-7 13:46:54 |显示全部楼层 |

Box以外的部份需要用双套管(剧毒、易燃易爆)，进行保护，防止管线受外界条件影响(之前海力士出现过这种事件，不便讲)；(管线只要焊的好，本身不会再现泄漏)

新注册后, "等待验证用户"的说明与解决办法

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发表于 2010-9-7 20:48:41 |显示全部楼层 |

我刚接触从机台接到CDU

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发表于 2010-9-9 10:18:45 |显示全部楼层 |

那是肯定的，一般情况sih4站到VMB是double的，那VMB到POU也要用double

点评

t408371416 好，谢谢发表于 2011-7-30 15:31:41

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GMT+8, 2012-2-10 16:28

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