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W-G-C System Words Abbreviation and Means

SMIC 发表于: 2007-6-18 20:31 来源: 半导体技术天地

最新回复

stephenhe at 2007-6-18 22:47:27

谢谢楼主的慷慨分享,谢谢楼主可以为大家贡献更多的资料

hhnec at 2007-6-18 22:58:39

W-G-C System Words Abbreviation and Means                               
                               
System        NO.        Abbreviation        English         Chinese
UPW        1        MMF        Multi Media Filter        多介质过滤器
        2        AC        Active Carbon        活性炭过滤器
        3        WC        Weak Cation         弱阳树脂塔
        4        2B        Cation  and Anion         阳床，阴床
        5        DG        Degasifier        脱气塔
        6        RO        Reverse Osmosis        反渗透过滤
        7        MB        Mixed Bed        混床
        8        MDG        Membrane Degasifier        膜脱气
        9        UV        Ultraviolate Desinfector        紫外线杀菌机
        10        TOC-UV        TOC Ultravoilate Desinfector        紫外线除TOC杀菌机
        11        UF        Ultrafilter        超过滤
        12        PAC        Poly Alumina Chlorine        聚合氯化铝
        13        DO        Dissoved Oxygen        溶解氧
        14        TOC        Total Organic Carbon        总有机碳
        15        DI        Deionization        去除离子
        16        SC        Strong Cation        强阳树脂塔
        17        WA/SA        Weak Anion / Strong Anion        弱阴/强阴树脂塔
        18        SDI        Silt Density Index        污染密度指数
        19        TUB        Turbidity        浊度
        20        RO CONC.Water        RO Concentration Water        浓水
                               
WWT        1        SS        Suspendid  Solid matter        悬浮物质
        2        COD        Chemical Oxygen Demand        化学需氧量
        3        BOD        Biological Oxygen Demand        生物需氧量
        4        CMP        Chemical Mechanical Polisher        化学机械研磨
        5        BG        Backside Grinding        晶背研磨
        6        SF        Sand filter        石英砂过滤器
        7        FA        Fluoride Absorber        氟离子吸收塔
        8        AA        Active Al2O3        活性Al2O3
        9        LSC        Local Solvent Collection Cabinet         现场溶剂收集槽
        10        PAM        Polyaerylamide(Polymer)        聚丙烯酰胺
        11        PLC        Programmable Logic Controller        可编程控制器
        12        LCU        Local Control Unit        就地控制单元
        13        MCC        Motor Control Center        动力控制中心
        14        MCP        Main control panel        主控制盘
                               
PDS        1        DWWA        Acid/Caustic waste water drain piping        一般酸碱排放管路
        2        DCHF        concentrate hydrofluoric acid        浓氢氟酸排放管路
        3        DDHF         dilute hydrofluoric acid        稀氢氟酸排放管路
        4        DB/GW        backside grounding water        晶背研磨排放管路
        5        DFRW-Cu        first rinse water in Copper line        铜制程初道冲洗水排放管路
        6        DLRW        last rinse water         后道冲洗水排放管路
        7        DCMP-clean         Chemical mechanical polish clean water        化学机械抛光废水排放管路
        8        DF-FAB         floor drain in FAB         地板排水排放管路
        9        DIPA         IPA        异丙醇排放管路
        10        Dsolvent-1        solvent-1        有机溶剂-1 排放管路
        11        PDS        Process drain sys.        制程排水系统
        12        DWWA-Photo        Acid/Caustic waste water drain piping in Photo area        Photo区一般酸碱排放管路
        13        DH2SO4-Cu        Cu line Sulphuric acid drain        铜制程初硫酸废液排放管路
        14        DH2 SO4        Sulphric acid drain        硫酸废液排放管路
        15        DH3PO4        Phosphoric acid drain        磷酸废液排放管路
        16        PVC        Polyvinyl Chloride        聚氯乙烯
        17        CPVC        Chlorinated Polyvinyl Chloride        氯化聚氯乙烯
        18        PE        Polyethylene        聚乙烯
        19        PP        Polypropylene (Homopolymer)        聚丙烯
        20        PTFE         Polytetrafluorethylene        聚四氟乙烯
        21        PVDF (KYNAR)        Polyvinylidene Fluoride        聚偏二氟乙烯
                               
