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造成Sudden Top Side Chipping在原因有哪些

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发表于 2008-3-18 11:01:13 | 显示全部楼层 |阅读模式 |
请问各位大侠,除了工艺的原因外,设备所致的Sudden Top Side Chipping的原因有哪些?
: K% c/ R) i% h! mBlade mount accuracy, Blade Select,X motion,cooling water,除了这些之外还有哪些呢?现在有一台321有这个问题,用的是S1230的刀,后来改用F1230的刀,想用203O的刀,但是wafer thickness又有480micron,conditioning去年中才做过啊

发表于 2008-3-18 11:08:50 | 显示全部楼层 |
进刀速度、切割水的角度及水压、chuck的平整度及稳定性
 楼主| 发表于 2008-3-18 11:18:54 | 显示全部楼层 |
原帖由 apollo 于 2008-3-18 11:08 发表
& O5 q; t8 V- ]% G1 l进刀速度、切割水的角度及水压、chuck的平整度及稳定性
( {+ e4 U$ e6 c; B0 W( Y0 {
2 y" a$ h) X4 c6 B# a( q2 ^
+ \  V1 \& G9 ]
谢谢,你所说的这些我都已经检查过了,呵呵,但是问题没解决呢,去年是通过conditioning才解决的,但是正常情况下不应该这么快就要做的啊,另外我漏说了,现在这种情况只是在Half Cut下才发生的,Full Cut时好象没问题呢
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