Plumbing        1        DW        Domestic Water         生活用水
        2        PW        Process water         生产用水
        3        DWW        Domestic Warm Water         生活温水
        4        MW        Middle Water         中水
        5        RWRS        Rain Water Reuse System        雨水回收系统   
        6        IWWS        Industrial Waste Water System        工业污废水排水系统  
        7        EEW        Emergency Eye Washer        紧急冲身洗眼器
                               
Specialty Gas        1        4%H2/N2        4%Hydrogen/Nitrogen mix gas        4%氢气/氮气
        2        C4F6        Hexafluoro-1,3butadiene        1，3六氟丁二烯
        3        C5F8        Ocafluorocyclopentene        八氟环戊烯
        4        CH2F2        Difuoromethane        二氟甲烷
        5        CH3F        Methyl Fluoride        氟甲烷
        6        10%CH4/AR        10%Methane/Argon mix gas        10%甲烷/氩气
        7        CO        Carbon Monoxide        一氧化碳
        8        DCS(SiH2CL2)        Dichlorosilane        二氯硅烷
        9        N2O        Nitrous  Oxide        一氧化二氮
        10        NF3        Nitrogen Trifluoride        三氟化氮
        11        NO        Nitric  Oxide        一氧化氮
        12        5%H2/He        5% Hydrogen/Helium mix gas        5%氢气/氦气
        13        BCL3        Boron Trichloride        氯化硼
        14        CL2        Chlorine        氯气
        15        CLF3        Chlorine Trifluoride        三氟化氯
        16        0.9%F2/1.2%Kr/Ne        Flourine/Kr/Nelon mix gas        氟氪氖混合气
        17        HBr        Hydrogen Bromide        溴化氢
        18        NH3        Ammonia        氨气
        19        SiF4        Silicon Tetraflrorid        四氟化硅
        20        WF6        Tungsten Hexafluoride        六氟化钨
        21        HCL        Hydrogen Chloride        氯化氢
        22        0.5%O2/He        0.5% Oxygen/Helium mix gas        0.5%氧气/氦气
        23        1.2%Kr/Ne        Kr/Nelon mix gas        氪氖混合气
        24        1.2%He/N2        1.2%Helium/Nitrogen mix gas        1.2%氦气/氮气
        25        30%O2/He        30%Oxygen/Helium mix gas        30%氧气/氦气
        26        20%O2/N2        20%Oxygen/Nitrogen mix gas        20%氧气/氮气
        27        C2F6        Hexafhoroethane        六氟乙烷
        28        C4F8        Octafluorocyclobutane        八氟环丁烷
        29        CF4        Tetrafluoromenthane        四氟化碳
        30        CHF3        Trifloride Methane        三氟甲烷
        31        CO2        Carbon Dioxide        二氧化碳
        32        SF6        Sulfur Hexafluoride        六氟化硫
        33        SiH4        Silane        硅烷
        34        1%PH3/N2        1%Phosphine/Nitrogen        1%磷化氢/氮气
        35        5%PH3/N2        5%Phosphine/Nitrogen        1%磷化氢/氮气
        36        B2H6                    Diborane        乙硼烷
        37        Xe        Xenon        氙气
        38         O3        Ozone        臭氧
        39        G/C        Gas Cabinet        气瓶柜
        40        BSGS        Bulk Specialty Gas System        大宗特殊气体系统
        41        GMS        Gas Monitoring System        气体监控系统
        42        GDS        Gas Detector System        气体监测系统
        43        ESG        Electronic Special Gas        电子特气
        44        VDB/P        Valve Distribute Box/Panel        分配阀箱/盘面
        45        MSDS        Material Safety Data Sheet        物质资料安全表
                               
Bulk Gas        1        CDA        Clean Dry Air        洁净的干燥空气
        2        HPCDA        High Pressure Clean Dry Air        高压的洁净的干燥空气
        3        IA        Instrument Air        仪表空气
        4        PN2        Process Nitrogen        制程氮气
        5        GN2        General Nitrogen        一般氮气
        6        PH2        Process Hydrogen        制程氢气
        7        PO2        Process Oxygen        制程氧气
        8        PAr        Process Argon        制程氩气
        9        PHe        Process Helium        制程氦气
        10        CQC        Continue Quality Control        连续质量控制
        11        THC        Total HydroCarbon        碳氢化合物总量
        12        SS316EP        Stainless Steel 316 Electopolishing        电抛光316不锈钢
        13        SS316BA        Stainless Steel 317 Bright Annealing        光亮退火316不锈钢
        14        LDL        Low Detected Limit        气体检测下限
        15         LEL        Low Explosive Limit        气体爆炸下限
        16        ASU        Air Separation Unit         空气分离厂
                               
CDS & SDS        1        CDS        Chemical Dispense System        化学分供系统
        2        SDS        Slurry Dispense System        研磨液分供系统
        3        CCB        Clean Coupling Box         清洁连接设备
        4        CDM        Chemical Dispense Machine        化学分供设备
        5        HEPA        High Efficiency Particulate Air Filter        高效过滤器
        6        PPE         Personal Protection Equipment        个人防护器具
        7        SOP        Standard Operation Procedure        标准操作程序
        8        DCP        Data concentration panel        数据集中盘
        9        TCM        Total Chemical Management         全面化学品管理
        10        MSDS        Material Safety Data Sheet        物质安全数据表
        11        H2SO4        Sulfuric Acid        硫酸
        12        HCL        Hydrochloric  Acid        盐酸
        13        HNO3        Nitric Acid        硝酸
        14        H3PO4        Phosphoric   Acid        磷酸
        15        HF        Hydrofluoric acid        氢氟酸
        16        H2O2        Hydrogen Peroxide        过氧化氢（双氧水）
        17        IPA        2-Propanol        异丙醇
        18        NMP        N-methyl Pyrrolidone        N-甲基-2-砒咯酮
        19        NH4OH        Ammonia (liquid )        氨水
        20        BOE 500：1        Buffered Oxide Etchant        二氧化硅蚀刻液
        21        BOE 130：1：7        Buffered Oxide Etchant        二氧化硅蚀刻液
        22        C260        1-Methoxy-2-propylacetate KR-20        光阻清洗液
        23        A515        Developer KD-50, A515        环戊酮
        24        DEV-1        Developer SD-1        显影液
        25        VMB        Valve Manifold   Box        阀箱
                               
        1        P&ID        Piping and Instrument Diagram        管路仪表布局图

chen1127 at 2007-7-30 08:56:41

版主,TOC-UV小弟不建議再稱之為"disinfection"了,因為他主要的功能在於去除TOC
我是比較建議採用oxidizer,雖說他大部份的波長還是在於殺菌的254 nm...
純討論...

lyc789 at 2007-9-07 18:45:38

不错！很好！多发些 类似的基础的东西，让新手有所了解！

dhlin at 2007-9-08 09:23:59

多谢哦,I'm new

wlf82930 at 2007-9-08 11:07:35

多谢，对工作很有帮助

luloo_yly at 2007-11-08 10:51:37

谢谢!很好的帖子!有很多有用的专业词汇!

ddbbww666 at 2008-7-16 16:01:08

不错 谢谢啦

liu_snowfield at 2008-10-13 14:53:40

不错，找到了一个专业名词SS316BA（Stainless Steel 316 Bright Annealing，光亮退火316不锈钢）。

但想请教W-G-C是什么东西啊，我是刚入这行，对很多专业名词不懂。 望知情人赐教！

hhnec at 2008-10-15 21:54:18

QUOTE:

原帖由 liu_snowfield 于 2008-10-13 14:53 发表
不错，找到了一个专业名词SS316BA（Stainless Steel 316 Bright Annealing，光亮退火316不锈钢）。

但想请教W-G-C是什么东西啊，我是刚入这行，对很多专业名词不懂。 望知情人赐教！

W-G-C=water、gas、chemical